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[发明专利]一种面向阵列化数字光刻机的光机电控制系统-CN202310929492.1在审
发明人：章军辉;王静贤;郭晓满;陈明亮;彭良强;陈大鹏 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种面向阵列化数字光刻机的光机电控制系统，涉及光刻机技术领域，包括：主控FPGA与多个从控FPGA；所述主控FPGA，用于与工作站以及各所述从控FPGA通讯，将所述工作站发送的曝光指令数据报文转发给所述从控FPGA，以及控制所述从控FPGA执行并行曝光任务；所述从控FPGA，用于根据曝光指令数据执行并行曝光任务；其中，每个所述从控FPGA独立控制c×c×m路激光，且c×c×m×p≥N×N；c×c表示一个逻辑阵列，m为层数，p为所述从控FPGA的个数，N×N表示光纤面阵的大小。应用该光机电控制系统能够有效提升无掩膜光刻机的光刻效率。本申请还公开了一种阵列化数字光刻机，同样具有上述技术效果。
一种面向阵列数字光刻机电控制系统

[发明专利]一种数据闭环的自动驾驶障碍物检测方法-CN202310328483.7有效
发明人：潘焱;梁艳菊;鲁斌 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G06V20/58 文献下载
摘要：本发明涉及自动驾驶技术领域，具体公开了一种数据闭环的自动驾驶障碍物检测方法，应用于车端，包括：对获取到的车辆周围环境的图像数据、激光雷达数据和超声波雷达数据进行前融合，以得到前融合采集数据；将图像数据、激光雷达数据、超声波雷达数据以及前融合采集数据分别输入到对应的检测模型中进行障碍物检测，以对应得到第一障碍物检测结果、第二障碍物检测结果、第三障碍物检测结果以及第四障碍物检测结果，然后对该四种障碍物检测结果进行后融合，以得到车辆周围环境的后融合障碍物检测结果并输出，本发明采用两种融合策略，充分利用多传感器的优势，提高检测精度，同时这种多传感器融合的方式还可以再次将数据集的标注难度降低。
一种数据闭环自动驾驶障碍物检测方法

[发明专利]一种光刻机工件台的自抗扰运动控制方法及相关装置-CN202310782567.8在审
发明人：章军辉;郭晓满;王静贤;陈明亮;彭良强;陈大鹏 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种光刻机工件台的自抗扰运动控制方法，涉及光刻机技术领域，包括：通过前馈环节迭代处理光刻机工件台位移的实际误差，得到前馈输出；通过反馈环节处理所述光刻机工件台的实际位移与期望位移，得到反馈输出；所述反馈环节采用自抗扰控制策略；根据所述前馈输出与所述反馈输出，确定所述光刻机工件台的期望加速度；根据所述光刻机工件台的所述期望加速度与实际加速度控制所述光刻机工件台运动。该方法能够实现对光刻机工件台的高精密控制。本申请还公开了一种光刻机工件台的自抗扰运动控制装置、设备以及计算机可读存储介质，均具有上述技术效果。
一种光刻机工运动控制方法相关装置

[发明专利]一种肖特基结源漏CMOS finFET及其制作方法-CN202111671684.4有效
发明人：刘战峰 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/8238 文献下载
摘要：本发明涉及集成电路制作技术领域，具体公开了一种肖特基结源漏CMOS finFET，其中，包括：底层电路和设置在底层电路上的至少一层顶层电路，底层电路与顶层电路之间、以及每相邻两层顶层电路之间均设置第一介质层，每层顶层电路均包括源极金属、漏极金属和栅极金属，源极金属和漏极金属分别位于栅极金属的两侧，源极金属和漏极金属形成肖特基结，栅极金属的表面设置第二介质层，第二介质层、源极金属和漏极金属的表面均设置第一绝缘层，第一绝缘层的表面设置金属屏蔽层，金属屏蔽层的表面形成第二绝缘层。本发明还公开了一种肖特基结源漏CMOS finFET的制作方法。本发明提供的肖特基结源漏CMOS finFET能够优化CMOS电路的性能。
一种肖特基结源漏 cmos finfet 及其制作方法

[发明专利]一种智能光伏控制系统-CN202210859658.2有效
发明人：汪正;朱鸣岳;王笃越;梁艳菊 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H02J13/00 文献下载
摘要：本发明属于光伏发电技术领域，具体公开了一种智能光伏控制系统，包括包括计算终端、数传终端以及执行终端，每一计算终端和每一数传终端通信连接，每一数传终端还分别与多个执行终端通信连接，每一执行终端连接每一光伏发电板；其中，计算终端包括SoC系统级芯片、北斗定位单元、环境监测单元、光照监测单元和第一4G网传单元，数传终端包括第一ZigBee通信单元和第二4G网传单元，执行终端包括第二ZigBee通信单元、电机控制单元和姿态检测单元。本发明提供的智能光伏控制系统，能够使光伏发电板随着太阳位置变化时刻处于最佳位置，实现了光伏发电板对太阳精确跟踪，有利于提高发电效率。
一种智能控制系统

