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[实用新型]一种防止CSP谐振器形变的测试装置-CN202321126944.4有效
发明人：杨宗伟 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：一种防止CSP谐振器形变的测试装置，包括两个探针、分别和两个所述探针配合的连接座、和所述连接座电连接的导线，还包括套管，所述套管顶部具有开口，底部设置有支板，其中；所述探针对称设在所述套管内，所述连接座和所述支板固定连接；第一导向部，所述第一导向部设置在所述开口处，用于对所述探针的纵向移动进行导向；定位部，所述定位部用于将所述第一导向部固定在所述套管上；吸附部，所述吸附部设置在所述开口的上方，用于将CSP谐振器固定并接触所述探针；缓冲部，所述缓冲部用于对所述探针受力后进行缓冲。本实用新型可实现探针的快速更换，提高工作效率，降低生产成本。
一种防止 csp 谐振器形变测试装置

[发明专利]薄膜体声波谐振器和滤波器的制备方法-CN201910231620.9有效
发明人：李善斌;刘绍侃;董谦;史晓婷;霍俊标;张雪奎 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司;北京中讯四方科技股份有限公司
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H03H3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜体声波谐振器和滤波器制备方法。所述薄膜体声波谐振器制备方法包括步骤有：在衬底的一表面上进行刻蚀处理，形成凹槽；向所述凹槽内形成牺牲层、在所述牺牲层的表面和所述衬底的所述表面上形成支撑层；沿所述衬底向支撑层的延伸方向，在所述支撑层的表面上依次形成第一底电极层、温飘层、第二底电极层、压电层和顶电极层；释放所述牺牲层处理，形成封闭的空腔。所述滤波器制备方法包括按照所述薄膜体声波谐振器的制备方法进行制备薄膜体声波谐振器的步骤。所述薄膜体声波谐振器的制备方法赋予制备的所述薄膜体声波谐振器损耗和温飘低、温度系数小、功率承受力和工作频率以及机电耦合系数高、兼容性好，具有很好的Q值。
薄膜声波谐振器滤波器制备方法

[实用新型]一种用于探针台的防尘遮光盖-CN202222525340.9有效
发明人：王旭;徐少庭;杜武君 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：一种用于探针台的防尘遮光盖，包括盖体，还包括通孔，所述通孔贯穿所述盖体中心；遮光板，所述遮光板设在所述通孔内，且将所述通孔分隔成两个用于射频同轴线缆穿过的穿入区；封堵机构，所述封堵机构用于固定射频同轴线缆并封堵所述穿入区。本实用新型通过设置盖体达到防尘效果，避免小颗粒落在探针台上；通过设置遮光板，可对探针台的正上方进行遮挡，从而辅助探针台进行对针；通过设置封堵机构对穿入区进行封堵，可进一步避免小颗粒落在探针台上，提高防尘效果，同时，可对射频同轴线缆进行固定，避免射频同轴线缆晃动，提高探针台的测试精度。
一种用于探针防尘遮光

[发明专利]一种窄带声表面波滤波器-CN202310027381.1在审
发明人：谢尔盖.康德拉捷夫;张忠云;董谦;张志远;陈小兵;沈燮乾;冯炜煜;朱文皓 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种声表面波阻抗元滤波器，包括：级联的伽玛单元；每一所述伽玛单元包括沉积在压电衬底表面的具有附加电容的串联声表面波谐振器和并联声表面波谐振器；所述附加电容与所述并联声表面波谐振器并联；每一所述声表面波谐振器的周期(P)基本相等。本发明的声表面波阻抗元滤波器具有更窄的带宽，以满足特定的使用需求。
一种窄带表面波滤波器

[实用新型]一种声表面波器件的焊盘结构-CN202222536311.2有效
发明人：张少华 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种声表面波器件的焊盘结构，包括数据层，所述数据层上设有叉指换能器、第一汇流条、第一焊盘区；加厚层，所述加厚层和所述数据层重叠，所述加厚层上设有第二汇流条、第二焊盘区，还包括贯穿所述第二焊盘区并深入所述第一焊盘区内的容纳区，所述容纳区分别位于所述第一焊盘区以及所述第二焊盘区的顶角。金球在反贴过程中，受到超声波与压力，金球发生形变，此时容纳区的存在可限定金球的横向膨胀区域，减小溢出量，降低了溢出到叉指换能器的风险，提高了产品可靠性；同时容纳区的设定，增大了植球目标的靶向性，有助于提高植球工序的精度。
一种表面波器件盘结

