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[发明专利]一种深盲孔均匀性刻蚀方法-CN202310813740.6有效
发明人：雷程;梁庭;冀鹏飞;熊继军;王宇峰;郝亚峰 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-07-05 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体芯片制造技术领域，具体是一种深盲孔均匀性刻蚀方法。包括：S1对测试硅片进行盲孔刻蚀，计算刻蚀速率；S2使用S1中的刻蚀速率对硅片分阶段进行盲孔刻蚀；S3在每个刻蚀阶段结束后分区域进行深度测量，S4在第二个刻蚀阶段结束后，分区域进行深度测量，若某一区域深度达到目标深度时，使用刻蚀遮挡物将该区域盲孔遮挡；若某一区域深度未达到目标深度时，进入步骤S5；S5调节刻蚀参数，继续对未达到目标深度的区域进行盲孔刻蚀；S6重复步骤S4‑S5，当硅片上所有区域的盲孔深度都达到目标深度后，停止刻蚀。本发明能够有效控制深盲孔刻蚀的刻蚀深度，提高刻蚀均匀性，并且能够监测刻蚀工艺。
一种深盲孔均匀刻蚀方法

[发明专利]预取地址生成方法及计算机设备-CN202210043720.0在审
发明人：梁庭;袁辉;刘珂;陈明宇;李海锋 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G06F12/0862 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种预取地址生成方法及计算机设备，可以应用于针对非直接拓展内存的预取场景，具体可以通过计算机设备实现。本申请方法采用机器学习的方式识别内存访问地址的地址偏移随时间变化的规律，根据识别得到的访存模式计算得到指向预取地址的N个地址偏移的概率，这种方式对于各种规律或不规律变化的地址偏移也能得到相应的概率；在根据该概率从N个地址偏移中确定目标偏移后，叠加该目标偏移和最近一次内存访问请求的访问地址生成预取地址。根据本申请方法生成的预取地址进行数据预取，可以提高缓存命中率。
地址生成方法计算机设备

[发明专利]自适应光纤曝光系统及光纤-平面芯片纵向异构集成方法-CN202310458670.7有效
发明人：雷程;梁庭;熊继军;郝亚峰;李志强 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种自适应光纤曝光系统及光纤‑平面芯片纵向异构集成方法，属于半导体器件制备的技术领域，该系统包括光源、三维微动平台、旋转式光纤夹具、光纤适配器和载物台；三维微动平台包括Y轴移动平台、X轴移动平台和旋转平台。本发明在解决了光纤与平面芯片高精度（微米级）耦合的同时，开发了自适应光纤光刻工艺及热调控过盈配合侧面键合工艺，显著提高了光纤与芯片的刚性耦合强度，规避了常用有机胶固定连接结构所带来的温度限制、化学和蠕变稳定性以及刚性匹配等问题。该方法对于光纤端面无要求，平面、凸面、斜面均可实现需求图形的定量刻蚀以实现光纤与平面芯片异构集成。
自适应光纤曝光系统平面芯片纵向集成方法

[发明专利]一种内存预取方法及装置-CN202111063900.7在审
发明人：刘珂;袁辉;潘海洋;陈明宇;李海锋;梁庭 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G06F9/50 文献下载
摘要：本申请公开了一种内存预取方法及装置，涉及计算机技术领域。本端设备获取目标流信息；根据目标流信息确定包括待预取逻辑页的虚拟页面号VPN的预取信息。该本端设备根据该预取信息，生成预取请求。该本端设备向远端设备发送该预取请求，以获取待预取逻辑页中的数据。其中，目标流信息用于指示进程的历史访问行为满足预设条件。远端设备用于为本端设备提供扩展内存。通过本申请，可以提高应用进程的运行效率。
一种内存方法装置

[实用新型]一种可增强红外热电堆探测器红外吸收的封装结构-CN202220892227.1有效
发明人：关一浩;雷程;梁庭;熊继军;武学占 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： G01J5/34 文献下载
摘要：本实用新型属于红外热电堆探测器封装技术领域，解决了外界红外辐射透过滤光片照射到热电堆薄膜时，一部分被反射、一部分透过薄膜照射到底部，仅少部分辐射被薄膜吸收，导致响应率低的问题。提供了一种可增强红外热电堆探测器红外吸收的封装结构，包括红外传感器芯片、封装管帽和封装管座，封装管座位于封装管帽底部且与封装管帽构成一封闭的中空区域，红外传感器芯片置于中空区域中且与封装管座之间通过反射底座连接，封装管帽上端对应红外传感器芯片的位置具有辐射口，辐射口通过一凸透滤光片覆盖。通过在红外传感器芯片的下方设置可以反射透过芯片膜层的红外光的反射底座，使得红外传感器芯片二次吸收红外辐射，进而增强探测器的性能。
一种增强红外热电探测器吸收封装结构

