专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置-CN202222653728.7有效
  • 钟兴进;何淑英;何浩梁;林玉章 - 广州市鸿浩光电半导体有限公司
  • 2022-10-09 - 2023-01-31 - B08B9/027
  • 本实用新型涉及气相沉积设备技术领域,且公开了一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置,包括支撑升降机构和清洗机构,清洗机构活动安装于支撑升降机构表面中心位置,支撑升降机构设置于清洗机构外表面四周。本实用新型通过清扫刷外表面与卡接槽外表面位置相对应,启动驱动电机,转轴转动,带动传送带运行,传送带内壁与转动杆外表面接触,可有效带动转动杆同步转动,工作人员将导管卡接在卡接槽位置,并通过外界设备对支撑板的高度进行调整,让转动套杆下降至导管内部,开设的散水孔将水箱中的水引入到导管中,在转动套杆转动有效让清扫刷在导管内部转动清扫,可对导管内腔清洗干净,提高工作效率。
  • 一种用于化学沉积导管高效清洗装置
  • [实用新型]一种化学气相沉积室清洗装置-CN202221691491.5有效
  • 钟兴进;何淑英;何浩梁;林玉章 - 广州市鸿浩光电半导体有限公司
  • 2022-07-01 - 2023-01-10 - B08B9/087
  • 本实用新型提供一种化学气相沉积室清洗装置,涉及化学气相沉积室技术领域,包括外壳,所述外壳的顶部固定连通有加剂管,所述加剂管远离外壳的一侧固定连接有塞子。本实用新型,打开加剂管上的塞子,对加剂管中进行加装清洁剂,抓住握把并轻轻用力对压板向握把的方向进行挤压,清洗棉对清洁剂进行吸收,清洗剂从清洗棉中挤出与化学气相沉积室的内壁相接触,清洗棉与化学气相沉积室的内壁进行摩擦清洗,通过对外壳的内部进行加装清洗剂,利用清洗棉对化学气相沉积室的内壁进行清洗,避免工作人员直接徒手操作与清洁剂相接触,提高工作人员手部受到损坏的概率,提高对工作人员的生命安全保护措施。
  • 一种化学沉积清洗装置
  • [实用新型]一种化学气相沉积石墨化一体炉-CN202220952227.6有效
  • 钟兴进;何淑英;何浩梁;林玉章 - 广州市鸿浩光电半导体有限公司
  • 2022-04-24 - 2022-10-21 - C23C16/26
  • 本实用新型公布了一种化学气相沉积石墨化一体炉,包括底座,底座的顶部连接有炉体,炉体的内壁连接有保温层,保温层的内壁缠绕连接有加热丝,炉体的炉膛内设有沉积室,沉积室上端开口,沉积室的底部连通有导气管,导气管穿过炉体底部并伸出底座,炉体的外壁左右两侧连接有支撑座,支撑座的顶部连接有液压杆,液压杆的上端共同连接有炉盖;本实用新型结构设计合理,能够对物料进行石墨化处理,能够在物料表面发生化学反应并沉积形成覆盖层,能够达到净化效果,避免造成环境污染。
  • 一种化学沉积石墨一体
  • [实用新型]一种液体蒸发器自动供料装置-CN202122291342.1有效
  • 钟兴进;冯嘉荔;黄沛泉;林玉章 - 广州市鸿浩光电半导体有限公司
  • 2021-09-22 - 2022-07-26 - B01D1/00
  • 本实用新型提供一种液体蒸发器自动供料装置,涉及液体蒸发器技术领域,包括自动供料装置本体,所述自动供料装置本体的输出端连接管一侧设置有液体蒸发器本体。本实用新型通过在第一漏斗型块、L型块、第一凹槽、第二凹槽和第二漏斗型块的配合下,可以将自动供料装置本体的输出端连接管与液体蒸发器本体的输入端连接管进行快速连接,在第二圆环块、第一弹簧、第一圆环块和密封垫的配合下,可以防止自动供料装置本体的输出端连接管内部与液体蒸发器本体的输入端连接管内部的水溢出来,在固定环的作用下,可以将L型块与第二凹槽紧紧地固定在一起,结构简单,易于操作,便于快速进行拆装。
  • 一种液体蒸发器自动供料装置
  • [实用新型]一种化学气相法制备磁性材料的设备-CN202220471814.3有效
  • 钟兴进;何淑英;何浩梁;林玉章 - 广州市鸿浩光电半导体有限公司
  • 2022-03-04 - 2022-07-12 - C23C16/44
  • 本实用新型提供一种化学气相法制备磁性材料的设备,涉及磁性材料技术领域,包括:外壳,所述外壳的内部分别固定安装有混合加压机构和反应机构,将混合后的气体通过通气管的运输进入到运转筒的内部,在此过程中将栓塞插入氧气管和氮气管的内部,通过其上的密封皮圈的阻隔,防止混合气体发生倒流的现象,优化上类专利直接将气体放进容器中导致的混合不充分的现象,运用缓冲阻隔的作用,增加混合时间,并明确混合气体流动的条件,在此同时连接环上的橡胶密封圈增加反应时的密封性,加热环的传热面积大,则运转筒内的受热均匀,进而加快混合气体和铁氧体之间的反应速率,使整个反应的过程处于一个较为稳定的环境。
  • 一种化学法制磁性材料设备
  • [实用新型]一种化学气相沉积气体导流机构-CN202220461860.5有效
  • 钟兴进;何淑英;何浩梁;林玉章 - 广州市鸿浩光电半导体有限公司
