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[发明专利]电容式真空规的膜片及其电容式真空规-CN202111499248.3在审
发明人：曹文静;林立男;姜浩延;张琳琳;陶硕;廖兴才 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电容式真空规的膜片及其电容式真空规，包括膜片层、抗刻蚀层和导电层，膜片层用于将真空规的内部空间分为真空空间和被测空间，所述膜片层的材质为石英材质；抗刻蚀层设置在所述膜片层远离固定电极的一端；导电层设置在所述膜片层靠近所述固定电极的一端，用于与真空规的电极柱电连接。通过石英材质制作的膜片层作为隔膜，并在膜片层位于被测空间的一端设置抗刻蚀层，有效地提高了真空规的抗刻蚀性或防腐蚀性，并提高了膜片的应力次数，从而使真空规具有精度高、抗刻蚀性、寿命长、可重复使用、稳定性好及其实际应用广的特点，有效降低了真空规的成本。
电容真空膜片及其

[发明专利]一种电容式真空规-CN202111532135.9在审
发明人：曹文静;林立男;刘旭强;张琳琳;陶硕;廖兴才 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电容式真空规，涉及真空规技术领域，电容式真空规包括外壳体、内壳体、差分电路、上盖、下规体和石英晶体隔膜，石英晶体隔膜设置于第二空腔内并将第二空腔分隔为压力参考腔和测试压力腔，石英晶体隔膜的至少一侧设置有导电层，石英晶体隔膜的平面度公差不大于5mm；压力参考腔内部真空，且内部设置有电容极。通过使用平整度更高且封接过程中不易变形的石英晶体材质作为隔膜，从而确保真空规测量结果的准确性；与同等厚度的陶瓷薄膜和金属薄膜相比，由于石英晶体隔膜具有更高的硬度，即使经过长时间的使用，石英晶体隔膜恢复形变之后依旧能保持很高的平整度，且不易变形，从而使得电容式真空规具有很好的稳定性。
一种电容真空

[发明专利]压力传感器的保温装置及其压力传感器-CN202111532108.1在审
发明人：高乐;韩雪飞;林立男;张琳琳;陶硕;刘旭强;唐嫒尧;王杰 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F16L59/04 文献下载
摘要：本发明提供一种压力传感器的保温装置及其压力传感器，包括保温外壳，所述保温外壳罩在压力传感器的加热源外，所述保温外壳上设置有供所述压力传感器的进气管穿出的通孔，且所述保温外壳与所述加热源之间设置有空隙。通过在保温外壳和加热源之间设置空隙，以空气为主要保温材料，提高了该压力传感器的保温装置的隔热性能，有利于降低压力传感器达到所需温度的加热功耗，并且，能在不减弱保温效果的前提下，既减小了整体结构的空间体积，又降低了压力传感器的成本，同时又避免了保温材料使用寿命短的缺点。
压力传感器保温装置及其

[发明专利]薄膜电容式真空规-CN202211543286.9在审
发明人：刘公超;廖兴才;韩雪飞;林立男;刘旭强;王杰;唐嫒尧 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及真空计技术领域，提供一种薄膜电容式真空规，其包括：外壳；应力释放结构；电极极板，电极极板设于外壳的内部，电极极板通过应力释放结构与外壳连接并将外壳分隔形成参考腔和工艺腔；弹性薄膜，弹性薄膜设于工艺腔内，且与电极极板连接形成封闭腔。本发明提供的一种薄膜电容式真空规，通过在外壳与电极极板之间设置应力释放结构，用于释放外壳传导到电极极板和弹性薄膜上的应力，减小甚至消除应力向弹性薄膜的传导，从而减小弹性薄膜因应力产生的翘曲现象，减小真空度测量偏差，提高测量准确性。
薄膜电容真空

[发明专利]一种具有低翘曲度的晶圆-CN202211600657.2在审
发明人：姜浩延;韩雪飞;林立男;张琳琳;曹文静;孙润吉;唐嫒尧;陶硕 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种具有低翘曲度的晶圆，晶圆包括基底和设置于基底上的膜层结构，膜层结构能减小晶圆的翘曲度。膜层结构包括至少一层功能膜层和至少一层平衡膜层，平衡膜层对基底产生的应力与功能膜层对基底产生的应力方向相反，以减小所述晶圆所受的合应力，功能膜层是实现晶圆所需的功能膜层结构，通常功能膜层由于材料热膨胀系数与基底材料有差异会对晶圆产生应力，平衡膜层是通过平衡膜层材料与基底材料的热膨胀系数差别对晶圆产生与功能膜层相反方向的应力，通过平衡膜层与功能膜层对晶圆之间产生的应力的相互作用，使得膜层间应力相互抵消，使得整体晶圆所受合应力减小，从而降低整体晶圆的翘曲度。
一种具有曲度

