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[发明专利]基于旋转式光伏晶片双面清洗设备-CN202110713664.2在审
发明人：钱诚;田晓东;冯春 -专利权人：亚电科技（苏州）有限公司;江苏亚电科技有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H02S40/10 文献下载
摘要：本发明涉及光伏晶片技术领域，具体地说，涉及基于旋转式光伏晶片双面清洗设备及其清洗方法。其至少包括：顶部清洗机构，顶部清洗机构包括清洗架，清洗架底部转动设有毛刷辊，底部边缘打扫机构，底部边缘打扫机构包括连接架，连接架固定在清洗架靠近端部的底部，连接架内表面开设有调节槽，调节槽内部转动设有调节丝杆，调节丝杆外壁滑动设有打扫架，打扫架外壁设有调节板，调节板与调节丝杆外壁螺纹配合连接，打扫架内部转动设有打扫辊，打扫辊外壁等间距设有多个打扫毛刷，本发明可以对光伏晶片上表面清洗的同时打扫底部边缘处，清理效果更佳，有利于降低劳动强度，且可以根据光伏晶片的长度调节清洗的范围。
基于旋转式光伏晶片双面清洗设备

[发明专利]基于旋转式光伏晶片双面清洗方法-CN202110713667.6在审
发明人：钱诚;冯春;田晓东 -专利权人：亚电科技（苏州）有限公司;江苏亚电科技有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H02S40/10 文献下载
摘要：本发明涉及光伏晶片技术领域，具体地说，涉及基于旋转式光伏晶片双面清洗设备及其清洗方法。其至少包括：顶部清洗机构，顶部清洗机构包括清洗架，清洗架底部转动设有毛刷辊，底部边缘打扫机构，底部边缘打扫机构包括连接架，连接架固定在清洗架靠近端部的底部，连接架内表面开设有调节槽，调节槽内部转动设有调节丝杆，调节丝杆外壁滑动设有打扫架，打扫架外壁设有调节板，调节板与调节丝杆外壁螺纹配合连接，打扫架内部转动设有打扫辊，打扫辊外壁等间距设有多个打扫毛刷，本发明可以对光伏晶片上表面清洗的同时打扫底部边缘处，清理效果更佳，有利于降低劳动强度，且可以根据光伏晶片的长度调节清洗的范围。
基于旋转式光伏晶片双面清洗方法

[发明专利]一种具有循环机构的石英舟清洗装置-CN202110720388.2在审
发明人：钱诚;田晓东;冯春 -专利权人：亚电科技（苏州）有限公司;江苏亚电科技有限公司
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有循环机构的石英舟清洗装置，包括用于废液处理的循环机构和用于对石英舟进行清洗的清洗机构以及用于对石英舟进行烘干的烘干机构，所述循环机构安装在所述清洗机构内侧底部，所述烘干机构安装在所述清洗机构的出料端，所述清洗机构、所述烘干机构内侧均连接有传输机构，所述传输机构上连接有旋转机构，所述循环机构通过联动机构连接所述传输机构。本发明利用循环机构和清洗机构配合，从而使得清洗液废液能够得到充分的过滤，从而继续利用清洗液，提高清洗液的利用效率以及节能性，利用清洗机构、烘干机构、旋转机构、传输机构配合，采用链传动配合齿块的方式，使得石英舟旋转清洗，提高石英舟的清洗效率。
一种具有循环机构石英清洗装置

[实用新型]一种用于硅料的清洗装置-CN202023292149.1有效
发明人：钱诚;夏振;杨洋 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于硅料的清洗装置，包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座，所述驱动机构位于所述机座上侧，所述升降机构位于所述机座顶部，还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本实用新型通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动，同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动，从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度，继而来提高清洗效率，利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内，利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上，从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。
一种用于清洗装置

[实用新型]一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构-CN202023292130.7有效
发明人：钱诚;李刚;吴清 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块驱动挡板从背板上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室，从而将第一清洗工位和第二清洗工位的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或者气体流入到临近工位上。
一种清洗设备挡板机构

