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[发明专利]增加石英晶体表面与光刻胶附着力的方法-CN202211660302.2在审
发明人：兰则超;杨思川;黄小东 -专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种增加石英晶体表面与光刻胶附着力的方法，在石英晶体抛光面上镀一层3～8nm的铝膜，然后，将铝膜为石英晶体抛光面和光刻胶结合的中间层，提升光刻胶附着力。提高石英晶体与光刻胶的结合度，提升石英晶体显影后图形完整性。解决石英晶体“水膜”导致的光刻胶附着力差的工艺问题。
增加石英晶体表面光刻附着力方法

[发明专利]一种声表面波滤波器及其制备方法和应用-CN202310229711.5在审
发明人： 杨思川 -专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：本发明涉及半导体微电子生产领域，具体而言，涉及一种声表面波滤波器及其制备方法和应用。所述的声表面波滤波器的制备方法，包括以下步骤：(a)将图形转移至压电材料上；在所述图形上沉积形成金属膜；(b)将石墨烯水分散液涂覆在所述金属膜上后进行干燥，所述金属膜上形成石墨烯电极层；(c)去除光刻胶。所述的声表面波滤波器的制备方法，方法简单，容易操作，适用于大规模生产，制备得到的声表面波滤波器具有较高的功率耐受性和工作频率。
一种表面波滤波器及其制备方法应用

[发明专利]一种三维声子晶体反射栅声表面波滤波器及制备方法-CN202310061029.X在审
发明人： 杨思川;姜静雯;闫坤坤;黄歆;苗湘;刘璐;赵淄红 -专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本申请涉及一种三维声子晶体反射栅声表面波滤波器及制备方法，声表面波滤波器包括压电衬底、叉指换能器以及两个反射栅，所述叉指换能器设置于所述压电衬底的上表面，两个所述反射栅分别设置于所述叉指换能器的相对两侧，每个所述反射栅远离所述压电衬底的表面分别开设有多个微孔洞。本申请有助于滤除输入声表面波滤波器的杂波。
一种三维晶体反射表面波滤波器制备方法

[发明专利]一种声表面波滤波器芯片的调频方法-CN202211213898.1在审
发明人：兰则超;杨思川;魏勇平;黄小东 -专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： C23F1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波滤波器芯片的调频方法，包括：用于对声表面波滤波器芯片的金属铝膜减薄来进行的调频处理，包括：以恒定质量浓度的四甲基氢氧化铵水溶液作为腐蚀液，在恒定温度下向持续旋转的声表面波滤波器芯片上均匀喷洒腐蚀液，对该声表面波滤波器芯片表面的金属铝膜进行腐蚀减薄来对该声表面波滤波器芯片调频，通过控制所述腐蚀液的喷洒时间来控制对该声表面波滤波器芯片表面的金属铝膜的减薄厚度，使得到的金属铝膜的厚度与该声表面波滤波器芯片需要的调频频率相匹配，腐蚀完成后用纯水冲洗腐蚀液。该方法能保证金属铝膜减薄的一致性，又能精确控制金属铝膜减薄的厚度，得出与芯片需要的调频频率匹配的金属铝膜厚度。
一种表面波滤波器芯片调频方法

[发明专利]一种封装盒仿真电路仿真方法及封装芯片的测试方法-CN202210302146.6在审
发明人：黄小东;杨思川;罗为;李玉龙;胡志成;闫坤坤;黄歆 -专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G06F30/398 文献下载
摘要：本申请涉及一种封装盒仿真电路仿真方法及封装芯片的测试方法，应用于半导体微电子生产的技术领域，其方法包括：建立封装盒的仿真模型；对所述仿真模型进行端口激励，生成S参数；基于所述S参数获取所述仿真模型的仿真电路，其中，所述仿真电路包括多个电磁寄生元件。本申请具有在设计封装芯片时减小封装盒中电磁寄生参数对封装芯片的影响，的效果。
一种封装仿真电路方法芯片测试

[发明专利]一种半透明晶圆及其曝光过程加工方法-CN202210086229.6在审
发明人：兰则超;杨思川;苗湘;黄小东 -专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G03F7/09 文献下载
摘要：本申请涉及一种半透明晶圆及其曝光过程加工方法，其方法包括在所述晶圆底部镀一层防反射薄膜。本申请不仅能够有效减少光线在晶圆底部向上反射，以解决半透明晶圆在曝光过程中因晶圆底部反射带来的一致性较差的问题。同时，由于本申请是在晶圆底部进行镀膜，所以能够保证防反射薄膜较好的膜厚均匀性以及较好的平整度，对镀膜工艺的要求较低，工艺也较为简单。
一种半透明及其曝光过程加工方法