[发明专利]一种三氧化钼量子点的合成方法及其应用-CN202010359229.X有效
发明人：陈晓勇;张泽宇;洪应平;梁庭;贾平岗;雷程;李晨 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： C01G39/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种三氧化钼量子点的合成方法及其应用，其合成方法为S1、将高锰酸钾，溶于水中，调节pH值到酸性；S2、向步骤S1中获得的溶液加入二硫化钼，水浴加热至反应完全；S3、将步骤S2中获得的溶液，离心，取上清液加入无水乙醇、过氧化氢溶液，于反应釜中进行水热反应，得到三氧化钼量子点。三氧化钼量子点的应用为用于Cr2O72‑的检测。本发明的合成方法不用表面活性剂，合成的量子点中钼的价态高，导致制备的量子产率高，合成的MoO3量子点可以用于Cr2O72‑的快速和高灵敏度的检测，其对Cr2O72‑的检测限宽为0～3μmol/L，检出限可达59nmol/L。
一种氧化钼量子合成方法及其应用

[实用新型]一种具有过滤功能的生态鱼养殖用换水装置-CN202220612352.2有效
发明人：邓深松;梁礼南;黄俊宇;宁佰山;梁庭 -专利权人：玉林市福绵区普益贝贝种养专业合作社
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： A01K63/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有过滤功能的生态鱼养殖用换水装置，属于生态鱼养殖技术领域，包括养殖箱和抽水泵A，养殖箱一侧固定安装有抽水泵A，养殖箱一侧分别设置有抽水机构和过滤机构，抽水泵A一侧配套设置有抽水管，抽水管一侧管道连接有抽水主管，抽水主管一侧管道连接有抽水分管，抽水分管内部可拆卸设置有过滤粗网，抽水泵A另一侧配套设置有输水管。本实用新型通过设置抽水管、抽水主管、抽水分管、过滤粗网和输水管，当装置在使用过程中可以利用上述结构防止养殖箱内部的小鱼被抽出，同时将过滤网设置为可拆卸的，当过滤网上方堆积有杂质时可以将过滤网拆下进行清洗，进而提高装置在使用过程中的质量。
一种具有过滤功能生态养殖用换水装置

[发明专利]一种MEMS超薄悬浮膜释放方法-CN202210373580.3在审
发明人：关一浩;雷程;梁庭;熊继军;武学占 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种适用于批量化、低成本、较简便的超薄悬浮膜释放方法，属于MEMS传感器技术领域，本发明在干法刻蚀过程中通过引入贴片环，贴片环光刻胶形成台阶，使得正面保护的陪片与膜结构不直接接触，避免了之后膜分离时的外力损伤。贴片环位于晶圆一圈，属于密闭环，避免刻蚀气体进入空隙造成损伤。适用于批量化、低成本、较简便的超薄悬浮膜释放。
一种 mems 超薄悬浮释放方法

[实用新型]一种全自动循环流水养殖池塘鱼粪吸收装置-CN202220631815.X有效
发明人：邓深松;梁礼南;黄俊宇;宁佰山;梁庭 -专利权人：玉林市福绵区普益贝贝种养专业合作社
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： A01K63/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动循环流水养殖池塘鱼粪吸收装置，属于养殖技术领域，包括平板车和自吸泵和储存箱，平板车上方两侧分别固定安装有自吸泵和储存箱，平板车上设置有清理机构，储存箱内部设置有过滤机构；清理机构包括：电动伸缩杆A、连接板、电动刷盘、吸污口和刮板，平板车前端固定安装有电动伸缩杆A，电动伸缩杆A端部固定设置有连接板，连接板下方从一侧到另一侧依次固定安装有电动刷盘、吸污口和刮板。本实用新型中，通过设置清理机构，通过利用电动刷盘，可以将粘附在池塘地面的顽固污物进行刷除，并在刮板的配合下，将粪便机污物等向前围堵，使吸污口吸污的效率更高，且清理更加干净。
一种全自动循环流水养殖池塘吸收装置

[实用新型]一种高温压力传感器封装结构-CN202220358676.8有效
发明人：薛胜方;梁庭;雷程;李志强;单存良;董志超;武学占 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01L19/00 文献下载
摘要：本实用新型属于压力传感器封装技术领域，解决了现有高温压力传感器在封装时存在的结构强度低及悬空键合引线不稳定的问题。提供了一种高温压力传感器封装结构，包括压敏芯片、玻璃转接板、硅基底和玻璃封装罩，玻璃转接板和玻璃封装罩内部均贯穿设置有金属柱层，硅基底的上表面具有金属焊盘组，其中内侧的金属焊盘连接在玻璃转接板内部的金属柱层下端，外侧的金属焊盘连接在玻璃封装罩内部的金属柱层的下端，压敏芯片的下表面具有与玻璃转接板内部的金属柱层上端连接的金属焊盘。该封装结构实现了良好的气密性，保证了足够的封装强度；整体封装结构内不含有悬空的引线，避免了悬空键合引线的不稳定性的缺点。
一种高温压力传感器封装结构