[发明专利]芯片内减振结构的装配方法-CN202011331256.2有效
发明人： 林立男;张琳琳;朱京;廖兴才;裴志强;褚伟航 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01C19/5628 文献下载
摘要：本发明涉及芯片内部减振技术领域，提供了一种芯片内减振结构的装配方法。该芯片内减振结构的装配方法，包括如下步骤：选取基片，在所述基片的安装面上制备安装台和振动梁，并在所述安装台上制备凹槽，以及与所述凹槽连接的定位装配区，在所述振动梁上制备引出电极，所述安装台上还制备有用以连接所述引出电极和所述芯片的电极的过渡电极；将芯片放置在所述凹槽上，并使所述芯片的安装区与所述定位装配区对应装配，连接所述芯片的电极和所述过渡电极。本发明操作简单方便，通过芯片放置在凹槽上，且芯片的安装区与定位装配区对应装配，保证芯片与安装台的同中心装配，防止芯片与安装台发生偏移，保证芯片的性能。
芯片内减振结构装配方法

[发明专利]内减振石英音叉陀螺-CN202011335186.8有效
发明人： 林立男;张琳琳;廖兴才;褚伟航;朱京;裴志强 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01C19/5607 文献下载
摘要：本发明涉及陀螺技术领域，提供了一种内减振石英音叉陀螺。该内减振石英音叉陀螺，包括石英音叉、安装台和基座，所述石英音叉安装于所述安装台上，所述安装台的周侧设有多个减振梁，所述基座上设有与所述减振梁一一对应连接的支柱，所述安装台与所述基座之间设有间隙。本发明通过将石英音叉设置在安装台上，安装台通过减振梁与基座上的支柱连接，且保证安装台与基座之间留有间隙，使得基座的振动只能通过减振梁传递至安装台，减振梁产生阻尼作用，使振动衰减，使传递到安装台时的振动极其微弱或消失，以此实现了对石英音叉的减振隔振作用，体积小，便于装配，降低成本，且减振效果好。
内减振石英音叉陀螺

[发明专利]一种真空规电容结构及真空规-CN202211505072.2有效
发明人：曹文静;林立男;姜浩延;张琳琳;闫冉;陶硕;刘旭强;潘雨墨;孙润吉 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01D5/241 文献下载
摘要：本发明涉及电容式测量计的技术领域，提供一种真空规电容结构及真空规，包括：外壳，具有内腔；动极板，为薄膜结构，并将内腔分隔为测试腔和参考腔；固定极板，设置于参考腔内，固定极板朝向动极板的一面具有第一电极，第一电极与动极板组成可变电容；参考极板，设置于固定极板背离动极板的一侧，并且朝向参考极板的一面具有第二电极，第二电极与固定极板组成参考电容，可变电容的初始电容值与参考电容值相等。通过设置参考极板，以形成参考电容，以消减翘曲度对测试结果的影响，进而提高测试精度；同时，可以测得更大的电容值，以提高测试的精度；此外，通过参考极板作为参考，以减小动极板变形所带来的影响，保证期间长时间的使用精度。
一种真空电容结构

[发明专利]一种三电极真空度测量传感器-CN202211427458.6在审
发明人：王杰;林立男;闫冉;王松杰;宋冬谊;刘旭强 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及真空计技术领域，提供一种三电极真空度测量传感器其包括：壳体；电极极板，电极极板设于壳体的内部，并将壳体分隔形成参考腔和工艺腔；弹性薄膜，弹性薄膜设于工艺腔内，且与电极极板连接形成封闭腔；第一电极，第一电极的第一端穿设于封闭腔并与弹性薄膜连接，第一电极的第二端穿过参考腔并从壳体伸出；第二电极和第三电极，第二电极和第三电极的第一端与电极极板连接，第二电极和第三电极的第二端穿过参考腔并从壳体伸出。本发明通过将弹性薄膜的电极单独引出，形成内环电极、外环电极和公共电极三个单独极板，使得形成内环电容器和外环电容器，提高了传感器自身的抗杂散电容的能力，减弱了壳体带来的串扰，增强了稳定性。
一种电极真空测量传感器

[发明专利]一种薄膜真空计参考腔室形成装置及方法-CN202211282013.3在审
发明人：陶硕;刘旭强;闫冉;韩雪飞;林立男;张琳琳;曹文静;姜浩延;孙润吉 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜电容式真空计的领域，提供一种薄膜真空计参考腔室形成装置及方法，包括：除气模块，包括烘烤室，以及用于对烘烤室抽真空的第一真空泵组；钳封模块，包括主腔室，设置于主腔室内的钳封机构，以及用于对主腔室抽真空的第二真空泵组；主腔室设置于烘烤室下游，并通过可控制开闭的第一阀门与烘烤室连通；传送模块，用于使待加工样品在除气模块和钳封模块之间密闭传送；气体回填模块，具有多个可控制通断的回填支路，且与除气模块和钳封模块连接，用于向除气模块和钳封模块内回填气体。避免了采用真空焊接温度高、空洞率较大的问题，保证了封接区的密封性；封前采用烘烤除气，以加速待加工样品材料的释气，提高了参考腔室内部的真空度。
一种薄膜真空计参考形成装置方法