[实用新型]一种用于晶圆清洗的甩干设备-CN202120365473.7有效
发明人：钱诚;李刚;周兴江 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型属于晶圆生产领域，具体为一种用于晶圆清洗的甩干设备，包括机体、排水槽、甩干机门、门把手、门体控制机构、甩干驱动机构，还包括晶圆片固定机构，所述晶圆片固定机构包括固定框架、泄水孔、滑槽、活动底板、滚轮、底板推杆、前挡板，所述固定框架下方内部两侧设置有所述滑槽，所述固定框架侧壁和顶部设置有所述泄水孔，所述活动底板设置在所述滑槽之间，所述滚轮设置在所述活动底板两侧。通过本实用新型采用的一种底板可以伸出的晶圆片固定机构，需要放置晶圆时，底板伸出，此时将晶圆托盘从上而下放到底板上，不用再伸长手臂将晶圆托盘向甩干装置内部进行放置，减少晶圆的磕碰风险，提高生产良品率。
一种用于清洗设备

[实用新型]一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮-CN202120372801.6有效
发明人：钱诚;李刚;李文亭 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，包括支撑机构，还包括设置在所述支撑机构上的用于对晶圆进行限位支撑的限位机构，所述限位机构上设置有用于对放置晶圆进行固定的固定机构。本实用新型通过调整机构的双螺旋丝杠转动，使前后两侧的滑块在滑轨内相对移动，调整第一限位板、第二限位板的间距，使第一限位板、第二限位板的下限位座对晶圆下侧进行初步支撑，然后通过固定机构的夹板在弹簧的作用力下对两侧进行夹紧固定，再转动第三限位板上连接的螺杆，推动第三限位板向下移动，对晶圆上部进行支撑限位，便于适应不同尺寸晶圆的支撑固定，提高了对晶圆固定的便利性，避免多规格花篮的储备。
一种清洗适用于不同尺寸花篮

[发明专利]一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置-CN202110173405.5有效
发明人：钱诚;李刚;童建 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： B05B16/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置，包括密封设备，所述密封设备主要由支撑腿、箱体、密封盖组成，所述箱体底部通过螺栓连接有所述支撑腿，所述箱体顶部盖合有所述密封盖，还包括旋转支撑机构、密封板、分割机构。本发明可以通过气缸带动连接架下降，连接架带动密封罩下降，使得密封罩扣合在密封板上，实现了对晶圆清洗、干燥、喷涂分别位于不同的且较小的密闭空间内，可以在干燥晶圆时，干燥室内部空间的湿度较小，有益于提高干燥效率，还可以通过驱动电机在第二链条的作用下带动传动管转动，通过传动管在第一链条的作用下带动四个吸盘放料台转动，进而实现了对不同工位的晶圆清洗、干燥、喷涂干燥的工作，进一步提高了生产效率。
一种用于加工表面清洗涂胶装置

[发明专利]一种用于晶圆的清洗装置-CN202011613524.X有效
发明人：钱诚;李刚;周兴江 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶圆的清洗装置，包括保护机构、固定机构、传送机构、清洗机构，所述保护机构上设置有所述传送机构，所述传送机构上端连接有所述固定机构，所述固定机构上侧设置有所述清洗机构，所述清洗机构之间通过联动机构连接，所述清洗机构、所述传送机构动力端均连接动力机构。本发明所述齿条起配合配合齿轮作用，从而使得晶圆在清洁时进行旋转，利用多级联动效果，提高了动能利用率，同时能够进行配合运动清洗提高清洗效果，利用移动的固定座配合按压弹性阀进行喷水清洗，同时避免清洁剂的空喷，从而提高清洁剂的使用效率。
一种用于清洗装置

[发明专利]一种无篮晶圆清洗方法-CN202011092414.3有效
发明人：童建;李刚;钱诚 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种无篮晶圆清洗方法，由于晶圆直接被置入晶圆支撑架上，由晶圆支撑架直接支撑固定晶圆，省去了晶圆盒，因此，第一喷管上喷嘴能够喷出的清洗液或者清水以抛物线的形式喷射到晶圆周面上，水流被晶圆切开并流到晶圆的前后表面从而直接对晶圆进行清洗，保证了清洗效果。
一种无篮晶圆清洗方法

