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- [发明专利]表面处理系统及其方法-CN02816130.0无效
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曹川寿;尹东植;李铉旭;河三喆;田贤佑
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LG电子株式会社
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2002-12-28
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2004-11-03
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C23C16/00
- 一种表面处理系统,包括:用于在表面处理物体(900)的表面上形成沉积层的沉积室(100);用于通过将一表面处理物体(900)安装于其上而携带该表面处理物体的载体(910),用于通过将电能施加到沉积室(100)中的物体上形成沉积层的供电单元,在其中,供电单元包括被安装在沉积室(100)内并且与一个外部电源(210)相连接的固定供电单元(220);以及被安装在载体(910)上的可移动的供电单元(230),可移动的供电单元(230)用于当其上安装有表面处理物体的载体进入沉积室时与固定供电单元可移动地电连接并且借此通过与其接触将电能施加到被安装在载体上的表面处理物体上。
- 表面处理系统及其方法
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