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[发明专利]一种压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法-CN202010809712.3有效
发明人：刘利芳;杜亦佳;计炜梁;孙翔宇;邢占强 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H03K19/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法。所述压电微机械声波换能器阵列耦合隔离方法包括：在加工压电微机械声波换能器阵列时，在底硅上刻蚀多个隔离槽，从而将底硅划分为多个换能区域；在各换能区域内刻蚀至少一个空腔。本发明采用在底硅上刻蚀出隔离槽的方法来阻断声波的传播，从而达到隔离换能器间耦合的目的，能够提高换能器阵列的性能。
一种压电微机声波换能器阵列耦合隔离方法

[发明专利]一种行波微马达的驱动结构-CN201810320767.0有效
发明人：孙翔宇;杜亦佳;代刚;陈余;弓冬冬 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2018-04-11 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H02N2/16 文献下载
摘要：本发明公开一种行波微马达的驱动结构，包括环形支撑框和放置于环形支撑框内的圆环体，环形支撑框与圆环体通过若干个支撑梁连接；圆环体由上到下分别为第一电极层和基体，第一电极层包括若干个呈环形排列的扇环形电极，相邻两个扇环形电极间具有间隔，扇环形电极的外径小于基体的外径；基体的侧壁设置有若干个凹槽，凹槽的开口处位于扇环形电极的中线以及相邻两个扇环形电极的交界线上，支撑梁均匀分布于凹槽中。本发明行波微马达的驱动结构通过支撑梁和环形支撑框将驱动结构振动的能量限制在框能，支撑梁固定于行波微马达的节圆处，进一步避免了振动能量向外扩散，大幅度降低了能量的损耗，提高了驱动结构的Q值。
一种行波马达驱动结构

[发明专利]一种MEMS加速度计健康状态监测装置及监测方法-CN201611243796.9有效
发明人： 杜亦佳;代刚;张健;刘利芳;李顺;方雯;任尚清 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2016-12-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明公开一种MEMS加速度计健康状态监测装置及监测方法。装置包括：微振动平台、外围平台、四个水平支撑梁、四个垂直支撑梁；微振动平台为方形，外围平台位于微振动平台的外围；四个水平支撑梁和四个垂直支撑梁位于微振动平台和外围平台之间；每个水平支撑梁的一端连接到对应的垂直支撑梁的一端，并与垂直支撑梁形成直角结构；四个直角结构沿顺时针方向依次均匀分布在微振动平台的四周；每个直角结构的水平支撑梁和垂直支撑梁分别与微振动平台的两个边缘平行；每个直角结构的水平支撑梁一端与外围平台连接，垂直支撑梁一端连接到对应的微振动平台边缘的中部。本发明的装置及方法可以实现MEMS加速度计在测量较高加速度时的健康状态监测。
一种 mems 加速度计健康状态监测装置方法

[发明专利]应用于MEMS微纳加工的一体化无装配多层微齿轮结构-CN201810312357.1有效
发明人： 杜亦佳;陈余;周泉丰;代刚;张健;刘利芳;李顺;方雯;任尚清 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2018-04-09 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： F16H55/17 文献下载
摘要：本发明公开一种应用于MEMS微纳加工的一体化无装配多层微齿轮结构，包括生根轴承、第一阶梯型齿轮定位结构、第二阶梯型齿轮定位结构和多层齿轮层，所述生根轴承下端面固定连接在一齿轮基底上，所述第二阶梯型齿轮定位结构设置于所述生根轴承的下端，所述第二阶梯型齿轮定位结构固定连接在所述齿轮基底上，所述第一阶梯型齿轮定位结构设置于所述生根轴承的上端，所述多层齿轮层套设在所述生根轴承的中部。本发明的多层微齿轮结构为一体化结构，多层微齿轮结构的装配精度一致性更好，更适于批量化生产，齿轮结构连接强度更高。
应用于 mems 加工一体化装配多层齿轮结构

[发明专利]一种压电行波微执行器的孤极结构-CN202010810784.X有效
发明人：孙翔宇;杜亦佳;王艺程;陈余;李小石;弓冬冬;杨天宇 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H10N30/87 文献下载
摘要：本发明公开一种压电行波微执行器的孤极结构，包括定子和固定支撑，定子与固定支撑相连；定子包括依次叠加设置的驱动电极、压电材料层、下电极和振膜支撑层，驱动电极位于压电材料层的顶部，驱动电极的外边沿与固定支撑之间具有间隙，驱动电极的外边沿与固定支撑之间设置孤极，孤极设置于压电材料层的顶部，孤极能够对压电信号进行检测和分析。本发明的压电行波微执行器的孤极结构，在驱动电极与固定支撑之间设置孤极，孤极可用于行波状态的原位在线检测，检测信号能准确反应定子表面行波状态，孤极设置于驱动电极与固定支撑之间，对驱动信号不会造成影响，因而不会带来执行器驱动力能力损失。
一种压电行波执行结构