[发明专利]一种用于声表面波滤波器的镀膜工艺-CN202211163705.6在审
发明人：樊祖平 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种用于声表面波滤波器的镀膜工艺，包括以下步骤，一、清洗步骤，将晶圆表面清洗；二、涂胶步骤，在清洗后的晶圆表面涂敷上光刻胶；三、曝光步骤，利用g线，i线，深紫外或远紫外线光透过光照掩模版照射到光刻胶上并发生化学反应；四、显影步骤，将曝光后的晶圆进行显影；五、镀膜步骤，将显影后的晶圆镀上单层金属膜；六、剥离步骤，用剥离液剥离掉不需要的金属部分，保留需要的图案；七、镜检步骤，用显微镜检查剥离后的图案。本发明以LiTaO3/LiNbO3压电晶体作为基座，只镀上单层金属膜，去掉辅助过渡层，以便大幅度提高电性能指标，提高生产效率，提高产品一致性以及合格率。
一种用于表面波滤波器镀膜工艺

[实用新型]一种用于晶圆的显微镜载物台-CN202223399469.6有效
发明人：杨云帆;杜联柱 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G02B21/26 文献下载
摘要：一种用于晶圆的显微镜载物台，包括台体，包括载物区，所述载物区设置在所述台体上，用于放置所述晶圆，其中，所述载物区间隔设有排气槽；固定部一，所述固定部一设在所述载物区一侧，用于对所述晶圆的基准边进行固定，其中，所述固定部一沿所述载物区的宽度方向设置；固定部二，所述固定部二设在载物区远离所述固定部一一侧，用于对所述晶圆的弧形边进行固定，其中，所述固定部二至少有两个，且对称分布。本实用新型通过设置固定部一和固定部二，将晶圆以一个固定的方向放置，并且能够将晶圆固定在载物区内，防止晶圆滑动。
一种用于显微镜载物台

[实用新型]一种半导体产品收料装置-CN202222525338.1有效
发明人：项明亮 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种半导体产品收料装置，包括架体，所述架体设置在半导体产品的下方；防静电收纳袋，所述防静电收纳袋设置在所述架体内；导向机构，所述导向机构包括顶部端口、底部端口、连接所述顶部端口和所述底部端口以围成导向通道的围板；卡合机构，所述卡合机构包括和所述收纳袋端口连接的定位环以及用于将所述定位环固定在所述导向机构底部的锁止部。本实用新型通过导向机构将脱模后的半导体产品直接收集到防静电收纳袋内，便于直接下一步老化或冷储流程，有效避免产品飞料、反复倒料问题，同时可以避免产品因频繁倒料造成的划伤等外观不良，极大的提高生产效率，降低人工成本。
一种半导体产品装置

[实用新型]一种编带机收卷张力控制系统-CN202222164122.7有效
发明人：胡杰 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： B65H23/26 文献下载
摘要：一种编带机收卷张力控制系统，包括放置编带的放带盘、用于收卷所述编带的收带盘，还包括固定导轮，所述固定导轮设在所述编带下侧，用于支撑所述编带；张力导轮，所述张力导轮设在所述固定导轮两侧且位于所述编带上侧，用于按压所述编带；摆杆，所述摆杆和所述张力导轮连接，用于带动所述张力导轮按压所述编带；感应块，所述感应块设在所述摆杆远离所述张力导轮一端；按压控制机构，所述按压控制机构和所述感应块配合，用于控制所述摆杆摆动角度，从而控制所述张力导轮对所述编带的按压力度。本实用新型使张力导轮按压编带进行干预，直到固定导轮两边的张力达到平衡，从而达到收卷张力稳定的目的。
一种编带机收卷张力控制系统

[实用新型]一种便于清洗的蒸镀机转盘-CN202223082421.2有效
发明人：杜武君;周翔 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：一种便于清洗的蒸镀机转盘，包括转盘本体、阵列开设在所述转盘本体上的槽体，还包括和所述槽体内壁接触的防着套、沿所述防着套顶部环形设置且和所述槽体顶部接触的闭合环圈，所述防着套包括散热部以及耐热部，所述散热部的外壁和所述槽体内壁接触，所述散热部的内壁和所述耐热部固定连接。本实用新型通过设置防着套，可避免金属蒸发物沉着在槽体内部，便于清洁；通过设置闭合环圈，使得闭合环圈与槽体上表面进行抵持以形成闭合，防止金属蒸发物粘结在槽体内壁上；通过在闭合环圈的外端面上设置夹持口，便于对防着套进行更换。
一种便于清洗蒸镀机转盘