[发明专利]一种抑制声表面波滤波器杂波的加工方法-CN202011447740.1在审
发明人：魏勇平;杨思川;张雅;闫坤坤;黄歆 -专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种抑制声表面波滤波器杂波的加工方法，在压电基片上制作插指换能器，通过V型划片刀进行划片切割，使声表滤波器芯片端面呈斜面。V型划片刀的刀刃呈V型，V型刀刃角度为5°～70°。V型划片刀采用金属或树脂材料。插指换能器激发表面波时产生的杂波通过两端斜面反射，减少了声表面波滤波器通带内寄生响应，保障声表滤波器通带频响正常运行。可以简化生产工艺流程，减少声表芯片面积，可实现更高电性能的声表面波滤波器芯片。
一种抑制表面波滤波器加工方法

[发明专利]一种微型超宽频带带通LC滤波器-CN201510255897.7有效
发明人：李洪;万飞;杨思川;陈明和;黄歆;李凯 -专利权人：北京中科飞鸿科技有限公司
申请日： 2015-05-19 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： H03H7/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种微型超宽频带带通LC滤波器。本发明通过采用温漂小、稳定性好、高Q值的绕线磁环，并采用了0603封装的电容，从而大大提升了该滤波器的电性能指标；专门的壳体包装，使得本发明的机械性能有所提升，能够应用于比较恶劣的环境；在PCB板处的三层结构设计，可以有效屏蔽信号干扰，使输入输出以及接地信号都能完美地传入PCB和元器件中。本发明以微小体积、超大带宽和高矩形度为设计原则，设计了滤波器的传递函数展开方程，并严格按照方程参数进行电容和电感的匹配，因此，本发明具有微小封装、超大带宽、低插损、高矩形度和高阻带抑制等诸多机械和电学性能的优点。
一种微型宽频带带通 lc 滤波器

[发明专利]一种多尺寸晶圆兼容型工装盒-CN201810045605.0在审
发明人：魏勇平;张雅;闫坤坤;杨思川;黄歆 -专利权人：北京中科飞鸿科技有限公司
申请日： 2018-01-17 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种多尺寸晶圆兼容型工装盒，用于存放两种以上尺寸的晶圆；包括壳体(3)与盒盖(6)；所述的壳体(3)与盒盖(6)采用铝合金材料，所述的壳体(3)分上下两层，下层包括多个小尺寸晶圆存放位(31)，小尺寸晶圆存放位(31)底部设有环形凸起(311)；上层包括多个大尺寸晶圆存放位(32)；工装盒层叠时，上层的壳体环状凸隼(34)扣于下层的盒盖环状卡口(61)上。多尺寸晶圆同盒共用，有利于晶圆的整齐存放、批次处理与记录标识，解决多尺寸小批量晶圆移动和存放的问题，节约工装空间，方便整批晶圆加热烘烤和静电释放。显著提高晶圆转运和批处理的效率。
晶圆工装壳体存放位盒盖兼容型下层批处理上层铝合金材料环形凸起环状卡口记录标识加热烘烤静电释放批次处理上下两层小批量凸隼转运整齐节约移动

[发明专利]减小大宽带低损耗梯形声表滤波器带内波动的方法-CN201510937771.8有效
发明人：闫坤坤;黄歆;杨丽萍;刘璐;杨思川 -专利权人：北京中科飞鸿科技有限公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种减小大宽带低损耗梯形声表滤波器带内波动的方法，包括：在15°YX‑LiNbO3基片上沉积铜膜制备梯形声表滤波器；选取光刻型聚酰亚胺树脂，并利用套刻工艺，在梯形声表滤波器并联谐振器表面涂覆所述光刻型聚酰亚胺树脂，并进行高温亚胺化处理；从而在梯形声表滤波器并联谐振器表面形成一层聚酰亚胺薄膜。本发明公开的方法可有效抑制带内寄生效应，减小带内波动。
声表滤波器带内波动减小聚酰亚胺树脂并联谐振器大宽带低损耗光刻聚酰亚胺薄膜表面涂覆表面形成沉积铜膜有效抑制亚胺化套刻制备