  • 2022-03-04 - 2022-07-12 - C23C16/455
  • 本实用新型公布了一种化学气相沉积气体导流机构,包括外壳体、内壳体和盖体,内壳体上设有第二通孔,外壳上设有气腔和第一通孔,外壳体的底部固接有罩体,罩体通过连通管与气腔连接,罩体上固接有第一进气管,第一进气管内设有第一电磁阀,内壳体底部固接有第二进气管,第二进气管内设有第二电磁阀,本实用新型的有益效果是,本装置通过固定夹板和滑动夹板将晶体薄片固定在内壳体和外壳体之间,各晶体薄片相互独立,使得其表面充分暴露,在操作的过程中,两种反应气体交替通入,从而使得其中一种气体弥散开之后另一种气体再进行输送,而且两种气体的输入点分散,从而使得气体的分布更加均匀,提高沉积膜厚度的均匀性。
  • 一种化学沉积气体导流机构
  • [实用新型]一种控制半导体衬底上边缘沉积的处理装置-CN202220241835.6有效
  • 钟兴进;何淑英;黄沛泉;林玉章 - 广州市鸿浩光电半导体有限公司
  • 2022-01-29 - 2022-07-12 - B24B27/033
  • 本实用新型公布了种控制半导体衬底上边缘沉积的处理装置,包括衬底薄片、底箱、转座、调节丝杆、升降筒、扣筒、打磨辊、转轴和电机,转座的上表面圆周均匀设有安装腔,升降筒和扣筒相互扣合并设置在安装腔中,本实用新型的有益效果是,转座上设有安装腔,安装腔内设有相互扣合的升降筒和扣筒,还设有对升降筒和扣筒进行高度调节的调节丝杆,使用时,衬底薄片放置在扣筒上,通过电机工作带动转座和打磨辊转动,从而对衬底薄片上的沉积膜进行打磨,可以同时进行多个沉积膜的打磨加工,提高效率,同时,还可以通过调节丝杆进行打磨厚度的调节,使得打磨后的沉积膜具有较好的一致性。
  • 一种控制半导体衬底边缘沉积处理装置
  • [实用新型]一种新型液体蒸发器-CN202220241856.8有效
  • 钟兴进;何淑英;何浩梁;林玉章 - 广州市鸿浩光电半导体有限公司
  • 2022-01-29 - 2022-07-12 - B01D1/00
  • 本实用新型公布了一种新型液体蒸发器,包括箱体和搅拌装置,箱体的底板上固接有电阻加热板,搅拌装置包括搅拌轴和搅拌电机,搅拌轴上固接有螺旋搅拌叶片,还包括水泵、落水管、摊铺板和回流管,回流管的外部固接有加热罩,加热罩内固接有加热丝,本实用新型的有益效果是,使用时,通过电阻加热板对溶剂进行加热,通过搅拌装置对溶剂进行搅拌,使得溶剂搅拌均匀,通过水泵的设置可以将溶剂抽取从落水管排出,从而实现溶剂的不断流动,通过摊铺板的设置,使得落下的溶剂具有更大的挥发面积,进而使得溶剂中的水汽更快散发,通过加热丝的设置可以对溶剂进行二次加热,有效提高溶剂浓缩的速度。
  • 一种新型液体蒸发器
  • [实用新型]一种化学气相沉积反应器的气体入口结构-CN202220281893.1有效
  • 钟兴进;何淑英;何浩梁;林玉章 - 广州市鸿浩光电半导体有限公司
  • 2022-02-11 - 2022-07-12 - C23C16/455
  • 本实用新型公布了一种化学气相沉积反应器的气体入口结构,包括反应器壳体,反应器壳体上前后对称设有进气组件,进气组件下方的反应器壳体外壁固接有电机,进气组件包括阀筒、转轴和阀座,阀筒上固接有集气罩,集气罩位置的阀筒上开设有出气孔,集气罩上固接有出气管,出气管的头部固接有加热筒,本实用新型的有益效果是,通过进气组件的设置使得两种气态原材料输送到反应器壳体中的时间错开,从而使得一种气态原材料输送完成后,并在反应器壳体中大致分布均匀后,另一种气态原材料才会输送,可以有效提高反应的均匀程度,进而使得沉积膜的厚度均匀,通过加热筒可以对输送到反应器壳体中的气态原材料进行加热而提高其温度,提高反应的效果。
  • 一种化学沉积反应器气体入口结构
  • [实用新型]一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置-CN202220282265.5有效
  • 钟兴进;何淑英;何浩梁;林玉章 - 广州市鸿浩光电半导体有限公司
  • 2022-02-11 - 2022-07-12 - C23C16/44
  • 本实用新型公布了一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置,包括炉体和盖体,炉体的底板内设有加热腔,加热腔内固接有加热丝,炉体内部固接有罩体,盖体的下方连接座板,座板通过支杆连接放置圆盘,本实用新型的有益效果是,气态原材料在经过加热腔的位置时,通过加热丝对其进行加热,从而补充输送过程中散发的热量,使得反应的气态原材料具有较高的温度,提高反应效果,通过圆周均匀设置的加热腔,可以对气态原材料进行分散加热,提高加热的效果,通过放置圆盘进行晶体薄片的放置,加热后的气态原材料从上下两组通孔分别进入到罩体围成的空间内,从而使得晶体薄片的上下两侧承受气态原材料的反应,进而产生沉积膜。
  • 一种立式化学沉积炉炉底加热装置

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