[发明专利]一种基于光学检测的微机电系统平台-CN201710253867.1有效
发明人： 杜亦佳;周泉丰;代刚;张健;李顺;刘利芳;方雯;任尚清 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2017-04-18 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开一种基于光学检测的微机电系统平台，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；平台主体包括振动平台；外部封装板形成密闭空间，将平台主体和光学检测机构封装在密闭空间内部；光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；反射镜水平固定在振动平台顶部，镜面朝向外部封装板的顶部；激光器和二极管阵列位于外部封装板顶部内侧，二极管阵列包括多个光电二极管；二极管阵列围绕在激光器周围；激光器发出的光照射到反射镜上，经反射镜的反射后形成的反射光照射到二极管阵列上；二极管阵列检测反射光的光强。本发明公开的微机电系统平台，提高了测量结果的线性度，提高了检测精度。
一种基于光学检测微机系统平台

[发明专利]压电微机械超声换能器背衬结构-CN202010810942.1有效
发明人：陈余;刘利芳;邢占强;计炜梁;杜亦佳 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明公开一种压电微机械超声换能器背衬结构，包括相连的填充部和倾斜部，填充部设置于压电微机械超声换能器的背腔中，倾斜部远离填充部的一侧具有倾斜面，倾斜面与压电微机械超声换能器的压电薄膜所在平面之间具有夹角。本发明的压电微机械超声换能器背衬结构，倾斜部设置倾斜面，传播的声波经过填充部和倾斜部吸收的同时，在倾斜面被反射，减少反射回压电薄膜的声波，提升压电微机械超声换能器的分辨率。压电微机械超声换能器阵列中，多个倾斜面与其相对应的压电微机械超声换能器的压电薄膜所在平面之间的夹角相一致，使压电微机械超声换能器阵列各个单元间具有相同的背衬衰减特性，提升压电微机械超声换能器阵列各单元的一致性。
压电微机超声换能器背衬结构

[发明专利]一种无梁型行波马达微驱动器-CN202010810780.1在审
发明人：孙翔宇;杜亦佳;王艺程;陈余;李小石;弓冬冬;杨天宇 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H02N2/08 文献下载
摘要：本发明公开一种无梁型行波马达微驱动器，包括定子和固定支撑，定子与固定支撑相连。本发明的无梁型行波马达微驱动器，定子直接与固定支撑相连，省去了梁结构，消除了梁结构带来的影响，且定子直接与固定支撑相连，使定子振膜上下表面无其他约束，直接与空气接触，有利于实现微驱动器振动位移提升，从而提高驱动能力。
一种无梁型行波马达驱动器

[发明专利]一种行波微执行器位移放大结构-CN202010810914.X在审
发明人：孙翔宇;杜亦佳;王艺程;陈余;李小石;弓冬冬;杨天宇 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H02N2/16 文献下载
摘要：本发明公开一种行波微执行器位移放大结构，包括齿条，齿条设置于行波微执行器的定子上，沿行波微执行器的定子的轴线方向，齿条凸出于行波微执行器的定子且朝向转子方向设置，齿条的顶面面积较行波微执行器的定子面积小。本发明的行波微执行器位移放大结构，在定子表面设置齿条，齿条凸出于定子表面设置且几乎不改变中性面，提高了定子表面质点到中性面的距离，从而实现行波传递过程中定子表面质点椭圆运动的位移提升，提高椭圆运动切向速度，进而为转子转动提供更多的能量，获得更高的转速，实现输出效率提升。
一种行波执行位移放大结构

[发明专利]一种超快响应的柔性应变传感器及其制备方法-CN201811050618.3有效
发明人：杨婷婷;徐炜;代刚;李小石;杜亦佳 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种超快响应的柔性应变传感器及其制备方法。本发明首先对柔性基底表面进行改性处理和拉伸处理，然后将功能化石墨烯分散液涂覆在经拉伸处理的柔性基底表面，形成功能化石墨烯薄膜；再通过还原处理，形成石墨烯敏感层；然后涂刷导电银胶并粘结导线，得到超快响应的柔性应变传感器。本发明通过柔性基底进行改性和拉伸处理，使得基底对应力/应变波的传递都更加敏感；本发明所述功能化石墨烯分散液的分散溶剂为NMP，NMP溶剂沸点较高，蒸发缓慢，因此咖啡环效应明显，石墨烯晶片形成渐变的堆叠结构，进一步优化了石墨烯敏感层的传感性能。
一种响应柔性应变传感器及其制备方法