[发明专利]一种宽频带、低波动带通LC滤波器-CN201510255907.7有效
发明人：李洪;万飞;杨思川;陈明和;黄歆;李凯 -专利权人：北京中科飞鸿科技有限公司
申请日： 2015-05-19 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： H03H7/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种宽频带、低波动带通LC滤波器。本发明通过采用温漂小、稳定性好、高Q值的绕线磁环取代了普通电感，并采用了0805封装的电容，从而保证了电学参数的稳定，也大大提升了该滤波器的电性能指标。在PCB板周围的四个角留下的穿孔，使输入输出以及接地信号都能完美的传入PCB和元器件中，此外，本发明以带内波动、驻波、尺寸最优为设计原则设计了滤波器的传递函数展开方程，并严格根据方程设置电容和绕线磁环，从而使得本发明还具有小封装、大带宽、低插损、高矩形度、高阻带抑制、低驻波和低带内波动的优点。
一种宽频波动 lc 滤波器

[发明专利]一种声表面波滤波器组件中空测试夹具-CN201510254970.9有效
发明人：李洪;万飞;杨思川;陈明和;黄歆;李凯 -专利权人：北京中科飞鸿科技有限公司
申请日： 2015-05-19 - 公布日： 2018-02-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种声表面波滤波器组件中空测试夹具，所述中空测试夹具可以实现对封装好的芯片的测试和PCB板的在线调试，通过插孔和接地空实现夹具与组件的连通并确保组件接地；本发明能够确保组件内部的基片得到很好的保障而且测试的结果更加的准确，大大提高测试的精度，本发明真正做到了即插即测，测毕即拔；插孔的作用在于方便反复的测试，摒弃了旧式的拆装反复焊接、拆卸的繁琐步骤，能有效的提高测试的效率，而且能够避免旧式反复拆装焊接带来的测量误差，能够有效的提高产品的测试精度；接地孔能够实现组件的实时接地。
一种表面波滤波器组件中空测试夹具

[发明专利]一种17%相对带宽低损耗声表滤波器及其制备方法-CN201611148487.3在审
发明人：闫坤坤;魏勇平;杨思川;黄歆;张恩宇 -专利权人：北京中科飞鸿科技有限公司
申请日： 2016-12-13 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种17％相对带宽低损耗声表滤波器，包括晶片材料，晶片材料上设有梯形声表换能器和表面涂覆吸声层，梯形声表换能器包括串联谐振臂和并联谐振臂。采用的晶片材料为15°YX‑LiNbO3，其机电耦合系数(k2)大于20％，适用于制备宽带低损耗器件；设计结构采用梯形设计结构，其利用声波面波谐振器作为梯形拓扑结构的基本阻抗元件来获得滤波器的响应。串联臂谐振器的谐振频率和并联臂的反谐振频率形成滤波器的通带，串联臂谐振器的反谐振频率和并联臂的谐振频率形成滤波器的带外。实现了3dB相对带宽17％的低损耗声表滤波器，其中仿真频响图如图3所示，3dB相对带宽为19％；实测器件中心频率为415M，3dB带宽为70.6M，相对带宽为17％，损耗3.6dB，带内波动0.8dB。
一种 17 相对带宽损耗滤波器及其制备方法

[发明专利]一种提高声表面波滤波器耐受功率的方法-CN201611207269.2在审
发明人：刘利鹏;张雅;杨思川;黄歆 -专利权人：北京中科飞鸿科技有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高声表面波滤波器耐受功率的方法，采用42°钽酸锂压电基片，电信号激励的声表面波在此基片表面传播；在压电基片上蒸镀过渡层；在过渡层上蒸镀组合合金膜的电极层。过渡层的形貌与所述电极层的形貌一致，用以提高金属电极的附着力。电极层设计叉指换能器的电极形貌，激励和接收声表面波信号，用以实现滤波功能。解决了在大功率信号长时间通过声表面波滤波器时，因高温或金属迁移而引起的器件失效的问题，该方法制备的声表面波带通滤波器的功率耐受性得到显著提高。
一种提高表面波滤波器耐受功率方法

[发明专利]高性能高集成度小型化宽带混频滤波放大模块-CN201510937606.2在审
发明人：马宇东;万飞;杨思川;孙南 -专利权人：北京中科飞鸿科技有限公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： H04B1/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种高性能高集成度小型化宽带混频滤波放大模块，包括：第一混频器、第一声表面波滤波器、增益放大器、第二声表面波滤波器及第二混频器；其中：输入信号通过第一混频器将信号频率搬移到一个特定的频率，再依次经由第一声表面波滤波器、增益放大器及第二声表面波滤波器进行处理后，经过第二混频器将信号频率搬移到目标中频频率后输出。本发明公开的方案可以实现混频滤波放大电路的小型化，集成化；降低超外差收发通道设计复杂程度、调试难度和产品批产工作量；提高超外差收发通道的可靠性和可维修性。
性能集成度小型化宽带混频滤波放大模块

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