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[发明专利]描画装置及描画方法-CN201811004752.X有效
发明人：古仲裕;永井妥由;山本强志;八坂智 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种描画装置及描画方法。描画数据生成部根据整体图案数据依次生成多个分割描画数据并传送给描画控制部，多个分割描画数据分别对应于将基板上的一个带区域在移动方向上进行分割而得到的多个分割区域。描画控制部通过与载物台沿着移动方向进行连续移动并行地控制描画头，从而对带区域进行图案描画。在带描画时间比带描画数据准备时间长时，从开始生成多个分割描画数据起至开始对最初的分割区域进行描画的延迟时间为与最初的分割区域对应的分割描画数据的生成/传送所需的时间。在带描画时间为带描画数据准备时间以下时，延迟时间为开始对最后的分割区域进行描画的描画开始时刻成为多个分割描画数据的生成/传送的完成时刻的时间。能够提高描画装置的产量。
描画装置方法

[发明专利]描画装置以及描画方法-CN201410125769.6有效
发明人：城田浩行;重本宪;永井妥由 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2014-03-31 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： G03F7/207 文献下载
摘要：本发明提供提高基板端部的带状区域的图案的描画精度的技术。描画装置（100）向形成有感光体的基板（90）照射带状描画光来在基板（90）上描画图案。描画装置具有：多个光学头（33a～33e），射出描画光；副扫描机构（221），使光学头（33a～33e）沿着副扫描方向（+x方向）相对于基板移动；主扫描机构，使光学头沿着主扫描方向（+y、-y方向）相对于基板移动。另外，描画装置具有调整多个光学头射出的描画光的焦点位置的自动调焦机构（6）。多个光学头中的一部分光学头（33b～33e）的自动调焦机构将从描画光的中央位置向与副扫描方向相反的方向（-x方向）偏移的基板上的位置作为检测分离距离的变动的检测位置。
描画装置以及方法