专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]用于化学制程的支架-CN201220240675.X有效
  • 杜武兵;邓阿庆 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2012-05-25 - 2013-01-23 - G03F1/00
  • 本实用新型实施例公开了一种用于化学制程的支架,包括支架本体,所述支架本体上设置有用于容置版材的容置腔,所述容置腔至少一侧壁上设置有若干用于卡置所述版材的卡槽。本实用新型实施例的用于化学制程的支架,通过于支架上设置若干阵列排布的卡槽,实现版材的批量制程,有效提高版材的化学制程效率,降低生产成本,同时,还能加强套版的套合精度。
  • 用于化学支架
  • [实用新型]一种光罩检测设备-CN201120346140.6有效
  • 杜武兵;林伟 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2011-09-15 - 2012-05-23 - G01N21/88
  • 本实用新型实施例公开了一种光罩检测设备,包括支架台、设置于该支架台台面上的以承载并在水平方向移动光罩的移动平台,以及控制所述移动平台移动的控制装置,所述光罩检测设备还包括:架设于所述支架台上方的支撑臂、通过该支撑臂固定于所述移动平台中部上方且光学物镜分设于该支撑臂两侧的双显微镜机构,以及与该双显微镜机构对应设置的光源,从而,双显微镜机构可同时进行光罩两侧范围的检测,而不用对光罩进行旋转,避免了光罩在旋转过程中的刮伤及报废;另外可统一缺陷坐标系统,保证了光罩缺陷的完全检测及修复,保证了出货品质。
  • 一种检测设备
  • [发明专利]光罩边缘铬残留去除方法-CN201010243692.4有效
  • 杜武兵;林伟;邓阿庆 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2010-08-03 - 2010-12-22 - G03F7/20
  • 本发明实施例涉及一种光罩边缘铬残留去除方法,首先将曝光文件置于设有图形区域的光罩材料的边缘,当然,曝光文件所在区域不与图形区域重叠,然后对曝光文件所在区域的曝光文件及光罩材料所涂覆的感光胶进行曝光,最后当光罩材料边缘有铬残留时,依照光罩材料上留有的曝光痕迹对光罩材料边缘的感光胶进行去除,同时就把光罩材料边缘的铬残留去除了。采用本发明实施例的光罩边缘铬残留去除方法,可在去除光罩材料边缘的铬残留的同时,避免采用蚀刻通过化学反应去除法所带来的图形缺失的问题,保证了光罩质量而不废弃,节约了材料、作业成本。
  • 边缘残留去除方法
  • [发明专利]干版显影槽清洗液及清洗方法-CN201010227335.9有效
  • 杜武兵;杨建平 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2010-07-15 - 2010-10-13 - G03F7/30
  • 本发明涉及一种干版显影槽清洗液及清洗方法,清洗液成分包括硝酸铈铵、高氯酸和去离子水,且硝酸铈铵:高氯酸:去离子水=1-13g:1-20ml:25-2000ml。显影槽清洗方法包括如下步骤:(1)将显影槽中的废显影液排出后,用去离子水清洗显影槽,清洗完毕后将废液排出:(2)将上述的干版显影槽清洗液注入显影槽中清洗,清洗完毕后将废清洗液回收;(3)在显影槽内加入无磷清洗剂,用去离子水冲洗显影槽,直到无泡沫为止。采用本发明提供的干版显影槽清洗液,可以快速有效地去除黑色银离子和强氧化性残留物,从而防止在显影过程中干版表面产生黑点类或霉点类缺陷。
  • 干版显影清洗方法
  • [实用新型]防静电光罩-CN201020301094.3有效
  • 杜武兵 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2010-01-20 - 2010-10-13 - G03F1/08
  • 本实用新型公开一种防静电光罩,包括覆盖有金属铬层的苏打玻璃,所述金属铬层蚀刻有光罩图形,绕该光罩边缘的金属铬层表面设置有一放电环,该放电环通过设置在所述金属铬层的静电导引线连接到光罩图形,而该放电环的首尾通过两组相对设置的放电端子对接,每组放电端子由若干以预设的间隔并排设置的放电端子构成。本实用新型可大大节省放静电光罩的防静电设备和成本。
  • 静电
  • [实用新型]光罩的检测装置-CN200920308896.4无效
  • 杜武兵;林伟 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2009-08-26 - 2010-06-16 - G01B5/00
  • 本实用新型公开一种光罩的检测装置,该装置包括有:分别摆放在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处的用于检测光罩总长度的十字形标识;多组用于检测光罩线条精度的线形标识;以及多组用于检测光罩方格精度的方形标识。本实用新型可准确、方便地检测不规则形状光罩的精度,这种固定点测量技术还可节省测试时间,正负效果的图形还可以同时测试,有便于工艺的调整。
  • 检测装置
  • [实用新型]百级工作台组合体-CN200920304581.2有效
  • 杜武兵;李冠红;沈洪文 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2009-06-17 - 2010-03-31 - G03F7/09
