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[发明专利]一种声表面波滤波器及其制备方法-CN202210979510.2有效
发明人：归欢焕;许佳辉;沈瞿欢;张剑涛;梁波 -专利权人：天通瑞宏科技有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波滤波器及其制备方法，其中声表面波滤波器包括：复合晶圆基底；复合晶圆基底包括单晶硅片以及依次层叠在单晶硅片一侧的类金刚石层和压电层；叉指换能结构，位于压电层远离单晶硅片的一侧；叉指换能结构包括相对设置的两个汇流条，以及并排设置在两个汇流条之间的多个电极指；每个电极指交替的连接到汇流条中的一个汇流条；多个负载块，负载块与电极指一一对应设置；每一负载块对应位于一电极指的末端；与同一汇流条连接的多个电极指末端的负载块，到对侧汇流条的距离相等。降低了声表面波滤波器的制造成本的同时，提高了声表面波滤波器的频段。
一种表面波滤波器及其制备方法

[发明专利]一种声表面波滤波器用压电基片的还原方法、产品及用途-CN202210121520.2有效
发明人：归欢焕;许佳辉;沈瞿欢;张剑涛;梁波 -专利权人：天通瑞宏科技有限公司
申请日： 2022-02-09 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种声表面波滤波器用压电基片的还原方法、产品及用途，所述的还原方法包括以下步骤：(Ⅰ)碳酸锂与粘结剂混合得到液态浆料，并流涂于基片的表面；(Ⅱ)将步骤(Ⅰ)中涂覆有液态浆料的基片进行低温烘干，随后将烘干后的基片放入陶瓷容器中；(Ⅲ)将步骤(Ⅱ)中装有基片的陶瓷容器进行热处理，随后降温，完成还原处理。本发明减少了使用的还原材料的种类，操作简单，还原材料更均匀更密切的附着在基片表面，从而保证处理后的颜色一致性，达到所需要的还原效果。
一种表面波滤波器用压电还原方法产品用途

[实用新型]一种声表面波谐振器和声表面波滤波器-CN202221836084.9有效
发明人：朱德进;马阳阳;姚文峰;廖庆嵩;沈瞿欢 -专利权人：天通瑞宏科技有限公司
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种声表面波谐振器和声表面波滤波器，该声表面波谐振器包括：压电衬底层；电极层，位于压电衬底层的一侧；电极层包括叉指式换能器；叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；位于每一第一虚设电极指远离压电衬底层一侧的第一增厚部，以及位于每一第二虚设电极指远离压电衬底层一侧的第二增厚部；第一电极指和第二虚设电极指相对设置，第二电极指和第一虚设电极指相对设置。本实用新型提供的声表面波谐振器和声表面波滤波器，可以抑制横向模，提高声表面波谐振器的Q值。
一种表面波谐振器和声滤波器

[发明专利]一种废旧晶圆的再生方法-CN202210889363.X在审
发明人：归欢焕;许佳辉;沈瞿欢;张剑涛;梁波 -专利权人：天通瑞宏科技有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种废旧晶圆的再生方法，所述再生方法包括以下步骤：(1)挑选可再生不良晶圆，使用混合酸对所述不良晶圆进行腐蚀；(2)对步骤(1)腐蚀后的晶圆进行碱洗和水洗；(3)对步骤(2)水洗后的晶圆进行抛光处理，经最终清洗后得到再生晶圆；其中，所述晶圆的材料包括钽酸锂和/或铌酸锂，本发明采用先酸腐蚀、碱洗、抛光后再药液清洗的方法对废旧晶圆进行再生可以去除芯片上的金属电路和一些光刻胶的残胶，同时避免晶圆表面的酸和残胶的残留，回收再生的晶圆可以实现直接应用，大大节约了生产成本。
一种废旧再生方法

[发明专利]一种铌酸锂薄膜表面制作光学微纳图形的方法-CN201911192741.3有效
发明人：曾嵘;庄池杰;马昕雨;沈瞿欢;王华磊;吴长春 -专利权人：清华大学;天通瑞宏科技有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种铌酸锂薄膜表面制作光学微纳图形的方法，属于微纳加工技术领域，包括：制作电子束曝光所需版图；对铌酸锂衬底进行清洗、烘干；在铌酸锂衬底上溅射金属导电层；在铌酸锂衬底上旋涂电子束胶；将铌酸锂衬底进行第一次电子束曝光制作标记；显影和定影；在铌酸锂衬底上磁控溅射金属制作金属标记；去胶剥离金属掩蔽的图形，制成带有金属突起标记的铌酸锂片；在铌酸锂片上旋涂电子束胶；将铌酸锂片进行第二次电子束曝光制作图形；显影和定影；进行图形转移，形成微纳结构。通过本发明所述方法，可在不导电的铌酸锂材料上制作侧壁陡直的图形，且可制作尺寸900nm以下的微纳图形，所制作的光波导折射率对比度大，可减小光器件尺寸，提高光器件性能。
一种铌酸锂薄膜表面制作光学图形方法