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[发明专利]扫描型探针显微镜-CN201580080101.7有效
发明人： 永井正道 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2015-05-22 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： G01Q20/02 文献下载
摘要：拍摄控制部(11)以每1张图像为单位切换适合拍摄激光光斑的第1拍摄条件与适合拍摄悬臂的第2拍摄条件，并对摄像机(8)进行控制而进行拍摄。图像合成部(15)制作将在连续2张图像中分别清晰显现的激光光斑影像与悬臂影像合成的图像，在显示部(9)显示。激光中心位置检测部(13)、悬臂前端位置检测部(14)及位置调整量运算部(16)根据由图像处理从连续的2张图像求出的激光中心位置与悬臂前端位置，计算用于光轴调整的位置调整量，该数值也在显示部(9)显示。操作者一边观察该图像与调整量一边对操作部(7)进行操作，从而执行光轴调整。由此，基于在通常的拍摄中难以充分地看到的实际观察图像，能够容易并且可靠地进行光轴调整。
扫描探针显微镜

[发明专利]检查装置及检查方法-CN201510641523.9在审
发明人：藤原忠幸;永井正道 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2015-09-30 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明提供一种使用了检查对象的图像的容易检测形状异常部位的检查装置及检查方法。本发明为检查装置，进行检查光的反射光的亮度的强度比周围区域高的检查对象图案的外观检查，且包括图像获取装置、图像分割部、以及算出部，所述检查装置使用所算出的检查对象图案的宽度进行检查对象图案的外观检查。
检查装置方法

[发明专利]基板检查装置及基板检查装置用透射照明装置-CN201310203730.7有效
发明人：桥本丰之;永井正道;平出雅人;纲泽义夫 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2013-05-27 - 公布日： 2016-11-02 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明是有关于一种基板检查装置及基板检查装置用透射照明装置，该基板检查装置可防止来自红外光源的红外光不透射过基板便入射至相机，从而可准确地检查基板。以电荷耦合器件相机的红外光源的视野被电荷耦合器件相机的基板的视野覆盖的方式设定红外光源的形状及配置。而且，借助菲涅耳透镜的作用，使从配置在红外光源的端缘附近的发光二极管元件出射的红外光的照射角度偏向基板的端缘方向。此外，使基板的端缘区域上的从红外光源照射至基板的红外光的强度，大于基板的中央部上的该红外光的强度。
检查装置透射照明

[发明专利]液晶阵列检查装置及液晶阵列检查装置的信号处理方法-CN201180073957.3有效
发明人： 永井正道 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2011-11-02 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：本发明在从由扫描图像而获得的检测像素坐标检测与各像素相对应的检测像素坐标时，减少检测像素坐标的误检测。本发明涉及一种信号处理，该信号处理用来在液晶阵列检查中通过将对应于液晶基板上的阵列的像素与从扫描图像而获得的检测像素的坐标建立对应关系，而指定用于阵列检查的像素，所述液晶阵列检查是对液晶基板施加规定电压的检查信号而驱动阵列，且扫描对液晶基板照射电子射线而获得的二次电子，基于通过该扫描而获得的扫描图像来检查液晶基板的阵列，且本发明在液晶基板上的像素与从扫描图像而获得的检测像素坐标的对应关系中，使用在列内的检测像素坐标连续的坐标列代替先前的列方向的两端的检测像素坐标作为成为基准的检测像素坐标。
液晶阵列检查装置信号处理方法

[发明专利]液晶阵列检查装置以及液晶阵列检查装置的拍摄图像获取方法-CN201180073905.6有效
发明人： 永井正道 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2011-11-02 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：本发明消除基于移动台的移动分辨率产生的拍摄范围的累积误差，使液晶阵列检查中的缺陷检测的位置精度提高。本发明的液晶阵列检查装置对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，基于对所述液晶基板照射电子束等带电粒子获得的二次电子等信号来拍摄液晶基板，基于通过拍摄获得的拍摄图像来检查液晶基板的阵列，且所述液晶阵列检查装置检测使液晶基板移动的移动部的移动变动，基于该移动变动而修正移动部的移动速度及各拍摄时的移动间隔，并修正累积误差，所述累积误差是基于伴随移动间隔的修正的移动分辨率产生的误差量累积而产生的。累积误差的修正是通过在多次的拍摄中每当规定的拍摄次数将移动间隔修正仅移动部的移动分辨率的量而进行。
液晶阵列检查装置以及拍摄图像获取方法

