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[发明专利]贴合装置、贴合方法以及显示装置的制造方法-CN202080031258.1在审
发明人： 柳川良胜;平野贵文;大仓直也 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：能够在以高精度进行了对位的状态下，大致均匀地对整个面进行加压。大致板状的第1吸附部吸附大致板状的第1构件，设置于第1吸附部的铅垂方向上侧的大致板状的第2吸附部吸附透明的大致板状的第2构件，将它们贴合。第2吸附部是两端被覆盖的大致筒状的构件，第2吸附部的下侧的面是形成有在厚度方向上贯通的孔的透明的吸附焊盘，通过从吸引口吸引空气，第2构件被吸附在吸附焊盘。第2吸附部的上侧的面的至少一部分包含透明构件，设置于第2吸附部的铅垂方向上侧的摄像部隔着透明构件以及吸附焊盘对第1构件和/或第2构件进行拍摄。
贴合装置方法以及显示装置制造

[发明专利]激光剥离用装置和激光剥离方法-CN202080029126.5在审
发明人： 柳川良胜;平野贵文;下浦厚志 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B23K26/57 文献下载
摘要：本发明具备：XY载台(1)，其载置加工对象物(9)而进行移动；激光照射装置(2)，其从光行进方向的上游向下游按顺序具备：激光头(16)；均匀光学系统(17)，其使激光的横截面内的能量分布均匀化；投影掩模(18)，其具有与加工对象物(9)的被激光照射部对应的形状的狭缝；以及缩小投影光学系统(19)，其使该投影掩模(18)的狭缝在被激光照射部成像；以及载台控制部(6)，其生成与XY载台(1)向X轴方向的移动同步的控制脉冲来控制激光头(16)的脉冲振荡。
激光剥离装置方法

[发明专利]修复用单元、微型LED显示器及修复用单元的制造方法-CN201980066997.1在审
发明人： 柳川良胜;平野贵文;梶山康一 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： G02B5/20 文献下载
摘要：本发明提供一种修复用单元，该修复用单元是用作缺陷单元的替代品的修复用单元(21a)，具备：微型LED(3)，其发出从紫外至蓝色波段中的具有特定的光谱的光，在彼此相对的面中的一个面上具有用于发光的电极(31a、31b)，在另一个面形成有将光射出的光射出面(32)；平坦化膜(4)，其形成为平板状，在预先决定的位置具有用于与微型LED(3)的周侧面粘接而对微型LED(3)进行保持的包围壁(41)，通过紫外线照射或加热而表现出粘接功能，从而保持1个或多个微型LED(3)；以及荧光发光层(11)，其设置在平坦化膜上，是与微型LED(3)的数量相应地在周围被遮光壁(12)包围的区域中填充荧光材料而成的，上述荧光材料由从微型LED(3)射出的光激发而波长转换为对应颜色的荧光，由此，省略复杂的工序，缩短节拍时间，并能修复微型LED显示器的缺陷部位。
修复单元微型 led 显示器制造方法

[发明专利]载体膜、LED显示面板的修复方法及LED显示面板的修复装置-CN201980066974.0在审
发明人：梶山康一;平野贵文;柳川良胜 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： G09F9/33 文献下载
摘要：本发明具备多个修复器件(3)并将多个修复器件(3)配置在支撑膜(2)上，多个修复器件(3)是在被遮光壁(6)包围的开口(7)内具有用于修复全彩LED显示面板的缺陷像素(21)的修复要素的结构。
载体 led 显示面板修复方法装置

[发明专利]LED显示面板的制造方法以及LED显示面板-CN201980057901.5在审
发明人： 柳川良胜;平野贵文;深谷康一郎;大仓直也 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H01L33/58 文献下载
摘要：本发明是一种在以矩阵状配置多个LED的LED阵列基板(1)上，包围LED(4)地设置有遮光壁(3)的LED显示面板的制造方法，包含：在透明基板(14)上涂覆透明感光性树脂，通过光刻法将感光性树脂曝光以及显影以形成分隔壁(7)后，在分隔壁(7)的表面设置反射或吸收光的薄膜(8)以形成遮光壁(3)的工序；在对准LED阵列基板(1)与透明基板(14)，以使LED阵列基板(1)的各个LED(4)收纳在相邻的遮光壁(3)之间后，经由粘接剂层(17)将遮光壁(3)接合到LED阵列基板(1)的工序；以及从透明基板(14)侧照射激光，从遮光壁(3)剥离并拆除透明基板(14)的工序。
led 显示面板制造方法以及

[发明专利]基板安装方法以及电子部件安装基板-CN201980042486.6在审
发明人：梶山康一;深谷康一郎;平野贵文;柳川良胜 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： H05K1/18 文献下载
摘要：提供能够实现电极间隔窄的电子部件的安装的基板安装方法。是向布线基板(4)安装电子部件(3)的方法，包括：在与所述电子部件的触点(5)对应地设置于所述布线基板的电极焊盘(6)上图案形成出导电性的弹性突起部(7)的工序；在所述布线基板上形成由感光性热固化型树脂构成的粘接材料层(10)的工序；对所述粘接材料层加热至第一温度带而使该粘接材料层的粘度降低的工序；在所述粘接材料层的粘度降低的状态下，将所述电子部件定位配置于所述布线基板上之后进行按压，经由导电性的所述弹性突起部将所述电子部件的所述触点与所述布线基板的所述电极焊盘电连接的工序；以及对所述粘接材料层加热至比所述第一温度带高的第二温度带而使该粘接材料层固化，将所述电子部件固定于所述布线基板的工序。
安装方法以及电子部件