  • 本实用新型实施例涉及一种百级工作台组合体,包括百级工作台,在所述百级工作台外部设置有防尘结构。采用本实用新型实施例的百级工作台,可对百级工作台进行防尘处理,防止该组合体外界灰尘进入该组合体,保持了百级工作台环境的洁净度,降低了凹坑的产生几率,降低了制版的报废率,大大提高了柔版制作和柔版印刷的良率,进一步保证了品质。
  • 工作台组合
  • [发明专利]光罩的检测方法及装置-CN200910306112.9无效
  • 杜武兵;林伟 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2009-08-26 - 2010-02-03 - G03F1/00
  • 本发明公开一种光罩的检测方法,该方法包括以下步骤:在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于检测光罩总长度的十字形标识;在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识;分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字形标识到中下处十字形标识之间的距离,得出光罩的总长度;通过测量所述线形标识和方形标识,分别得出光罩的线条精度和方格精度。本发明还公开了一种光罩的检测装置。本发明可准确、方便地检测不规则形状光罩的精度,这种固定点测量技术还可节省测试时间,正负效果的图形还可以同时测试,便于工艺的调整。
  • 检测方法装置
  • [实用新型]柔版印刷的曝光装置-CN200920135519.5有效
  • 杜武兵;李冠红;沈洪文 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2009-03-11 - 2010-01-13 - G03B27/18
  • 本实用新型公开一种柔版印刷的曝光装置,包括有一曝光机,所述曝光机的台面上设置有呈“中”字状摆放的导气条,所述导气条在台面上形成两个相同大小的曝光区;且分别放置于每个曝光区内的覆盖在板材上的带网点菲林的四边角上亦覆盖有小片导气条,所述菲林上面还覆盖有吸气膜。本实用新型可使菲林和板材在曝光时贴合更紧,从而有效降低柔版印刷的报废率和不良率,且大大缩短吸气时间和曝光时间,提高印刷效率,还可消除印刷不均匀的品质隐患。
  • 印刷曝光装置
  • [发明专利]LED显示屏光罩修补方法及装置-CN200910305581.9有效
  • 杜武兵;林伟 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2009-08-13 - 2010-01-06 - G03F1/00
  • 本发明公开一种LED显示屏光罩修补方法,该方法包括以下步骤:在待修补光罩的下方放置一至少耐400℃高温的垫板;在所述垫板上放置一层导热材料;将待修补光罩置于所述导热材料上加热后,对其进行修补。本发明还公开了相应的LED显示屏光罩修补装置。本发明修补质量好,可靠性强,修补点不易脱落,且在修补过程中不会损坏光罩,保证其完整性,避免报废,降低生产成本、提高生产效率。
  • led显示屏修补方法装置
  • [实用新型]光罩检测设备-CN200920129523.0有效
  • 杜武兵 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2009-01-16 - 2009-12-09 - G01N21/88
  • 本实用新型公开一种光罩检测设备,包括有:由水平面和竖直面构成的支架台,且从所述支架台后方向上延伸出一支撑臂;移动操作台,设置在所述支架台的水平面上;包括有复数个不同倍率的光学镜头的显微镜机构,该显微镜机构通过所述支撑臂固定在所述移动操作台的上方。本实用新型可实现高精度和非常小线宽的光罩缺陷检测,且可以适用于多种精度等级的光罩检测。
  • 检测设备
  • [发明专利]柔版印刷的曝光方法-CN200910105974.5有效
  • 杜武兵;李冠红;沈洪文 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2009-03-11 - 2009-08-05 - G03B27/20
  • 本发明公开一种柔版印刷的曝光方法,该方法包括以下步骤:将导气条呈“中”字状摆放在曝光机台面,在所述台面上形成两个相同大小的曝光区;将覆盖在板材上的带网点菲林分别放置于每个曝光区内,并以小片导气条压住菲林的四边角;将吸气膜覆盖在所述菲林上后,静置10分钟;经过所述预设的时间后,对所述菲林进行曝光操作。本发明可使菲林和板材在曝光时贴合更紧,从而有效降低柔版印刷的报废率和不良率,且大大缩短吸气时间和曝光时间,提高印刷效率,还可消除印刷不均匀的品质隐患。
  • 印刷曝光方法
  • [发明专利]光罩修补液-CN200810141920.X无效
  • 杜武兵;王志兵;林伟 - 深圳市路维电子有限公司
  • 2008-08-15 - 2009-01-14 - G03F1/00
  • 本发明公开一种光罩修补液,该修补液由金溶液和甲苯混合配比而成,且金溶液∶甲苯的配比比例配比比例在1∶0.23-0.5(质量)之间。本发明使修补点的可靠性得到了提升,保证了使用效率,提升了修补质量,不受丙酮、酸、碱等化学物质的影响,消除了品质隐患,延长了光罩的使用寿命。
  • 修补

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