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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具-CN201820254296.3有效
发明人： 江枝茂;黄世钦;陈昶玮 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2018-02-12 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具，该放置杆包括：杆体以及多个分隔齿。这些分隔齿设于杆体上且沿平行杆体轴心方向间隔排列，每一分隔齿包括齿根部、顶部及齿侧面。齿根部直接与杆体连接；顶部位于远离杆体的一端，且在平行杆体轴心方向上的宽度大于齿根部在平行杆体轴心方向上的宽度；齿侧面位于齿根部与顶部之间。通过本实用新型的实施，可使各分隔齿与基板间呈一点对点接触，并使应用该放置杆结构的基板载具拥有良好的排水效果；还可使基板与分隔齿间不致发生严重碰撞，进而能有效提升基板的生产质量以及合格率。
放置杆齿根部分隔齿杆体基板载具平行杆体轴心方向基板齿侧面应用本实用新型间隔排列排水效果点接触合格率生产

[实用新型]光罩护膜清洁装置-CN201721559141.2有效
发明人：邱铭隆;杨宗益;江枝茂 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：一种光罩护膜清洁装置，包括基座、载台及清洁机构。载台可相对于基座进行倾斜地设于基座上。清洁机构藉由移动装置而可在第一、第二位置间移动，且包括本体、供液模块及清理模块。供液模块连接或设置于本体且包括滴管。清理模块连接或设置于本体且包含吸入口。当清洁机构位于第一位置时，滴管不在载台上方。当清洁机构位于第二位置时，滴管可在载台上方移动，吸入口邻近于载台的边缘。藉此，本实用新型能够将光罩护膜的表面的微粒完全清除干净，不会发生光罩护膜因操作不慎而破损以及清洁不完全等状况。
清洁机构光罩护膜滴管载台第二位置供液模块清洁装置吸入口本实用新型第一位置模块连接移动装置移动破损邻近清洁

[实用新型]闩锁机构及具有该闩锁机构的晶圆盒-CN201620411200.0有效
发明人： 江枝茂;邱铭隆 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2016-05-09 - 公布日： 2016-09-28 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种闩锁机构及具有该闩锁机构的晶圆盒，闩锁机构设置于一门体内用以将门体锁固于一盒体，闩锁机构包含一顶撑件、一闩锁件，及一凸轮件，顶撑件设置于门体内，闩锁件包括一板体及至少一接触部，板体包含一后侧面、一顶抵板部及一连接板部，接触部设置于后侧面且邻近于顶抵板部，接触部用以接触顶撑件并可被顶撑件向前顶撑，顶撑件与接触部其中之一为一滚轮而其中另一为一凸块，凸块具有一用以接触滚轮的斜面，凸轮件可转动地枢接于门体并连接于连接板部，凸轮件用以带动闩锁件滑动至接触部被顶撑件向前顶撑的一锁定位置，以使顶抵板部顶抵于盒体的一前侧缘。借此，避免粉尘污染承载空间内的晶圆；提升使用上的方便性，以及操作上的可靠度。
机构具有晶圆盒

[实用新型]密闭式晶圆传送盒-CN201420802525.2有效
发明人： 江枝茂;邱铭隆;洪国钧;莫逸涵 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2014-12-17 - 公布日： 2015-07-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型在于提供一种密闭式晶圆传送盒，由盒体、盖体、枢接结构及限位扣所构成，其中，盒体具有一容置空间，且于盒体的一侧开设有一开口，其供复数个经由该开口置入于盒体；盖体设于开口处，且相对应于开口，用以盖合于开口，使盒体呈一密闭盒体；枢接结构设在盖体上，并枢接于盒体的开口一端处，使枢接结构枢接盒体与盖体处可相对应；限位扣设在盒体一端且位于开口处，用以与枢接结构相配合，使限位扣能与枢接结构组卸连接，通过盖体盖合于盒体上，避免细微的灰尘在搬运中飘入盒体内，提高盒体内晶圆的良率。
密闭式传送