[发明专利]半导体元件形成蓝宝石基板、半导体元件形成蓝宝石基板的制造方法、半导体元件转印方法-CN201980041198.9在审
发明人： 柳川良胜;平野贵文;深谷康一郎 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：能够将半导体元件高精度地转印于电路基板，并且减轻从蓝宝石基板剥离半导体元件的工序中的工时以及设备负担。一种半导体元件形成蓝宝石基板(12)，在蓝宝石基板(12)上排列形成有氮化镓系半导体元件，其特征在于，在所述蓝宝石基板(11)与所述半导体元件(10)的界面具有氮化镓再融合层(A)，所述氮化镓再融合层的粘合强度小于将所述半导体元件粘合于电路基板的粘合层的粘合强度。
半导体元件形成蓝宝石制造方法

[发明专利]LED显示器的制造方法-CN201980011428.7在审
发明人： 柳川良胜;深谷康一郎;大仓直也 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2019-01-18 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： G09F9/33 文献下载
摘要：本发明包含如下工序：在对基片(10)的一方的表面上生成有LED(11)的LED基板(1)与包含电路层(22)的线路基板(2)进行贴合时，LED基板在LED(11)的上表面具有LED电极和粘接面，线路基板具有包含弹性支承构件、线路基板电极、限位层、粘接层的结构体(27)，以粘接面与粘接层的上表面相接合的方式对齐；对线路基板加压贴合LED基板；在LED基板被加压的状态下从基片的另一方的表面照射紫外光(UV)，使粘接层固化而将LED临时粘接在线路基板上；从另一方的表面照射激光(L)而使LED从LED基板剥离；以及在LED贴装之后加热粘接层使粘接层进一步固化，由此将LED真正粘接在线路基板上。由此，能够提供一种线路基板与各LED的间隔保持固定的LED显示器的制造方法。
led 显示器制造方法

[发明专利]LED显示面板的制造方法-CN201880077976.5在审
发明人： 柳川良胜;平野贵文 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2018-11-05 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： G09F9/33 文献下载
摘要：本发明是在矩阵状地配置有多个LED(4)的LED阵列基板(1)上包围所述LED(4)地设置有遮光壁(3)的LED显示面板的制造方法，所述遮光壁(3)是在通过光刻法对透明的感光性树脂(16)进行曝光及显影而形成成为所述遮光壁(3)的基材的隔壁(7)后，在该隔壁(7)的表面设置反射或吸收从所述LED(4)发射的光的薄膜(8)而形成的。
led 显示面板制造方法

[发明专利]利用激光剥离的加工方法和平坦化夹具-CN201880070053.7在审
发明人： 柳川良胜;深谷康一郎;大仓直也 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： H01L33/02 文献下载
摘要：本发明是利用激光剥离的加工方法，对包含蓝宝石基板(11)、以及形成在蓝宝石基板的一个面的微型LED(12)的层叠体(1)，从蓝宝石基板的另一个面照射通过脉冲振荡产生的激光，使各个微型LED从蓝宝石基板剥离，该加工方法执行如下工序：通过来自层叠体的外部的作用压制蓝宝石基板的翘曲而使该蓝宝石基板平坦化的工序；以及在蓝宝石基板平坦化的状态下，一边使载置在工作台(91)上的层叠体与照射激光的光学系统(6)相对移动，一边以使焦点位置对准蓝宝石基板与微型LED的边界部的方式从上述另一个面照射激光，使各个微型LED从蓝宝石基板剥离的工序。由此，能够提供即使蓝宝石基板产生翘曲的问题也会使微型LED良好地从蓝宝石基板剥离的利用激光剥离的加工方法。
利用激光剥离加工方法平坦夹具

[发明专利]成膜掩模的制造方法-CN201380066197.2有效
发明人：工藤修二;柳川良胜;后藤隆之 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2013-10-17 - 公布日： 2015-08-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明的成膜掩模的制造方法，在树脂性薄膜(2)的预先设定的位置进行激光加工而形成贯通的开口图形(1)，在所述薄膜(2)和支承该薄膜(2)的基准基板(13)的平滑面(13b)之间形成液膜(14)的弯液面，在借助由拉普拉斯压力产生的吸附力而使所述薄膜(2)与所述基准基板(13)紧贴之后，激光加工所述开口图形(1)。由此在开口图形的边缘部不产生飞边，能够使激光加工高速化。
成膜掩模制造方法

[发明专利]激光照明装置-CN201280017146.6有效
发明人：梶山康一;水村通伸;畑中诚;柳川良胜 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2012-04-03 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：在激光照明装置中，在从光源射出的脉冲激光的光路上配置有蝇眼透镜和聚光透镜，在光源与蝇眼透镜之间，或在蝇眼透镜与聚光透镜之间，配置有电光晶体元件，该电光晶体元件使脉冲激光相对于入射光使其偏转方向连续地变化而进行透射。该电光晶体元件例如由1对电极和配置在该电极之间的光学晶体材料构成，通过在电极之间施加电压而产生电场，从而电晶体元件的折射率变化。由此，能降低蝇眼透镜的透射光的由干涉条纹造成的照明不均匀。
激光照明装置

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