专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]沉积装置-CN202080023713.3有效
  • 文炳竣;金宣基;崔虔熏;曹永秀 - LG电子株式会社
  • 2020-01-21 - 2023-10-27 - C23C14/24
  • 本发明的目的是提供一种沉积装置,其能够最小化用于加热坩埚的热量到达衬底的情况,并且还能够有效地缓解堵塞。该沉积装置包括:坩埚;布置在坩埚外部以加热坩埚的加热器部分;用于将从沉积原料蒸发的沉积材料供应到沉积进行制品的多个喷嘴;以及布置在加热器部分外部的冷却部分,并且该沉积装置还可以包括屏蔽部分、热电模块和喷嘴块中的至少一者。
  • 沉积装置
  • [发明专利]沉积装置-CN201980096601.8有效
  • 李相硅;崔虔熏;文炳竣;曹永秀 - LG电子株式会社
  • 2019-11-29 - 2023-08-25 - C23C14/24
  • 本发明的沉积装置包括将沉积原料蒸发成沉积材料的坩埚、以及被构造成加热所述坩埚的加热器单元,所述坩埚包括上表面开口并将沉积原料蒸发成沉积材料的坩埚主体、在所述坩埚主体的上部向外延伸的坩埚法兰、连接至所述坩埚法兰的上侧并设置有用于排出所述沉积材料的至少一个或多个的喷嘴的坩埚盖,所述加热器单元包括与所述坩埚主体的外侧间隔开的加热器框架、以及安装在所述加热器框架的内壁上并与所述坩埚主体间隔开的加热器,并且所述坩埚法兰支撑在所述加热器框架的上端。
  • 沉积装置
  • [发明专利]沉积装置-CN202180054813.7在审
  • 文炳竣;金宣基;曹永秀;李镕焕 - LG电子株式会社
  • 2021-06-03 - 2023-05-02 - C23C14/24
  • 沉积装置包括:坩埚,容纳金属物质;反射器,包围坩埚的外周;加热器托架,设置于反射器;加热丝,固定于加热器托架;以及加热丝盖,配置于加热丝和坩埚之间并是绝缘体,在导电性气体泄露时,可以利用加热丝盖的简单的结构防止导电性气体沉积于加热丝。另外,在加热丝盖的外周面可以形成有供加热丝插入并容纳的沟槽。
  • 沉积装置
  • [发明专利]沉积装置-CN201980101298.6在审
  • 文炳竣;崔虔熏;申大成;曹永秀 - LG电子株式会社
  • 2019-11-29 - 2022-06-03 - C23C14/24
  • 本发明实施方式的沉积装置包括:用于将沉积原料蒸发成沉积物质的坩埚;设置在坩埚的外部用于加热坩埚的加热器单元;以及设置在加热器单元的外部并且用于屏蔽加热器单元的冷却部分。所述坩埚包括用于向上释放沉积物质的一个或多个喷嘴。所述冷却单元包括:屏蔽板,其被设置成远离加热器单元上方并且具有一个或多个孔,所述喷嘴的上部穿过所述孔伸出;以及设置在屏蔽板的孔附近的喷嘴加热器。
  • 沉积装置
  • [发明专利]沉积装置-CN201980100433.5在审
  • 李相硅;申大成;洪熏护;文炳竣 - LG电子株式会社
  • 2019-11-29 - 2022-05-13 - C23C14/54
  • 本发明实施方式的沉积装置包括:蒸发源,其包括容纳有沉积材料的坩埚、支撑在坩埚外部的加热器单元、以及支撑在加热器单元外部的冷却单元;容纳蒸发源并提供放置沉积基板的沉积空间的腔室;重量测量设备,其设置在腔体内并感测蒸发源的总重量;以及控制单元,其设置在腔室外部并且向重量测量设备发送信号和从重量测量设备接收信号。
  • 沉积装置
  • [发明专利]沉积设备-CN202080024314.9在审
  • 文炳竣;李相硅;申大成;洪熏护 - LG电子株式会社
  • 2020-01-21 - 2021-11-12 - C23C14/24
  • 本发明的目的是提供一种用于更精确地测量存在于坩埚中的剩余沉积原材料量的沉积设备,所述沉积设备包括:坩埚,在所述坩埚中填充有所述沉积原材料,并且所述坩埚具有用于引导从所述沉积原材料蒸发的沉积材料的喷嘴;加热器部件,所述加热器部件包括用于释放用于加热所述坩埚的热的加热器单元,以及加热器框架,所述加热器单元安装在所述加热器框架上;冷却部件,所述冷却部件放置在所述加热器部件的外部;腔室,所述腔室具有在其中形成的沉积空间,并且其中容纳所述坩埚、所述加热器部件和所述冷却部件;以及重量测量模块,所述重量测量模块用于测量所述坩埚的重量,其中供安装所述坩埚的安装部件可以形成在所述加热器框架上。
  • 沉积设备

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