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专利名称

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公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有喷气功能的晶圆清洗干燥升降机构-CN202310549654.9有效
发明人：钱诚;童建;段彬彬 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种具有喷气功能的晶圆清洗干燥升降机构，属于晶圆制造设备技术领域。在具有喷气功能的晶圆清洗干燥升降机构中，动力组件驱动晶圆篮支撑座和晶圆支撑座做相对运动，喷气口设置于晶圆支撑座上，当晶圆支撑座升高到最顶端而将晶圆置于盖体内时，喷气口处于能够离盖体内的晶圆较近的位置，干燥气体能够直接喷吹到晶圆上，提高晶圆的干燥效率和相同时间下的干燥效果。
具有喷气功能清洗干燥升降机构

[发明专利]一种晶圆水平平移机构及平移方法-CN202310639174.1在审
发明人：钱诚;童建;吴亚晨 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆水平平移机构，包括承载座及若干承载臂，第一固定块、第二固定块以及固定柱对晶圆片形成六个点的支撑，使得晶圆片不容易破损。其中第一固定块踢面的圆弧面刚好与晶圆片的边缘相抵靠，第二固定块以及固定柱均是以斜面的方式抵靠晶圆片，斜面使得晶圆片自然有下滑的趋势，使得晶圆片更容易抵靠在第一固定块上，具有自动校正位置的作用，提高了不同承载臂上的晶圆片的整齐度。
一种水平平移机构方法

[发明专利]一种晶圆搬运装置-CN202310635500.1在审
发明人：钱诚;李刚;童建 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆搬运装置，所述晶圆搬运装置包括旋转运动机构、升降运动机构和水平运动机构分别用于带动承载座做旋转、升降和水平方向移动，第一固定块、第二固定块以及固定柱对晶圆片形成六个点的支撑，使得晶圆片不容易破损。其中第一固定块踢面的圆弧面刚好与晶圆片的边缘相抵靠，第二固定块以及固定柱均是以斜面的方式抵靠晶圆片，斜面使得晶圆片自然有下滑的趋势，使得晶圆片更容易抵靠在第一固定块上，具有自动校正位置的作用，提高了不同承载臂上的晶圆片的整齐度。
一种搬运装置

[发明专利]一种晶圆翻转装置-CN202310637763.6在审
发明人：钱诚;李刚;周兴江 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆翻转装置，升降组件负责第二晶圆支撑柱的升降，锁定驱动件负责固定第一升降板，以防止翻转时发生松动，升降组件由升降滚轮在具有斜面的升降滑块顶部运动而发生升降，由于升降滚轮只是作用在升降滑块顶部，因此不容易卡住，同时锁定驱动件的设置起到了固定作用，防止因为，升降滚轮上方没有限制作用而导致的第一升降板在翻转时发生移动，提高了设备的使用寿命。
一种翻转装置

[发明专利]一种晶圆水平传输装置-CN202310566014.9在审
发明人：钱诚;童建;吴亚晨 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆水平传输装置，包括：水平安装座、水平滑轨、晶圆支撑座，传输带的上半部分位于水平滑轨正上方，水平滑轨的上半部分通过连接块将晶圆支撑座与所述传输带连接，从而克服一侧的驱动导致的力矩，进而使得传输过程中更加稳定，不易发生晃动。传输带、水平滑轨以及转轴的中心共线，且位于竖直线上。使得力能够沿竖直线传导，进一步提高运行的稳定性。
一种水平传输装置

[发明专利]一种摇摆式晶圆干燥设备及晶圆干燥方法-CN202210713042.4有效
发明人：钱诚;李刚;霍召军 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种摇摆式晶圆干燥设备，包括：槽体，盖体和摇摆机构。摇摆机构包括：驱动件、滑动安装块和拱形滑动臂；所述滑动安装块向下方延伸形成延伸部，拱形滑动臂的第一支臂中间具有滑动槽，滑动安装块的延伸部上设置有位于滑动槽内的滑轮。驱动件带动滑动安装块在滑轨上运动，进而通过滑轮作用于滑动槽，进而使容纳座发生摆动。与现有技术相比，滑动安装块向下方延伸形成延伸部，延伸部上设置滑轮，能够使滑轮尽量远离滑动安装块的移动中线，从而使整个滑轮和滑动槽的配合点更低，提高摆动的幅度。
一种摆式干燥设备干燥方法

[实用新型]一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构-CN202321056653.2有效
发明人：钱诚;童建;段彬彬 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，属于晶圆干燥设备技术领域，所述升降机构包括：抵止组件、感应块、安装条、保护组件、以及感应组件，抵止组件在接触到保护组件时，保护组件被触发，以防止第一滑块、第二滑块的运动超过其极限位置，对第一滑块、第二滑块进行垂直方向的保护限位，将第一滑块、第二滑块的运动限制在固定的行程内，防止第一滑块、第二滑块出现脱轨等现象干扰、损坏设备运行。
一种干燥设备具有保护功能升降机构

