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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种多工位的晶圆匀胶显影机-CN202320631051.9有效
  • 周园 - 无锡优联创芯机电设备有限公司
  • 2023-03-28 - 2023-09-22 - G03F7/16
  • 本实用新型涉及半导体行业晶圆技术领域，具体涉及一种多工位的晶圆匀胶显影机，包括均胶机，所述均胶机背面连接气管，气管，其另一端连接真空泵，滴胶机，其设置于均胶机左侧，均胶机控制面板，其设置于均胶机前端，收胶锅，其均设置于均胶机顶部。本实用新型克服了现有技术的不足，通过设置均胶机、真空泵、滴胶机、气管、一号滴胶臂、二号滴胶臂、滴胶管、滴胶孔和保护盖，滴胶机顶部设置有一号滴胶臂和二号滴胶臂，分别对应均胶机顶部的两个保护盖上的滴胶孔，保护盖铰接于收胶锅顶部，收胶锅内设置有转动轴用于放置片托，片托上放置基片用于加工，该装置可以同时有两个基片被加工，实现多工位的操作可以提高晶圆均胶显影机的工作效率。
  • 一种多工位晶圆匀胶显影
  • [实用新型]一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置-CN202222167321.3有效
  • 谢辉平 - 无锡优联创芯机电设备有限公司
  • 2022-08-17 - 2022-12-20 - H01L21/56
  • 本实用新型提供一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置，包括箱体罩壳，所述箱体罩壳的内部设有摆臂组件，且所述摆臂组件的底端转动连接擦盘组件；所述摆臂组件用于带动所述擦盘组件升降旋转；所述箱体罩壳的内部底端固定有擦粉平台，且所述擦粉平台的表面配合连接有真空吸盘；所述真空吸盘的底端固定有主轴，且所述主轴贯穿所述擦粉平台；所述主轴的底端设有升降组件；所述升降组件用于带动所述主轴升降。本实用新型的擦粉装置采用可升降的真空吸盘吸附固定硅片，利用可旋转升降的擦盘组件对固定的硅片进行擦粉操作；采用本实用新型的装置进行擦粉，擦粉的压力能够稳定均匀，可有效的确保硅片的加工质量，减少硅片的损耗，同时加工效率高。
  • 一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置
  • [发明专利]一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置-CN202210988468.0在审
  • 谢辉平 - 无锡优联创芯机电设备有限公司
  • 2022-08-17 - 2022-10-11 - H01L21/56
  • 本发明提供一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置，包括箱体罩壳，所述箱体罩壳的内部设有摆臂组件，且所述摆臂组件的底端转动连接擦盘组件；所述摆臂组件用于带动所述擦盘组件升降旋转；所述箱体罩壳的内部底端固定有擦粉平台，且所述擦粉平台的表面配合连接有真空吸盘；所述真空吸盘的底端固定有主轴，且所述主轴贯穿所述擦粉平台；所述主轴的底端设有升降组件；所述升降组件用于带动所述主轴升降。本发明的擦粉装置采用可升降的真空吸盘吸附固定硅片，利用可旋转升降的擦盘组件对固定的硅片进行擦粉操作；采用本发明的装置进行擦粉，擦粉的压力能够稳定均匀，可有效的确保硅片的加工质量，减少硅片的损耗，同时加工效率高。
  • 一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置
  • [实用新型]一种光刻胶废液处理装置-CN202220358407.1有效
  • 谢辉平 - 无锡优联创芯机电设备有限公司
  • 2022-02-22 - 2022-06-28 - G03F7/42
  • 本实用新型公开了一种光刻胶废液处理装置，包括废液收集桶和集液固定框架，所述集液固定框架安装在废液收集桶的正上方，集液固定框架的内部设置有固定槽，所述集液固定框架的下端设置有集液漏斗，集液漏斗的下端通过螺纹固定管与设置在废液收集桶顶端的螺纹端口紧密旋接固定，所述废液收集桶的外侧安装有支撑框架，支撑框架的上端表面与集液固定框架卡合固定，支撑框架的底部安装有万向轮，所述废液收集桶的底端通过缓冲垫板固定连接有支撑底座。本实用新型通过将光刻胶废液瓶倒置固定在集液固定框架内部槽口中，方便将废液瓶中残留的液体回收至废液收集桶中，整个装置移动控制方便，安全防护效果好，可对收集后的废液进行集中安全排放。
  • 一种光刻废液处理装置
  • [实用新型]一种硅片甩干用电机-CN202220359599.8有效
  • 谢辉平 - 无锡优联创芯机电设备有限公司
  • 2022-02-22 - 2022-06-28 - H02K5/20
  • 本实用新型公开了一种硅片甩干用电机，包括电机外壳体，所述电机外壳体的前端设置有前端盖，前端盖与电机外壳体之间为可拆卸式结构，电机外壳体的后端设置有后端盖，后端盖与电机外壳体之间为可拆卸式结构，所述前端盖的前端表面安装有进水槽管，后端盖的前端表面安装有出水槽管，密封内壳与电机外壳体之间设置有水冷槽，水冷槽的内部设有冷却水循环管道，冷却水循环管道分别与进水槽管和出水槽管相连通，所述密封内壳前端安装有密封防水圈。本实用新型通过对电机外壳体进行便捷式密封安装固定，具备组装拆卸方便的优点，同时内置水冷机构，通过循环水给电机散热，能极大的提高电机的散热能力，能够长时间维持在较大功率，进而提高甩干作业效率。
  • 一种硅片用电
  • [实用新型]一种硅片传递控制装置-CN202220359603.0有效
  • 谢辉平 - 无锡优联创芯机电设备有限公司
  • 2022-02-22 - 2022-06-28 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了一种硅片传递控制装置，包括第一控制架和第二控制架，所述第一控制架的顶端安装有承载梁，承载梁的上端表面安装有伺服电机，伺服电机的输出端通过转轴传动连接有丝杠主体，丝杠主体的表面通过丝杠滑块与第二控制架固定连接，所述第一控制架的前端表面设置有第一滑轨，第一滑轨的表面安装有第一驱动滑块，所述第二控制架的上端表面安装有第二滑轨，第二滑轨的表面安装有第二驱动滑块，第二驱动滑块的上端表面通过焊接固定连接有运输平台，运输平台的表面设置有硅片放置板。本实用新型通过设置有双向传动运输机构，可对运输平台上的硅片放置板进行传递控制，方便对硅片进行快速加工定位。
  • 一种硅片传递控制装置
  • [发明专利]一种自动硅片匀胶用涂抹装置及使用方法-CN202011585997.3有效
  • 谢辉平 - 无锡优联创芯机电设备有限公司
  • 2020-12-28 - 2022-04-19 - B05C5/02
  • 本发明涉及自动硅片匀胶用涂抹装置技术领域，且公开了一种自动硅片匀胶用涂抹装置机使用方法，包括两个升降装置，位于左侧的所述升降装置的右侧固定连接有晶片涂胶驱动装置，所述晶片涂胶驱动装置的右侧固定连接有烘干装置，所述烘干装置的右侧与右侧的升降装置固定连接。本发明通过对传送装置的改进，在传送时，第四正反转电机带动第三丝杆转动，第三丝杆使得两个第三滚珠套上的安装条朝相对一侧移动后，这样，安装条移动至适当的位置时，第三正反转电机启动，此时两个传送轮带动传动带转动，当硅片落在两个传动带上时，能够被传送，当到达指定的位置上，第四正反转电机启动，使得两个第三滚珠套朝向相背方向移动，这时能够将硅片放下。
  • 一种自动硅片匀胶用涂抹装置使用方法
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