[实用新型]一种高效晶圆片的清洗装置-CN202023292126.0有效
发明人：钱诚;李刚;周兴江 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效晶圆片的清洗装置，包括清洗桶，所述清洗桶主要由外桶体、内桶体、喷头组成，所述外桶体内侧顶部固定有所述内桶体，所述内桶体内侧顶部设置有向下倾斜的所述喷头，还包括驱动机构，所述驱动机构包括机架、电机，所述机架通过螺栓连接在所述外桶体顶部。本实用新型通过联动的方式对晶圆进行清洗，实现了一次清洗多个晶圆的功能，提高了清洗效率，还可以在晶圆上升的过程中，利用内桶体内部的清洗液对晶圆进行冲洗，使得外桶体内部的清洗液使用的时间更长，进而实现了节约清洗液的功能；还实现了可以安装不同大小的晶圆，提高了本装置的实用性，还可以通过把插接头从连接头底部拆卸下来，使得安装晶圆时更加的方便。
一种高效晶圆片清洗装置

[实用新型]一种在线加热器-CN202023287391.X有效
发明人：钱诚;周志勇;李文亭 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： F24H1/10 文献下载
摘要：本申请涉及一种在线加热器，将筒体分割出个腔室，每个腔室依次连通，流体要依次进过个腔室，每个腔室均能进行加热，能够在有限的空间内，对流体进行较长时间的加热。第一腔室作为主加热腔室，腔室大，能容纳更多的流体，也是流体运动最剧烈的腔室。同时，第二腔室和第三腔室能够缓和流体的运动，使流出的流体平缓。
一种在线加热器

[实用新型]一种无篮晶圆多清洗槽清洗装置-CN202022272267.X有效
发明人：钱诚;李刚;童建 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种无篮晶圆多清洗槽清洗装置，由于晶圆直接被置入晶圆支撑架上，由晶圆支撑架直接支撑固定晶圆，省去了晶圆盒，因此，第一喷管上喷嘴能够喷出的清洗液或者清水以抛物线的形式喷射到晶圆周面上，水流被晶圆切开并流到晶圆的前后表面从而直接对晶圆进行清洗，同时晶圆经过第一清洗槽、第二清洗槽和第三清洗槽三个清洗槽的清洗，提高了清洗效果。
一种无篮晶圆多清洗装置

[发明专利]一种用于单片式晶圆的清洗装置-CN202110181217.7在审
发明人：钱诚;李刚;刘青松 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2021-02-10 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明属于清洗装置领域，具体为一种用于单片式晶圆的清洗装置，包括间隙转动机构、固定机构、清洗机构，所述间隙转动机构包括底板、转轴支架、转轴、蜗轮、蜗杆，所述底板顶端通过所述转轴支架支撑有所述转轴，所述转轴一端键连接有所述蜗轮，所述转轴另一端固定有转盘，所述蜗轮一侧啮合有所述蜗杆，所述蜗杆键连接在电机一输出轴上，所述电机一通过电机支座固定安装在所述转轴支架上，所述固定机构包括连接架、滑动支架、滑套、滑杆、限位板一。本发明采用间隙转动机构和固定机构，从而可以同时固定多个单片式晶圆并送入清洗机构进行清洗，这样清洗效率高，并且清洗机构可以对晶圆的两面同时进行清洗，清洗效果好。
一种用于单片式晶圆清洗装置

[实用新型]一种氮气加热器-CN202023292110.X有效
发明人：钱诚;李刚;吴清 -专利权人： 江苏亚电科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种氮气加热器，具有氮气通过管，且氮气通过管的首尾两端分别为入口接头和出口接头，氮气通过管外具有筒壁，且筒壁沿氮气通过管轴向分别形成隔离腔体和加热腔体，隔离腔体和加热腔体之间通过法兰连接；加热腔体内设置有加热管，所述加热管以螺旋缠绕的方式缠绕在所述氮气通过管外，且加热管两端的接电柱位于所述隔离腔体内。加热管以双股绕线方式进行缠绕，加热管为电阻发热管。本申请的氮气加热器，设置隔离腔体和加热腔体形成两个独立腔体，带电接头位于隔离腔体内，更加安全。同时，加热管以螺旋缠绕的方式缠绕在所述氮气通过管外能够提高热交换效果，使得在更短时间内能够把氮气加热到所需温度。
一种氮气加热器