专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]蚀刻组合物-CN201711049601.1有效
  • 朴相承;金益儁;金世训 - 易案爱富科技有限公司
  • 2017-10-31 - 2021-05-14 - C23F1/18
  • 本发明提供蚀刻组合物以及利用其的蚀刻方法,本发明的蚀刻组合物包含过氧化氢、助氧化剂、防腐蚀剂和双氧水稳定剂,上述助氧化剂为选自银、铁、铜、镍、锰和铈中的一种以上的离子或者包含这些离子的有机或无机化合物,上述双氧水稳定剂为脂肪族环酮化合物、内酯化合物或它们的混合物。
  • 蚀刻组合
  • [发明专利]蚀刻液组合物-CN201780002827.8有效
  • 李明翰;安镐源;金世训 - 易案爱富科技有限公司
  • 2017-10-13 - 2021-03-30 - C23F1/44
  • 本发明涉及一种蚀刻液组合物,包含:过氧化氢;分子内包含选自氧、硫和氮中的任意一种或两种以上的环状或芳香族化合物;氨基羧酸系或氨基磷酸系化合物;选自有机酸、无机酸或它们的盐中的任意一种或两种以上的化合物;底切抑制剂;以及包含C4以上的烷基胺。本发明的蚀刻液组合物在蚀刻工序中控制铜和钼膜的界面的过蚀刻,从而蚀刻工序稳定且能够改善蚀刻特性。
  • 蚀刻组合
  • [发明专利]金属膜蚀刻组合物-CN201910212532.4在审
  • 朴相承;金益儁;金希泰;李宝研;金世训 - 易案爱富科技有限公司
  • 2019-03-20 - 2020-09-04 - C23F1/18
  • 本发明涉及金属膜蚀刻组合物。根据本发明的金属膜蚀刻组合物包含过氧化氢、有机酸、二元醇系高分子和水,pH范围为3.0至4.4,相对于硅膜、透明导电膜等下部膜,具有对铜、钼等金属膜的高选择比或无限选择比,在相对高的pH范围内双氧水稳定性也优异,即使蚀刻重复进行而再使用多次,也能够持续维持初期优异的特性。此外,不仅在蚀刻时能够实现线性优异的带状轮廓,而且具有CD损失(CD loss)减少和抑制残渣产生的特性优异的效果。此外,由于组合物具有高稳定性,从而具有在使用前或使用后也能够持续地维持初期优异的特性的得到提高的保存稳定性,具有蚀刻时不产生析出物且能够抑制发热的效果。
  • 金属膜蚀刻组合
  • [发明专利]金属膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法-CN201910212233.0在审
  • 朴相承;金益儁;金希泰;李宝研;金世训 - 易案爱富科技有限公司
  • 2019-03-20 - 2020-09-04 - C23F1/16
  • 本发明涉及金属膜蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法。根据本发明的金属膜蚀刻组合物包含过氧化氢、有机酸、二元醇系高分子和水,pH范围为3.0至4.4,相对于硅膜、透明导电膜等下部膜,具有对铜、钼等金属膜的高选择比或无限选择比,在相对高的pH范围内双氧水稳定性也优异,即使蚀刻重复进行而再使用多次,也能够持续维持初期优异的特性。此外,不仅在蚀刻时能够实现线性优异的带状轮廓,而且具有CD损失(CD loss)减少和抑制残渣产生的特性优异的效果。此外,由于组合物具有高稳定性,从而具有在使用前或使用后也能够持续地维持初期优异的特性的得到提高的保存稳定性,具有蚀刻时不产生析出物且能够抑制发热的效果。
  • 金属膜蚀刻组合利用方法

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