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[发明专利]一种基于MEMS的片上连续非易失调节结构-CN202310718125.7在审
发明人：李欢;胡寅鹏;戴道锌 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于MEMS的片上连续非易失调节结构。包括基底、调节器和制动器；调节器包括传动杆、固定岛弹簧结构和单向静电梳驱动器；传动杆为十字形结构，制动器包括制动杆、两对固定岛弹簧结构、一组双向静电梳驱动器和机械停止结构，制动杆为长条形结构，制动杆的制动端用于与传动杆的制动端接触连接通过范德华力对传动杆制动。本发明实现了大范围连续非易失调节的功能，能降低网络的功耗，具有功耗低、调节范围大、制作工艺简单、灵活性强和不会引入额外损耗等显著优势。
一种基于 mems 连续失调结构

[发明专利]低偏压大带宽电光调制器-CN201710543357.8有效
发明人： 戴道锌;吴昊 -专利权人：浙江大学
申请日： 2017-07-05 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02F1/065 文献下载
摘要：本发明公开了一种低偏压大带宽电光调制器。所述电光调制器为具有电光调制波导的相位调制器、马赫‑曾德型电光强度调制器和微环谐振腔型电光强度调制器，用调制电极向电光调制波导施加电场实现相位或者光强的调制，调制电极与电光调制波导形成电连接；电光调制波导是沿传输方向相以同相同周期性或者变化周期交替布置方式构成的波导结构。本发明可用于光通信系统中的电光相位调制和电光强度调制，具有大调制带宽、低工作电压、高调制效率、低工作能耗、小器件尺寸、结构简单、设计简易、工艺简便等优点。
偏压带宽电光调制器

[发明专利]一种基于高阶模转换的零色散低损耗延迟线-CN202310880345.X在审
发明人： 戴道锌;李钢敏;张龙;洪仕瀚 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G02B6/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于高阶模转换的零色散低损耗延迟线。本发明包含模式复用器、输入波导、两条螺旋弯曲波导、S型波导、输出波导和模式解复用器。其中S型波导位于两条螺旋弯曲波导中间，用于连接两者，输入波导置于螺旋弯曲波导前面，用于连接螺旋波导与模式复用器，输出波导置于螺旋弯曲波导后面，用于连接螺旋弯曲波导与模式解复用器。本发明通过将输入的基模转换成高阶模式可以在更宽的宽度下实现零色散波导，多模波导可以降低光场与波导表面的散射损耗，实现零色散波导的同时降低传输损耗，可应用于光频梳、四波混频、光学参量振荡器等系统。
一种基于高阶模转换色散损耗延迟线

[发明专利]一种浅刻蚀多模干涉耦合的多通道平顶型波分复用接收器-CN202210054062.5有效
发明人： 戴道锌;贺江豪;刘大建;朱明愚 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种浅刻蚀多模干涉耦合的多通道平顶型波分复用接收器。输入波导一端和锥形输入波导较窄的一端相连，锥形输入波导较宽的一端和浅刻蚀多模干涉耦合器结构的输入端相连，由输入波导和锥形输入波导构成光波收集单元；各条锥形输出波导较宽的一端和浅刻蚀多模干涉耦合器结构的输出端相连，锥形输出波导较窄的一端与各自的输出波导一端相连，由浅刻蚀多模干涉耦合器结构和各条多模的锥形输出波导成解复用单元；各条输出波导另一端与n个相同的探测器相连，由各条输出波导和n个探测器构成光波探测单元。本发明实现了低插损、低串扰且各通道均有平顶响应的多通道波分复用接收器，具有与CMOS工艺兼容、工艺简单，结构简单、大容差等优点。
一种刻蚀干涉耦合通道平顶型波分复用接收器

[发明专利]一种具有超大自由光谱范围的法布里-珀罗光学滤波器-CN202310612354.0在审
发明人： 戴道锌;朱明愚;刘大建 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G02B6/293 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有超大自由光谱范围的法布里‑珀罗光学滤波器。光学滤波器由模式解复用器经滤波单元后与直通波导相连组成。模式解复用器包括输入连接波导、模式复用器、第一连接波导和传输波导，输入连接波导的一端与传输波导的一端均与模式复用器相连，输入连接波导的另一端作为光学滤波器的输入端，传输波导的另一端组作为光学滤波器的下载端，模式复用器经第一连接波导后与滤波单元相连。滤波单元由多个多模波导光栅依次相连组成。本发明在各种材料平台(如：绝缘体上硅，氮化硅，铌酸锂平台)的光滤波器都有容差大，易于加工，带宽可自由调节，消光比大，FSR大的优点。根据具体通信协议需求，可以实现不同带宽，不同通道数的光滤波器。
一种具有超大自由光谱范围法布里光学滤波器