[发明专利]测量力学参数的光纤法珀传感器及其制造方法-CN202010908776.9有效
发明人：贾平岗;熊继军;房国成;洪应平;梁庭;谭秋林;刘文怡 -专利权人：中北大学
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种测量力学参数的光纤法珀传感器及其制造方法。其中，测量力学参数的光纤法珀传感器包括：中空管体，其具有依次布置的第一管体、空腔部和第二管体；第一光纤，其插入于第一管体，第一光纤具有设置在空腔部内的第一导光端面；以及第二光纤，其插入于第二管体，第二光纤具有设置在空腔部内的第二导光端面，第一导光端面与第二导光端面相隔预设距离而相对设置，空腔部的内径大于第一管体和第二管体当中的任一个管体的内径。根据本发明，能够提供一种提高灵敏度的光纤法珀传感器。
测量力学参数光纤传感器及其制造方法

[实用新型]非本征光纤法珀压力传感器-CN202121545052.9有效
发明人：贾平岗;熊继军;李加顺;刘佳;安国文;梁庭 -专利权人：中北大学
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本实用新型描述一种非本征光纤法珀压力传感器，其包括敏感单元、以及与敏感单元连接的光学组件，敏感单元包括依次层叠的第一膜片、配置为光线可透射而过的第二膜片、以及具有通孔的第三膜片，第一膜片与第二膜片之间形成有空腔，通孔的轴线正交于第一光学表面，光学组件嵌设于通孔中，经由光学组件和第二膜片而进入空腔的光线能够在第一光学表面与第二光学表面之间进行反射并生成包括第一光学表面与第二光学表面的间距信息的光学信号，其中，第一膜片配置为受到压力作用而发生形变以使第一光学表面与第二光学表面的间距发生改变，通过感测光学信号以对压力进行感测。根据本实用新型，能够提供一种在高温环境中感测压力的压力传感器。
光纤压力传感器

[实用新型]光纤法珀压力传感器-CN202121545055.2有效
发明人：贾平岗;熊继军;李加顺;房国成;刘佳;安国文;梁庭 -专利权人：中北大学
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本实用新型描述一种光纤法珀压力传感器，其包括敏感单元和光学组件，敏感单元包括层叠设置的具有第一光学表面的第一膜片以及具有第二光学表面的第二膜片，第一光学表面与第二光学表面相对且平行地设置并且在第一光学表面与第二光学表面之间形成有空腔，第一膜片具有与空腔连通的通孔，光学组件嵌设于通孔中，经由光学组件而进入空腔的光线能够在光学组件嵌入于通孔中的一端的端面与第二光学表面之间进行反射并生成包括第一光学表面与第二光学表面的间距信息的光学信号，其中，第二膜片配置为受到压力作用而发生形变以使第一光学表面与第二光学表面的间距发生改变，通过感测光学信号以感测压力。根据本实用新型，能够在高温环境中感测压力。
光纤压力传感器

[发明专利]光纤法珀压力传感器及其敏感单元的高一致性制备方法-CN202110769703.0在审
发明人：贾平岗;熊继军;李加顺;刘佳;安国文;梁庭 -专利权人：中北大学
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本公开描述一种光纤法珀压力传感器及其敏感单元的高一致性制备方法，其包括以下步骤：准备第一石英片、第二石英片、以及第三石英片；对第一石英片的上表面进行抛光，对第二石英片的上表面和下表面进行抛光，并且对第三石英片的上表面进行抛光；以预定分布方式在第一石英片的上表面或第二石英片的上表面制作多个凹槽；以预定分布方式在第三石英片制作多个通孔；以覆盖多个凹槽的方式将第一石英片的上表面与第二石英片的上表面结合，并且将第三石英片的上表面与第二石英片的下表面结合，形成各个凹槽与各个通孔分别共轴的层叠体；并且对多个凹槽进行切割以获得多个敏感单元。根据本公开，能够提高光纤法珀压力传感器的敏感单元的一致性。
光纤压力传感器及其敏感单元一致性制备方法

[发明专利]光纤法珀压力传感器及其敏感单元的批量化制备方法-CN202110769704.5在审
发明人：贾平岗;熊继军;李加顺;房国成;刘佳;安国文;梁庭 -专利权人：中北大学
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本公开描述一种光纤法珀压力传感器的敏感单元的批量化制备方法，包括以下步骤：准备第一石英片和第二石英片，对第一石英片的上表面进行抛光，对第二石英片的上表面进行抛光；在第一石英片的上表面制作多个凹槽；在第一石英片的下表面，在与各个凹槽相应的位置制作与该凹槽共轴且与该凹槽连通的通孔；将第二石英片的上表面以覆盖多个凹槽的方式与第一石英片的上表面结合，形成层叠体；并且对层叠体的多个凹槽进行切割以获得多个敏感单元。根据本公开，能够提高光纤法珀压力传感器的敏感单元的一致性。
光纤压力传感器及其敏感单元批量制备方法

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