[实用新型]一种用于薄晶圆的光刻机载物平台-CN202222532855.1有效
发明人：杜武君 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种用于薄晶圆的光刻机载物平台，包括平台本体、多个设在所述平台本体上的升降孔，还包括第一支撑凸台，所述支撑凸台沿所述升降孔边缘设置，用于支撑晶圆；中间区域边框，所述中间区域边框将多个所述支撑凸台包围，且和所述支撑凸台之间形成真空吸附腔；第二支撑凸台，所述第二支撑凸台紧密分布在所述真空吸附腔内，且位于所述第一支撑凸台和所述中间区域边框之间。本实用新型通过支撑凸台的设置可增大与晶圆的接触面积，进而能够有效降低真空吸附造成的晶圆局部形变；通过设置中间区域边框，便于在光刻机发生故障时手动取出晶圆，减少对载物平台的损伤；第二支撑凸台可对晶圆进一步支撑，提高晶圆的平整度。
一种用于薄晶圆光刻机载平台

[实用新型]一种晶圆解胶装置-CN202222525339.6有效
发明人：项明亮;周善远;刘凯明;高忠强;熊安祥;赵荣健 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种晶圆解胶装置，包括箱体、设在所述箱体内的解胶腔、贯穿所述箱体顶部的通孔、对应所述解胶腔设在所述箱体上方的照明光源总成、用于安装所述照明光源总成并封盖所述通孔的盖板，还包括用于驱动所述盖板升降的驱动机构、设在所述解胶腔内且和所述盖板密封配合的密封环圈、通过所述盖板的下压动作推动所述密封圈紧贴所述盖板的辅助压紧机构，所述密封环圈的最小直径大于所述照明光源总成的最大直径。本实用新型的密封环圈在辅助压紧机构的推动下紧贴盖板，提高密封效果，进而使密封环圈包围在照明光源总成发出的光的外部，避免紫外线外露，提高解胶效果。
一种晶圆解胶装置

[实用新型]一种新型CSP基板结构-CN202222536230.2有效
发明人：项明亮;周善远;熊安祥;刘凯明;高忠强 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种新型CSP基板结构，包括基板、倒装在所述基板上的芯片，还包括设在所述基板上的焊接区以及沿所述焊接区边缘设置的阻挡区，所述芯片底部和所述阻挡区顶部的垂直距离小于5um，且所述芯片在所述基板上的投影和所述焊接区重合。本实用新型根据芯片尺寸配套设计焊接区，使每颗器件倒装后金球高度达到合适值，并使得芯片在倒装后，芯片和基板之间减小间距，在覆膜过程中树脂将无法渗入芯片和基板之间的间隙内部，从而完全避免器件失效的问题。
一种新型 csp 板结

[实用新型]一种晶圆贴膜机的台盘治具-CN202222043861.0有效
发明人：茹伟 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种晶圆贴膜机的台盘治具，包括台盘本体，还包括第一放置槽，所述第一放置槽开设在所述台盘本体的中心；第一吸附部，所述第一吸附部沿所述第一放置槽边缘设置，用于固定晶圆的边缘；第二放置槽，所述第二放置槽为圆形且设在所述第一放置槽底部，所述第二放置槽和所述第一放置槽的圆心重合；第二吸附部，所述第二吸附部设置在所述第二放置槽底部，用于对晶圆进行辅助固定；取放口，所述取放口和所述第一放置槽连通。本实用新型在结构简单，易于晶圆贴膜时的取放、定位，减少了贴膜完成后拿起切割环时可能造成的晶圆裂片风险，更有利于减少台盘对晶圆表面(包括植的金球、锡球等凸点)造成的损伤。
一种晶圆贴膜机台盘

[实用新型]一种基于声表面波滤波器的CSP基板-CN202221561669.4有效
发明人：蒋燕港;李茂峰;祝有强;杨云帆;谢德宁 -专利权人： 浙江华远微电科技有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H03H9/05 文献下载
摘要：一种基于声表面波滤波器的CSP基板，包括基板及焊盘，所述基板包括底层基板和顶层基板，所述焊盘包括固定在底层基板上表面的五个底层焊盘、固定在顶层基板下表面的四个顶层焊盘，所述顶层焊盘与声表面波滤波器电极通过植金球倒装焊连接。本实用新型基于CSP1109声表面波滤波器的封装基板，顶层基板采用4个独立的焊盘，基板和声表面波滤波器的电气连接采用植金球倒装焊接方式，使用的面积缩减一半，缩减封装体积和降低成本。
一种基于表面波滤波器 csp 基板

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