[发明专利]真空度检测电路、真空规及真空度检测方法-CN202211275215.5在审
发明人：宋冬谊;王松杰;王杰;唐嫒尧;张永斌;闫冉;廖兴才;林立男 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种真空度检测电路、真空规及真空度检测方法，属于真空测量技术领域，该真空度检测电路包括：顺次连接的载波生成模块、电容检测模块及输出处理模块。本发明实施例提供的真空度检测电路，设置顺次连接的载波生成模块、电容检测模块及输出处理模块，在电容检测模块设置包括薄膜电容器的内环电容的电容桥，将载波作为电容桥的电压输入端，利用和载波同频的方波控制开关电路，并使得开关电路在方波变化方向时分别连通电容桥的两个中点电压信号，利用输出处理模块将开关电路输出的信号进行处理后可以得到反映真空度的直流电压信号，该电路全部采用模拟电路设计，大大地减小了系统噪声，降低了系统成本。
真空检测电路方法

[发明专利]一种电容薄膜压力传感器-CN202211321019.7在审
发明人：刘旭强;林立男;廖兴才;曹文静;陶硕;姜浩延;孙润吉;潘雨默 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明提供一种电容薄膜压力传感器，涉及压力传感器技术领域。本发明提供的电容薄膜压力传感器包括壳体、非金属固定电极、电极组件和非金属薄膜。非金属薄膜位于非金属固定电极朝向连接口的一侧。非金属固定电极朝向连接口的一侧设置有第一金属连接层。非金属薄膜通过第一金属连接层与非金属固定电极连接。本发明实施例提供的电容薄膜压力传感器，通过第一金属连接层将非金属薄膜与非金属固定电极连接。由于非金属固定电极与壳体绝缘，而非金属薄膜不与壳体连接，非金属固定电极与壳体之间的寄生电容减少，电容薄膜压力传感器测量精度受外界环境的影响减少。
一种电容薄膜压力传感器

[发明专利]基于双路温控的薄膜真空计以及双路温控方法-CN202211117537.7在审
发明人：王松杰;王杰;刘旭强;韩雪飞;闫冉;林立男;宋冬谊;唐嫒尧;廖兴才 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于双路温控的薄膜真空计以及双路温控方法，薄膜真空计包括：等温体温控电路、下规管温控电路、电容器以及下规管，等温体温控电路与电容器连接，下规管与下规管温控电路以及电容器连接，第一电压控制模块，用于接收第一测温元件的第一变化值，并基于第一变化值输出第一控制信号，控制第一加热元件的加热效率，以控制电容器在预设温度范围内工作，第二电压控制模块，用于接收第二测温元件的第二变化值，并基于第二变化值输出第二控制信号，控制第二加热元件的加热效率，以控制下规管在预设温度范围内工作。这样，可以极大地降低温度对薄膜真空计的影响，提高薄膜真空计的稳定性。
基于温控薄膜真空计以及方法

[发明专利]电容式真空规的膜片结构及电容式真空规-CN202210845215.8在审
发明人： 林立男;高乐;刘旭强;陶硕;张琳琳;曹文静;廖兴才 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电容式真空规的膜片结构及电容式真空规，包括相对设置的固定极板和可动极板，固定极板和可动极板之间设有极板间隙，极板间隙为d，可动极板的厚度为t，其中，0.1d≤t≤25d。如此设置，通过限制可动极板厚度t和极板间隙d之间的比例关系，使得可动极板厚度t和极板间隙d之间保持较好的平衡关系，以避免长时间使用后固定极板和可动极板之间出现相对位移偏差，从而在满足电路使用要求的前提下，提升了电容式真空规的线性度，最终提高了电容式真空规的整体性能与稳定性。
电容真空膜片结构

[发明专利]电容式薄膜真空计检测装置、真空计及检测方法-CN202210556319.7在审
发明人：王松杰;廖兴才;林立男;汤一;闫冉;王杰;宋冬谊;唐嫒尧;高乐 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电容式薄膜真空计检测装置、真空计及检测方法，该装置包括：载波生成单元、信号采集单元、第一定时器和处理单元；载波生成单元用于根据配置的数字信号生成载波信号，并将载波信号传输至真空计的电极；信号采集单元用于采集真空计的调制信号，并对调制信号进行模数转换后传输至处理单元；其中，调制信号是将真空计的电极的输出信号调制到载波信号得到的；第一定时器用于触发载波生成单元和信号采集单元同步进行信号的传输；处理单元用于对模数转换后的调制信号进行信号处理，得到真空计的气压检测结果。本发明采用数字驱动的方式获取真空计的气压检测结果，有效保证了检测装置的线性度，且信号处理过程更为简单，无需复杂的电路。
电容薄膜真空计检测装置方法

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