[发明专利]一种图案化石墨烯柔性应变传感器的制备方法-CN201811050042.0有效
发明人：杨婷婷;徐炜;代刚;李小石;杜亦佳 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种图案化石墨烯柔性应变传感器的制备方法，首先使用光刻法在硬性基底材料表面制备预定图形，得到图案化模具，然后将高分子材料弹性体和固化剂的混合浆料倾倒在图案化模具表面进行固化，得到微流道模具；然后使用微流道模具覆盖在柔性基底表面，使用多巴胺对柔性基底进行图案化改性，再在改性后的基底表面制备石墨烯敏感层，最后涂刷导电银胶、粘结导线，得到图案化石墨烯柔性应变传感器。本发明提供的制备方法无需对柔性基底进行光刻、不破坏柔性基底本体结构、适应复杂曲面、适用于大面积制造、适合于精细化图案加工，降低了对柔性基底自身材质、形状、表面结构的要求。
一种图案化石柔性应变传感器制备方法

[发明专利]基于DTW和SVM的SiC-GTO器件状态监测方法-CN201810266737.6有效
发明人：邢占强;刘利芳;代刚;刘寅宇;杜亦佳;李顺 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于DTW和SVM的SiC‑GTO器件状态监测方法，其步为：在SiC‑GTO器件测试结构中，将第3个P区作为功能管脚引出，定义为Base极，并采用嵌入式电路设计的方法在低压情况下测量器件任意两端的伏安特性曲线，将其在不同环境下得到的器件伏安特性曲线作为监测对象。并提出新的动态时间规整改进方法，对其搜索路径进行优化，可有效的避免算法中路径规整不准确和搜索宽度需人为设置的问题，同时降低计算复杂度减少计算量。最后基于SVM将最小失真度总和作为样本特征进行分类，实现高压SiC‑GTO器件健康状态监测。
基于 dtw svm sic gto 器件状态监测方法

[发明专利]一种光学位移阈值传感器、光学位移阈值检测方法及系统-CN201810217398.2有效
发明人：周泉丰;杜亦佳;代刚;李小石;王艺程;陈余 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2018-03-16 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学位移阈值传感器、光学位移阈值检测方法及系统。光学位移阈值检测方法包括：获取外置反射镜与激光器之间的当前距离、所述激光器发射的总功率以及光电二极管的半径；按照移动距离阈值移动所述外置反射镜，获取所述外置反射镜与所述激光器之间的第一变换距离；根据所述半径确定所述光电二极管接收到的激光面积；根据所述总功率确定所述光电二极管接收到的一束激光的光强；根据所述激光面积以及所述一束激光的光强确定激光总光强；根据所述激光总光强确定光学位移阈值；所述光学位移阈值为光学位移极大值。采用本发明所提供的光学位移阈值传感器、光学位移阈值检测方法及系统能够提高光学位移阈值的检测精度。
一种光学位移阈值传感器检测方法系统

[发明专利]一种用于超声微马达的预紧力加载结构-CN201810283770.X有效
发明人：陈余;杜亦佳;王艺程;代刚;孙翔宇;弓冬冬;杨婷婷 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2018-04-02 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： H02N2/12 文献下载
摘要：本发明公开一种用于超声微马达的预紧力加载结构，包括定子、转子和底座，所述底座的底端中央固设有永磁体，所述底座顶部中央的圆环柱支撑所述定子的振动平面，且所述圆环柱的顶端设置有环形凹陷部，所述转子设置于所述定子上方，且所述转子的材料为软铁、镍或铁镍合金。本发明用于超声微马达的预紧力加载结构采用磁力吸附的方式实现超声微马达中定子和转子间预紧力的精确加载，能够满足超声微马达中定子和转子间微小预紧力的需要。
转子预紧力超声马达加载圆环柱底座环形凹陷部磁力吸附底座顶部顶端设置铁镍合金振动平面永磁体底端软铁支撑

[发明专利]一种基于三段式双稳态梁结构的MEMS惯性开关-CN201811066882.6在审
发明人：陈余;杨婷婷;李小石;杜亦佳 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2018-09-13 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： H01H35/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于三段式双稳态梁结构的MEMS惯性开关。包括：开关外壳、双稳态机构和开关辅助机构，开关辅助机构和双稳态机构在加速度方向上依次设置在开关外壳内部，开关辅助机构包括弹簧体和第一质量块，双稳态机构包括三段式梁结构和第二质量块，开关外壳在与第二质量块相对位置处设置有开关触点，第一质量块与第二质量块相对设置，第一质量块的质量大于第二质量块的质量，MEMS惯性开关在受到设定加速度时，第一质量块在惯性的作用下，碰撞第二质量块，使第二质量块沿加速度方向运动，双稳态机构由一种稳态到另一种稳态，按压所述开关触点，导通电路。本发明提供的MEMS惯性开关具有灵敏度高、抗电磁干扰能力强和抗机械振动能力强的优势。
质量块双稳态机构惯性开关开关辅助机构开关外壳开关触点双稳态梁三段式稳态抗电磁干扰能力按压导通电路机械振动三段式梁相对设置依次设置弹簧体灵敏度能力强位置处

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