[发明专利]一种工业设备异常检测方法及相关装置-CN202310698676.1在审
发明人：章军辉;闫飞;王静贤;董接莲;陈明亮;陈大鹏 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G06Q10/0639 文献下载
摘要：本申请公开了一种工业设备异常检测方法及相关装置，涉及工业设备监测技术领域，包括提取存疑数据，并根据存疑数据构建输入矩阵；通过双阶段的Transformer模型对输入矩阵进行预处理；其中，对输入矩阵进行预处理包括合并输入矩阵与关注矩阵；第一阶段的关注矩阵与第二阶段的关注矩阵不同；通过Transformer模型的编码器与解码器处理经预处理得到的矩阵，得到第一阶段与第二阶段的重构输出；根据第一阶段与第二阶段的重构输出计算得到重构误差，并根据重构误差确定异常分数；确定异常阈值，根据异常分数与异常阈值，得到检测结果。该方法能够准确检测工业设备是否异常，并且对对抗样本有较强的鲁棒表达能力。
一种工业设备异常检测方法相关装置

[发明专利]栅极引线结构以及栅极引线的制备方法-CN202310824274.1在审
发明人：刘战峰;顾毛毛 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L23/48 文献下载
摘要：本发明关于栅极引线结构以及栅极引线的制备方法，涉及栅极引线制备技术领域。该栅极引线结构包括：图像采集设备获取预备图像；向计算机设备上传预备图像；计算机设备接收预备图像，向主控板发送振动指令，并向图像采集设备发送图像采集指令；计算机设备接收工作反馈图像；向工业机器人发送抓取指令，抓取指令用于指示工业机器人对料盘内的柔性材料进行抓取。在柔性上料站中，在通过计算机设备确定图像采集设备采集到的柔性材料的种类后，通过对于柔性材料的具体识别结果确定振动方法，并在振动配方与料盘一致的情况下，进行基于图像识别的柔性材料抓取选料工作，提高了产线对于不同柔性材料进行振动分离工作的适配性。
栅极引线结构以及制备方法

[发明专利]一种工业设备的异常分析方法及相关装置-CN202310697075.9在审
发明人：章军辉;郭晓满;钱宇晗;董接莲;陈明亮;庄宝森;陈大鹏 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G06F18/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种工业设备的异常分析方法及相关装置，涉及工业设备监测技术领域，包括：通过重构模型重构输入状态向量，得到重构矩阵；所述输入状态向量包括多个特征；根据所述输入状态向量与所述重构矩阵，得到重构误差；根据所述重构误差确定异常分数；根据所述异常分数与异常阈值，判断设备是否异常；若设备异常，则分析所述特征，确定引起所述设备异常的主因特征。该方法能够及时准确分析出设备异常并给出引起设备异常的主因特征。
一种工业设备异常分析方法相关装置

[发明专利]基于门控循环单元的工业设备异常检测方法及相关装置-CN202310703284.X在审
发明人：章军辉;刘禹锡;郭晓满;闫飞;陈明亮;陈大鹏 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G05B23/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于门控循环单元的工业设备异常检测方法，涉及设备管理技术领域，包括：通过重构模型重构输入状态得到重构状态；输入状态包括设备的多个特征；重构模型中的编码器与解码器均包括门控循环单元；根据输入状态与重构状态计算得到重构误差，并根据重构误差确定异常分数；确定极值指标；根据重构误差与极值指标确定异常阈值；若异常分数超出异常阈值，则判定设备存在异常。该方法能够及时、高效的检测异常。本申请还公开了一种基于门控循环单元的工业设备异常检测装置、设备以及计算机可读存储介质，均具有上述技术效果。
基于门控循环单元工业设备异常检测方法相关装置

[发明专利]一种工业设备的时序状态数据重构方法及相关装置-CN202310700161.0在审
发明人：章军辉;付宗杰;顾煜帆;董接莲;陈明亮;庄宝森;陈大鹏 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G06F18/214 文献下载
摘要：本申请公开了一种工业设备的时序状态数据重构方法及相关装置，涉及工业设备异常检测技术领域，包括：构建Transformer模型；Transformer模型的编码器包括多层编码器单元，Transformer模型的解码器包括多层解码器单元；训练Transformer模型；提取工业设备的存疑数据，并根据存疑数据构建多元时间序列；对多元时间序列进行预处理，得到重构对象；通过训练好的Transformer模型处理重构对象，得到重构结果。该方法能够快速可靠的进行数据重构，有利于进一步基于重构数据进行工业设备异常检测，提升工业设备异常检测的效率。
一种工业设备时序状态数据方法相关装置

