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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]沉积装置-CN201980096601.8有效
  • 李相硅;崔虔熏;文炳竣;曹永秀 - LG电子株式会社
  • 2019-11-29 - 2023-08-25 - C23C14/24
  • 本发明的沉积装置包括将沉积原料蒸发成沉积材料的坩埚、以及被构造成加热所述坩埚的加热器单元，所述坩埚包括上表面开口并将沉积原料蒸发成沉积材料的坩埚主体、在所述坩埚主体的上部向外延伸的坩埚法兰、连接至所述坩埚法兰的上侧并设置有用于排出所述沉积材料的至少一个或多个的喷嘴的坩埚盖，所述加热器单元包括与所述坩埚主体的外侧间隔开的加热器框架、以及安装在所述加热器框架的内壁上并与所述坩埚主体间隔开的加热器，并且所述坩埚法兰支撑在所述加热器框架的上端。
  • 沉积装置
  • [发明专利]沉积装置-CN201980100433.5在审
  • 李相硅;申大成;洪熏护;文炳竣 - LG电子株式会社
  • 2019-11-29 - 2022-05-13 - C23C14/54
  • 本发明实施方式的沉积装置包括：蒸发源，其包括容纳有沉积材料的坩埚、支撑在坩埚外部的加热器单元、以及支撑在加热器单元外部的冷却单元；容纳蒸发源并提供放置沉积基板的沉积空间的腔室；重量测量设备，其设置在腔体内并感测蒸发源的总重量；以及控制单元，其设置在腔室外部并且向重量测量设备发送信号和从重量测量设备接收信号。
  • 沉积装置
  • [发明专利]沉积设备-CN202080024314.9在审
  • 文炳竣;李相硅;申大成;洪熏护 - LG电子株式会社
  • 2020-01-21 - 2021-11-12 - C23C14/24
  • 本发明的目的是提供一种用于更精确地测量存在于坩埚中的剩余沉积原材料量的沉积设备，所述沉积设备包括：坩埚，在所述坩埚中填充有所述沉积原材料，并且所述坩埚具有用于引导从所述沉积原材料蒸发的沉积材料的喷嘴；加热器部件，所述加热器部件包括用于释放用于加热所述坩埚的热的加热器单元，以及加热器框架，所述加热器单元安装在所述加热器框架上；冷却部件，所述冷却部件放置在所述加热器部件的外部；腔室，所述腔室具有在其中形成的沉积空间，并且其中容纳所述坩埚、所述加热器部件和所述冷却部件；以及重量测量模块，所述重量测量模块用于测量所述坩埚的重量，其中供安装所述坩埚的安装部件可以形成在所述加热器框架上。
  • 沉积设备
  •  1 
  • 共 4 条
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