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- [发明专利]多晶硅片用超精细金钢石线切割装置-CN202210803385.X在审
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杨崇秋;周林;吉成东
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江苏茂硕新材料科技有限公司
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2022-07-07
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2022-09-20
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B28D5/04
- 本发明公开了多晶硅片用超精细金钢石线切割装置,具体涉及多晶硅片加工技术领域,包括作业台,所述作业台的顶端一侧固定安装有直线电缸,所述直线电缸的驱动端固定安装有升降气缸,所述升降气缸的驱动端固定安装有定位机构,所述定位机构中设有待切割的晶棒,所述作业台的顶端另一侧固定安装有辅助组件,作业台靠近辅助组件的一侧设有收放机构,本发明,通过设置定位机构,同步带动多个定位板和防护垫相向滑动,使晶棒的外壁和防护垫的相对侧接触,对晶棒进行定位,提升后续晶棒金钢石线切割时稳定性,并能够带动晶棒进行稳定转动,从而能够对晶棒进行转动式切割,使金钢石线始终和晶棒的边缘进行小面积接触切割,防止切割下来的多晶硅片断裂。
- 多晶硅片精细金钢石线切割装置
- [实用新型]一种用于存储半导体器件的收纳装置-CN202122143031.0有效
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杨崇秋;吉成东;周林
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江苏茂硕新材料科技有限公司
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2021-09-06
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2022-03-04
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B65D25/00
- 本实用新型公开了一种用于存储半导体器件的收纳装置,涉及半导体收纳设备技术领域,具体包括收纳盒外壳,所述收纳盒外壳内侧底端设有旋转支撑机构,所述旋转支撑机构上水平连接有收纳瓶托盘,所述收纳瓶托盘上均匀开设有若干置瓶孔,所述置瓶孔内放置有用于放置半导体器材的T型收纳瓶,所述收纳瓶托盘上围绕置瓶孔均匀开设有若干排尘孔,所述收纳瓶托盘上侧围绕收纳瓶托盘边缘开设有盒盖卡槽,所述收纳瓶托盘上放置有与盒盖卡槽相匹配的盒盖,所述盒盖底端安装有微声风机,所述收纳盒外壳外侧开设有若干透气滤孔,具备在不停取用半导体器件的过程中持续除尘的优点,解决了传统的半导体收纳装置在多次取用过程中会混入外界的灰尘,对收纳的半导体的导电性能造成影响的问题。
- 一种用于存储半导体器件收纳装置
- [发明专利]一种半导体结构的制备方法-CN202110827756.3有效
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杨崇秋;吉成东;周林
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江苏茂硕新材料科技有限公司
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2021-07-22
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2021-10-15
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H01L21/336
- 本发明涉及半导体元件制备领域,具体公开了一种半导体结构的制备方法,首先在衬底上形成介质层,在介质层上形成阻反射层,在阻反射层上形成A光刻胶层,并对A光刻胶层进行曝光显影,在阻反射层的作用下,栅极结构处介质层的弧形部位不会反射光,避免了图形化的光刻胶层产生缺陷甚至被剥离的问题,然后刻蚀开口,去除阻反射层,最后形成硅化物层;本发明采用了加工装置去除阻反射层,加工装置包括固定轴、夹持机构、装载托盘和调节机构,夹持机构用于夹持装载托盘,装载托盘内装载有元件,调节机构用于调节夹持机构间歇依次进出溶解池、冲洗池和烘干机构,实现将元件上阻反射层进行溶解、冲洗和烘干,实现了自动化加工。
- 一种半导体结构制备方法
- [实用新型]一种晶圆切割线生产用输送生产线-CN202023278043.6有效
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杨崇秋;吉成东;周林
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江苏茂硕新材料科技有限公司
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2020-12-29
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2021-08-27
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F16H7/12
- 本实用新型公开了一种晶圆切割线生产用输送生产线,包括输送架,所述输送架两端分别装设有主动辊筒与从动辊筒,所述主动辊筒与从动辊筒之间连接有输送带,所述主动辊筒一端连接有驱动轮,所述输送架底部固定有支架,所述支架内侧固定有电动机,所述电动机与驱动轮之间连接有同步带,所述支架一端侧壁固定有安装架,所述安装架表面固定有安装块;本实用新型通过设计的挤压弹簧,对顶杆施加弹力挤压,保证压轮时刻对同步带施加挤压作用,保证同步带时刻处于张紧状态,不易发生松动,使本实用新型动力传输更加稳定可靠,通过设计的托板和顶杆,将其挤压弹簧和装有压轮的U型架相互组装在一起,进而实现挤压弹簧对压轮施加弹力挤压。
- 一种切割生产输送生产线
- [发明专利]一种半导体器件的保护方法及装置-CN202110846930.9在审
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杨崇秋;吉成东;周林
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江苏茂硕新材料科技有限公司
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2021-07-27
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2021-08-24
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H01L21/02
- 本发明涉及半导体加工技术领域,公开了一种半导体器件的保护方法及装置,对衬底进行研磨,利用研磨的方法在衬底的靠近边缘的部分加工出圆环形的保护区,在保护区中心形成生长区,保护区的高度低于生长区的高度,然后在衬底的保护区和生长区上均通过成膜法形成保护层;之后对衬底进行研磨,去除生长区表面的保护层,仅在保护区的表面保留保护层;然后抛光、清洗、烘干,获得能够避免半导体层裂纹缺陷的衬底;本发明在衬底外周加工出环形的保护层,限制半导体层向衬底的周边生长,能够避免裂纹缺陷的产生,与此同时,保护层的表面低于用于生长半导体层的生长区的表面,其在MOCVD外延生长时对于半导体层的生长影响较小。
- 一种半导体器件保护方法装置
- [实用新型]一种晶圆切割线用扭转断线检测装置-CN202023277993.7有效
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杨崇秋;吉成东;周林
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江苏茂硕新材料科技有限公司
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2020-12-29
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2021-08-06
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G01N3/08
- 本实用新型公开了一种晶圆切割线用扭转断线检测装置,包括检测台,所述检测台表面固定有支架,所述支架内侧装设有扭转辊筒,所述支架一侧设置有立板,所述支架另一侧设置有支板,所述支板表面贯穿固定有套筒,所述套筒内部贯穿有拉柱,所述拉柱与立板表面均固定有连接环,所述扭转辊筒表面设置有切割线;本实用新型通过设计的扭转辊筒,对进行检测的切割线进行扭转处理,进而通过一端拉扯检测出断线,通过设计的套筒,对拉柱实现套设连接,保证拉柱在对切割线一端拉扯中处于水平状态,避免其影响扭转部分的拉力断点检测,通过设计的配重座和配重砝码,两者相互配合,进而对切割线的牵引拉力实现调节改变,以达到检测拉力的读取。
- 一种切割扭转断线检测装置
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