[发明专利]TFT阵列检查方法以及TFT阵列检查装置-CN201080065328.1有效
发明人： 永井正道 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2010-03-17 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：本发明包括：检测工序，通过带电束的照射来检测面板上的取样点的信号强度；二值化工序，对在检测工序中检测的取样点的信号强度进行二值化，求出二值化图像；对照工序，将在二值化工序中求出的二值化图像中所含的形状作为对照对象形状，对该对照对象形状与预先登记的登记形状进行形状比较以进行对照；以及缺陷判别工序，根据对照工序的对照结果，判别对照对象形状中是否包含登记形状，若在对照对象形状中包含至少一个登记形状，则将包含该对照对象形状的像素判别为缺陷，若在对照对象形状中不包含所登记的所有登记形状中的任何登记形状，则将包含对照对象形状的像素判别为正常，从而不受附加于检测信号的噪声成分影响地检测缺陷像素以进行阵列检查。
tft 阵列检查方法以及装置

[发明专利]液晶阵列检查装置以及液晶阵列检查装置的信号处理方法-CN200980154236.8有效
发明人： 永井正道 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2009-01-09 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：本发明算出每个像素的标准偏差来代替整个面板的标准偏差以作为用于计算基准值的标准偏差，并根据该标准偏差来计算各像素的基准值。由此，算出与检测强度的波动相对应的标准偏差，从而能够算出与检测强度所包含的波动导致的变动相对应的基准值。在基准值计算步骤中，根据对象像素的检测强度和对象像素附近的像素的检测强度来计算每个对象像素的检测强度的平均值和标准偏差，将标准偏差乘以规定系数后得到的值与平均值相加，将得到的值设为基准值。由此，在确定灰度的基准值的计算中，算出与检测强度所包含的波动导致的变动相对应的基准值，由此提高缺陷检测的检测灵敏度。
液晶阵列检查装置以及信号处理方法

[发明专利]液晶阵列检查装置以及液晶阵列检查装置的信号处理方法-CN200980154235.3有效
发明人： 永井正道 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2009-01-09 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：为了降低计算正常值时从附近像素的缺陷强度受到的影响，对于各像素，在其检测强度处于基于面板假设出的水平范围内时使用附近像素的检测强度来计算该像素的正常值，而在其检测强度超出了基于面板假设出的水平范围的情况下，为了避免受到附近像素的缺陷强度的影响，不计算该像素的正常值，而将基于相邻的像素设定出的正常值设定为该像素的正常值。使用面板的标准偏差来判断检测强度是否处于基于面板假设出的水平范围内。由此，在确定灰度的正常值的计算中，在抑制检测强度所包含的波动导致的变动的同时，降低附近像素的缺陷强度对正常值造成的影响，从而基于检测强度计算出适当的正常值。
液晶阵列检查装置以及信号处理方法

[发明专利]液晶阵列检查装置-CN200880129872.0有效
发明人： 永井正道 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2008-06-17 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：一种液晶阵列检查装置，二维地对液晶基板上进行扫描并取得拍摄影像，基于取得的拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查，该液晶阵列检查装置包括：平台，载置着液晶基板，并在Y轴方向上往返移动；拍摄装置，与平台隔开地配置于平台的上方位置；拍摄控制部，对拍摄装置的拍摄进行控制；平台驱动部，在Y轴方向上驱动平台；编码器，对平台驱动部的驱动马达的旋转状态进行检测；拍摄开始位置到达检测部，基于编码器的检测量与拍摄范围，检测出平台上的液晶基板已到达Y轴方向的往程及返程的拍摄开始位置；以及拍摄开始触发信号生成部，基于拍摄开始位置到达检测部的输出，生成使拍摄控制部的拍摄开始的拍摄开始触发信号。借此，当使液晶基板在Y轴方向上往返移动并进行拍摄时，对往程及返程的拍摄开始位置进行调整。
液晶阵列检查装置

[发明专利]液晶阵列检查装置及拍摄范围的修正方法-CN200880129601.5有效
发明人： 永井正道 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2008-06-02 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：在液晶基板上二维地扫描电子光束并取得拍摄影像，基于该拍摄影像来对液晶基板的阵列进行检查，在该液晶阵列检查过程中，使用借由电子光束来对平台进行拍摄而获得的拍摄影像，求出各电子枪的拍摄范围的X方向及Y方向的位置偏移量，根据求出的位置偏移量来计算用以对电子枪的拍摄范围的X方向及Y方向的位置偏移进行修正的修正量，借由对电子光束的X方向的扫描进行控制来修正X方向的位置偏移，且借由将电子枪的Y方向的设置位置予以对准来修正Y方向的位置偏移。
液晶阵列检查装置拍摄范围修正方法

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