[实用新型]密闭式晶圆盒-CN201420801753.8有效
发明人： 江枝茂;邱铭隆;简克誌 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2014-12-17 - 公布日： 2015-06-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种密闭式晶圆盒，包括：一中空盒体、一盖体及至少一扣合机构；其中，该盒体的一端设一开口，供至少一片晶圆框架经由该开口置入该盒体中；该盖体设于该盒体的开口处，其与该开口相对应，并盖合于该开口；各该扣合机构设于该盖体上，其于该盖体中央处枢设一转盘，该转盘内面上、下的二对称偏心滑道上，设有一上活动臂及一下活动臂，该上、下活动臂的末端分别设有一卡扣；借此，当该盖体盖合于该盒体的开口上时，可转动该转盘使该上、下活动臂因上、下直线移动，而其卡扣卡合于该开口上、下边缘上，借以令该盖体密闭固定于该盒体的开口上。本实用新型能保护具有晶圆的晶圆框架在搬运中不易滑出晶圆盒，并缓冲及固定晶圆框架，避免晶圆破片。
密闭式晶圆盒

[实用新型]基板收纳容器-CN201420776957.0有效
发明人：杨宗益;邱铭隆;陈延方;江枝茂 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2014-12-10 - 公布日： 2015-05-20 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种基板收纳容器，包括：一本体、一门体及复数齿肋部；其中，该本体的一容置空间用以收纳多个薄化基板；而该等齿肋部是环绕该本体的内周缘而呈现C型开口且彼此间大致以垂直间隔相互对齐而设立，从而水平支撑该些薄化基板，而该每一齿肋部在靠近该C型开口的两侧端各设有一往内突伸的延伸部，该每一齿肋部具有一自该延伸部最外缘至该齿肋部最内缘的纵向延伸长；且该每一齿肋部具有一较窄横向开口宽；其中，该每一齿肋部具有一纵向比介于0.85与1.0之间，及该每一齿肋部具有一横向比介于0.6与0.7之间。
收纳容器

[实用新型]密闭式晶圆传送盒-CN201420799940.7有效
发明人： 江枝茂;洪国钧 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2014-12-17 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种密闭式晶圆传送盒，包括供容置数个晶圆框架的盒体；固设在该盒体的一面上的导引元件；以可滑动及可枢转的方式与该导引元件结合的片体；以可枢转的方式与该片体结合的盖子。借助该片体与该导引元件间的滑动及枢转，以及该片体与该盖子的枢转，该盖子予以相对于该盒体作一维滑动及枢转，以便让该盒体与该盖子分离，并可将该盖子的一边稳固地放置于该盒体的一侧，让该盒体呈开启状态。
密闭式传送

[实用新型]具保护结构的基板卡匣-CN201420385880.4有效
发明人：洪国钧;江枝茂 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2014-07-14 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： B65D81/05 文献下载
摘要：一种具保护结构的基板卡匣，包括：一容置盒及二盖体；其中，所述容置盒的内侧壁上设数个容纳基板的容置槽，所述二盖体盖设于所述容置盒两端的开口上，其中至少一盖体内壁在对应各容置槽的位置上分别设至少一排支撑片，各支撑片在其顶端设一延伸部且在其底端设一基部，并通过所述延伸部与所述基部之间形成一特定夹角使支撑片弹性缓冲地接触基板，各支撑片的延伸部上并设有一对辅助基板导正的导正凸块，可通过各支撑片的延伸部的导正凸块有效防止基板被斜插或错插，避免基板的损坏。
保护结构板卡

[实用新型]卡匣可更换杆体的结构-CN201120038806.1无效
发明人： 江枝茂;颜晖展;颜廷谚 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2011-02-15 - 公布日： 2011-10-19 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种卡匣可更换杆体的结构，由多个框片设置多个组合洞，并在该等框片的两侧分别挖设多个卡榫孔，以贯穿该等组合洞，再将多个杆体置入该等组合洞进行组合，且在该等杆体的两端分别设有一凸部，其上分别设有一贯穿孔，最后将多个卡榫穿过该等卡榫孔及该等贯穿孔，让该等杆体、该等框片及该等卡榫组合成该卡匣，以达到能够更换该等杆体的目的。
卡匣可更换结构

[实用新型]光罩盒的减震结构-CN201120038203.1有效
发明人： 江枝茂;朱筱惠 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2011-02-14 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： B65D81/05 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光罩盒的减震结构，应用于一光罩盒上，由一弹性臂一端连接在该光罩盒的框体上，该弹性臂的另一端自该框体向该光罩盒内延伸设置，且与至少一挡片连接，使一光罩装设在该光罩盒中时，在输送过程中不会因碰撞产生粉尘，而影响该光罩的光罩蚀刻电路的精准度，如此，通过该减震结构达到具有弹性力佳及减震效果佳的目的。
光罩盒减震结构

