专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]利用激光的干式净化系统-CN200610083672.9无效
  • 李锺明 - 株式会社IMT
  • 2006-06-02 - 2007-04-04 - B23K26/36
  • 本发明是关于利用激光清除洗净对象的污染物的干式净化系统,目的是提供一种利用光能-激光有效地清除洗净对象的污染物,尤其是清除半导体测试座接触部表面的污染物的干式净化系统。根据本发明,利用激光的干式净化系统由以下几个部分组成:激光发生装置:产生激光束;激光束传输装置:传送从上述激光发生装置产生的激光束;激光束照射装置:调整通过上述激光束传输装置传送的激光束的形态,并对洗净对象照射已经过调整的激光束;扫描装置:调整上述激光束照射装置的激光束的照射位置。
  • 利用激光净化系统

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