本发明提出一种双扩散金属氧化物半导体(double diffused metal oxide semiconductor,DMOS)元件及其制造方法。该双扩散金属氧化物半导体包含绝缘结构以定义元件区,并包含环状栅极,其外部为漏极,内部由外而内为轻掺杂漏极区、源极、与本体极。为增加环状栅极角落的次临界电压,环状结构的角落完全设置于绝缘结构上,或在轻掺杂漏极区与环状结构的角落间,分开一段预设距离。
本发明提出一种双扩散金属氧化物半导体(double diffused metal oxide semiconductor,DMOS)元件及其制造方法。该双扩散金属氧化物半导体包含绝缘结构以定义元件区,并包含环状栅极,其外部为漏极,内部由外而内为轻掺杂漏极区、源极、与本体极。为增加环状栅极角落的次临界电压,环状结构的角落完全设置于绝缘结构上,或在轻掺杂漏极区与环状结构的角落间,分开一段预设距离。