[实用新型]一种形成水膜用的喷淋头-CN202320319366.X有效
发明人：田晓东;王长江;丁鹏 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B05B1/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种形成水膜用的喷淋头，属于光伏硅片生产设备技术领域，由上盖体、下盖体和喷头三部分组成，三部分分别加工，加工简便，下盖体上加工形成凹槽并与的上盖体和喷头配合能够形成扁平的腔体，降低了整体高度，整个喷淋过程的水流过程为：水从进水通道进入腔体，再由喷口喷出。腔体起到整流和分流作用，同时长条形的形状也很好地与光伏硅片的正方形相匹配。凸台起到了分割喷口的作用，能够防止喷口之间相互影响。
一种形成水膜用喷淋

[发明专利]干燥清洗设备-CN202310549644.5在审
发明人：钱诚;童建;段彬彬 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种干燥清洗设备，其中包括晶圆升降机构，晶圆升降机构的喷气口设置于晶圆支撑座上，当晶圆支撑座升高到最顶端而将晶圆置于盖体内时，喷气口处于能够离盖体内的晶圆较近的位置，干燥气体能够直接喷吹到晶圆上，提高晶圆的干燥效率和相同时间下的干燥效果。
干燥清洗设备

[发明专利]一种在线加热器-CN202180077561.X在审
发明人：钱诚;周志勇;李文亭 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种在线加热器，将筒体(3)分割出3个腔室，每个腔室依次连通，流体要依次经过3个腔室，每个腔室均能进行加热，能够在有限的空间内，对流体进行较长时间的加热。第一腔室(41)作为主加热腔室，腔室大，能容纳更多的流体，也是流体运动最剧烈的腔室。同时，第二腔室(42)和第三腔室(43)能够缓和流体的运动，使流出的流体平缓。
一种在线加热器

[发明专利]一种槽内晶圆篮故障排除方法及装置-CN202310564884.2在审
发明人：钱诚;徐俊海;陈亚杰 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种槽内晶圆篮故障排除方法和装置，用于将槽内处于异常的晶圆篮取走后，是否可以将该位置的状态调整为无篮，通过调取机械臂进入具有异常状态的晶圆篮的工艺槽判断是否能够抓取晶圆篮，进一步分辨需不需要手动拿走晶圆篮，并在拿走晶圆篮的过程中进行相应的监控，确保系统内状态的调整不会产生误判。
一种槽内晶圆篮故障排除方法装置

[实用新型]一种晶圆理片机构-CN202223119578.8有效
发明人：李刚;霍召军;王建 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆理片机构，包括安装框架、旋转轴、理片块、旋转驱动件和理片驱动件，旋转驱动件驱动旋转轴旋转，理片块能够随着理片驱动件而上升下降，晶圆盒置于工作板前，理片块处于最低端，能够防止晶圆盒置入时部分晶圆撞击理片块导致损失，晶圆盒置于工作板后，理片块在理片驱动件的驱动下缓慢上升顶起晶圆。理片时，通过旋转轴驱动晶圆进行转动，当晶圆上的缺角或者槽口对准理片块时晶圆就不再能够被旋转轴带动而转动，当所有的晶圆的缺角或者槽口对准理片块即完成了晶圆的理片。
一种晶圆理片机构

[发明专利]一种晶圆盒定位固定机构-CN202180077560.5在审
发明人：钱诚;童建;周志勇 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆盒定位固定机构，第一固定定位块与第一侧边定位块先对晶圆盒底部进行初步固定，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒抵靠住第一固定定位块以对晶圆盒进行固定。而后，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒靠近第一固定定位块以对晶圆盒的侧壁进行固定。由于晶圆盒的两个面都被固定，晶圆盒不会因转动而松动提高了固定效果。
一种晶圆盒定位固定机构

[实用新型]一种晶圆片旋转机构-CN202223122141.X有效
发明人：童建;李涛;郭亚飞 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆片旋转机构，通过相互传动连接的第一旋转轴、第二旋转轴、第三旋转轴和第四旋转轴将动力从第一支撑安装板上的一端传递到第三支撑安装板上，从而实现了晶圆在晶圆容纳盒内的转动，也即，晶圆容纳盒内的晶圆可以在清洗时或者干燥时发生转动，使晶圆在晶圆容纳盒内的位置发生改变，通过晶圆面发生转动，晶圆面相对于晶圆容纳盒发生改变，比如被晶圆容纳盒底部阻挡的部分在晶圆旋转后被转动到上方以不受阻碍，从而提高清洗或者干燥效果。
一种晶圆片旋转机构

[发明专利]一种晶圆干燥清洗设备-CN202210700063.2有效
发明人：钱诚;童建;段彬彬 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆清洗干燥设备，由槽体、盖体、水气供给系统和晶圆升降机构，通过滚轮、连杆及导向块的作用，实现了晶圆篮支撑座和晶圆支撑座的共同升降和晶圆支撑座的单独升降，导向块上的第一导向面、第二导向面、第三导向面和第四导向面四段导向面使得滚轮滑动更顺畅，使整体运行更加平稳。
一种干燥清洗设备

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