[发明专利]基于长短期记忆网络的工业设备异常检测方法及相关装置-CN202310700681.1在审
发明人：章军辉;王静贤;钱宇晗;闫飞;陈明亮;陈大鹏 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G06Q10/0639 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于长短期记忆网络的工业设备异常检测方法，涉及设备管理技术领域，包括：提取存疑数据并根据存疑数据构建状态矩阵；通过重构模型重构状态矩阵得到重构状态；重构模型中的编码器与解码器均包括长短期记忆网络；计算状态矩阵与重构状态的重构误差，并根据重构误差确定异常分数；根据重构误差确定异常阈值；当异常分数超出异常阈值时，判定设备存在异常。该方法能够有效监测工业设备全生命周期的运行状态，及时发现潜在异常，对复杂工业现场环境具有较强适应能力。本申请还公开了一种基于长短期记忆网络的工业设备异常检测装置、设备以及计算机可读存储介质，均具有上述技术效果。
基于短期记忆网络工业设备异常检测方法相关装置

[发明专利]一种光刻机工件台的内外扰动在线观测方法及相关装置-CN202310788257.7在审
发明人：章军辉;郭晓满;王静贤;陈明亮;董接莲;庄宝森;陈大鹏 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种光刻机工件台的内外扰动在线观测方法，涉及光刻机技术领域，包括：根据光刻机工件台的二阶抽象模型，确定非线性扰动观测器的数学模型；获取所述光刻机工件台的实际位移与前馈‑反馈控制器的输出信号；根据所述数学模型、所述实际位移与所述输出信号，计算得到光刻机工件台的总扰动估计值。该方法能够在线精确估计光刻机工件台的内外扰动。本申请还公开了一种光刻机工件台的内外扰动在线观测装置、设备以及计算机可读存储介质，均具有上述技术效果。
一种光刻机工内外扰动在线观测方法相关装置

[发明专利]一种基于光纤阵列的深紫外光刻机-CN202310580508.2在审
发明人：陈大鹏;傅剑宇 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及芯片或集成电路制造技术领域，具体公开了一种基于光纤阵列的深紫外光刻机，包括深紫外激光光源、单模光纤耦合器、光开关、高精度二维光纤阵列、菲涅尔波带片阵列、放有感光基板的工件台、控制系统以及版图处理软件系统，单模光纤耦合器包括透镜和透镜后面的单模光纤，感光基板包括晶圆和设置在晶圆上的光刻胶，晶圆划分为多个曝光场，深紫外激光光源、工件台和版图处理软件系统均与控制系统电连接，深紫外激光光源的光通过透镜被引入到单模光纤中，单模光纤经过光开关后连接高精度二维光纤阵列，高精度二维光纤阵列的端面与菲涅尔波带片阵列对准；本发明提供的基于光纤阵列的深紫外光刻机，曝光线条更为精细，能够适应更多生产需求。
一种基于光纤阵列深紫光刻

[发明专利]一种高精度数字光刻机-CN202310580511.4在审
发明人：陈大鹏;傅剑宇 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及芯片或集成电路制造技术领域，具体公开了一种高精度数字光刻机，包括曝光系统、放有感光基板的工件台、控制系统和安装在计算机中的版图处理软件系统，曝光系统包括单模光纤耦合的紫外激光器、高精度二维光纤阵列和大数值孔径微透镜阵列，感光基板包括晶圆和具有光热反应功能的涂覆层，具有光热反应功能的涂覆层形成在晶圆的表面，晶圆划分为多个曝光场，单模光纤耦合的紫外激光器、工件台和版图处理软件系统均与控制系统电连接，单模光纤耦合的紫外激光器连接高精度二维光纤阵列，高精度二维光纤阵列的端面与大数值孔径微透镜阵列对准。本发明提供的高精度数字光刻机，能够快速进行大量微小光斑的曝光，兼具高精度线条与高光刻效率。
一种高精度数字光刻

[发明专利]一种光刻机工件台的运动控制方法及相关装置-CN202310783257.8在审
发明人：章军辉;郭晓满;王静贤;陈明亮;彭良强;陈大鹏 -专利权人： 无锡物联网创新中心有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种光刻机工件台的运动控制方法及相关装置，涉及光刻机技术领域，包括：通过前馈补偿控制器对光刻机工件台的预测误差进行迭代处理，得到前馈输出；预测误差为光刻机工件台下一时刻的期望位移与当前时刻的实际位移的偏差；以PIV控制器作为反馈环节对光刻机工件台的实际误差进行处理，得到反馈输出；实际误差为光刻机工件台当前时刻的期望位移与当前时刻的实际位移的偏差；根据前馈输出、反馈输出以及扰动，得到光刻机工件台的期望加速度；根据期望加速度与实际加速度控制光刻机工件台运动。该方法能够高精密的对光刻机工件台进行控制，满足快速响应与精密定位的要求。
一种光刻机工运动控制方法相关装置

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