[实用新型]晶圆盒连动定位装置-CN201120038236.6有效
发明人： 江枝茂;朱筱惠 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2011-02-14 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型一种晶圆盒连动定位装置，其包括有：一晶圆盒、一定位垫及一固定座；其中，所述晶圆盒具有一外盖及一底座；所述定位垫一面枢设至少一定位轴，各定位轴上设至少一定位块，各定位块为多边形片体；所述固定座设一组支撑杆，各支撑杆一端设于所述晶圆盒的底座上，所述定位垫的定位轴二端并枢接于二支撑杆上；如此，通过定位块的数个定位边缘的定位作用，使所述定位垫在上、下移动时，可上、下定位于适当位置上，不会过度的上、下移动，而能避免其卡在外盖上及避免卡在晶圆边缘上。
晶圆盒连动定位装置

[实用新型]卡匣挡板连动结构-CN201120038211.6无效
发明人： 江枝茂;颜晖展;朱筱惠 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2011-02-14 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： B65D85/48 文献下载
摘要：本实用新型公开一种卡匣挡板连动结构，其包括：一置片卡匣、一握把、一连动元件及一侧挡板；其中，所述置片卡匣二侧面板设数个固定肋条；所述握把枢设于所述置片卡匣顶部，其一侧下方设一推动元件；所述连动元件枢设于所述置片卡匣上的所述推动元件一侧处，使所述握把的推动元件可推动所述连动元件产生转动；所述侧挡板枢设于所述置片卡匣的一开口侧边邻近所述连动元件一侧处；如此，通过提起、收回所述握把，使所述握把的推动元件推动所述连动元件产生转动，进而使所述连动元件的转动运动推动所述侧挡板产生开启、盖合，方便卡匣内基板的取放。
挡板结构

[实用新型]光罩盒的定位结构-CN201120038225.8有效
发明人： 江枝茂;朱筱惠 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2011-02-14 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光罩盒的定位结构，其包括有：一底座及一上盖；其中该底座上设一供安装晶圆片的安装座；该上盖内壁选定位置上设至少一定位元件，该多定位元件设一弹性本体，该弹性本体末端设一弹性的接触尖端，用以接触及压住该安装座上的一晶圆片表面；如此，可通过该多定位元件的接触尖端与该晶圆片表面的点接触，减少与该晶圆片接触的磨耗，避免产生磨耗的粉尘，而不影响该晶圆片的光照蚀刻电路的精准度。
光罩盒定位结构

[实用新型]放片架改良强化结构-CN201020635405.X有效
发明人： 江枝茂;颜晖展 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2010-11-26 - 公布日： 2011-07-27 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型是一种放片架改良强化结构，于两个框片之间的左右侧及下侧，分别设有至少一塑胶固定件及至少一支撑件，以凭借各该塑胶固定件、各该支撑件与各该框片固定连接形成一容置空间，各该塑胶固定件中设一强化强度的杆体，该杆体外周缘设一可与塑胶紧密固定的结构，使该塑胶固定件的内壁紧密固定于该结构中，且各该塑胶固定件上形成有复数具有斜度且等间距平行设置的固定肋条，以供数片基板可卡设所述的这些固定肋条之间；如此，即可通过该塑胶固定件的内壁紧密固定于该杆体外周缘的结构，避免所述的这些固定肋条之间的间距，因热胀冷缩而产生尺寸偏移。
放片架改良强化结构

[实用新型]置片架的改良结构-CN201020235943.X有效
发明人： 江枝茂;颜晖展 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2010-06-24 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种置片架的改良结构，设有两框片，该两框片之间具有至少一固定件及至少一支撑件，其中该固定件两末端面以熔接方式连接于该两框片的左右侧，而该支撑件两末端面并以熔接方式连接于该两框片的下侧，以凭借各该固定件、各该支撑件与各该框片固定连接形成一容置空间，且各该固定件上形成有多个具有斜度且等间距平行设置的固定肋条，以供数片基板可卡设该固定件的固定肋条之间，并将一定位件与该两框片相互卡合，以于运送或保存该基板时，可避免保存或搬运过程中因碰撞，而导致基板破损或脱落等问题。
置片架改良结构

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