[发明专利]用机械双稳态梁的集成波导MEMS光开关及N×N阵列-CN202310774580.9在审
发明人：李欢;马谦;胡寅鹏;鲁烨;刘云挚;戴道锌 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：本发明公开了用机械双稳态梁的集成波导MEMS光开关及N×N阵列。包括基底以及置于基底上的光学结构和机械结构；其中光学结构包括三个可移动光学耦合器和输入‑输出波导组，可移动光学耦合器和输入‑输出波导组均悬空于基底布置，可移动光学耦合器组通过传动杆与静电梳驱动器连接，传动杆从连接可移动光学耦合器组的一端开始依次连接第一组固定岛梁结构、静电梳驱动器和第二组固定岛梁结构。本发明中的开关结构具有带宽范围大、插入损耗低、串扰低、消光比高、制作工艺简单、加工成本低、功耗低、可扩展性强等显著优势。
机械双稳态集成波导 mems 开关阵列

[发明专利]贝塞尔曲线光波导耦合器及其干涉仪、集成光滤波器-CN202310774545.7在审
发明人：郭敬书;戴道锌;虞来文 -专利权人：浙江大学;浙江大学嘉兴研究院
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G02B6/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种贝塞尔曲线光波导耦合器及其干涉仪、集成光滤波器。包含两根同向并行放置的耦合波导，每根耦合波导均包括位于两端的直线波导以及位于中间的沿贝塞尔曲线布置的曲线波导，两根耦合波导组成一个两输入端口和两输出端口的定向耦合器结构；耦合波导的曲线波导的中心线以单段贝塞尔曲线布置或多段顺次相连的贝塞尔曲线布置；以及包含一个或多个定向耦合器的马赫增德尔干涉仪、包含一个或多个级联的马赫增德尔干涉仪的集成光滤波器。本发明通过引入贝塞尔曲线拓扑结构，可实现具备远小尺寸、大容差、大带宽、任意耦合系数等优点，应用于级联马赫增德尔干涉仪型集成光滤波器可大幅提升滤波器容差、紧凑性和性能，可适用于不同波导平台。
贝塞尔曲线波导耦合器及其干涉仪集成滤波器

[发明专利]基于相变材料-硅混合集成波导的超紧凑光开关及阵列-CN202310560550.8在审
发明人：张明;吴庆博;戴道锌 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于相变材料‑硅混合集成波导的超紧凑光开关及阵列。超紧凑光开关由传输波导阵列，定向耦合器，马赫‑曾德尔干涉仪，混合相变材料‑硅波导的干涉臂组成。将该超紧凑光开关平行排布，即可构成超紧凑光开关阵列。与现有的集成片上光开关相比，本发明利用模式调控技术压缩相邻波导间距，大大减小光开关占地面积。使用混合相变材料‑硅波导的干涉臂，避免了热光开关运行时持续加热的需求，极大缩减了切换开关状态时的能耗，且开关状态无需外来能量维持，不仅避免静态功率消耗，也避免了开关阵列运行时持续加热带来的热飘移和热串扰问题。本发明具有超紧凑，能耗低和非易失等优点，可广泛适用于各类先进光学系统中。
基于相变材料混合集成波导紧凑开关阵列

[发明专利]一种基于微环谐振器阵列的波长选择开关器件-CN202310209454.9在审
发明人： 戴道锌;彭莹莹;张昌平 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G02B6/293 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微环谐振器阵列的波长选择开关器件。本发明包括上包层、下包层、总线输入输出波导和多个波长选择器，总线输入输出波导和多个波长选择器均设置在上包层、下包层之间，多个波长选择器沿总线输入输出波导的传输方向依次间隔布置。多路波长信号从总线波导输入，通过对多个微环谐振器单元进行同时调控后从总线波导或者上传下载波导输出，实现多路光信号在不同端口方向的选择性传输的功能。本发明结构简洁紧凑、设计方便、稳定性高，利用微环谐振器固有的谐振特性实现了多路波长信号的同时、不同方向选择性传输，具有较低的能量消耗和额外损耗，适用于多通道的波分复用系统、光计算与神经网络领域。
一种基于谐振器阵列波长选择开关器件

[发明专利]一种焦平面微腔开关阵列光束扫描装置-CN202310204167.9在审
发明人： 戴道锌;宋立甲 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种焦平面微腔开关阵列光束扫描装置，包括一个光耦合器、一条连接波导、一个包含N个微腔光开关单元的1×N微腔光开关阵列、N行包含M个微腔光开关及发射单元的1×M微腔光开关发射线阵组成的N×M微腔光开关发射矩阵。光耦合器的输出口与连接波导输入口相连，连接波导与光开关阵列的输入口相连，微腔光开关阵列的输入口由首尾相连N个的微腔光开关单元组成，微腔光开关阵列的N个输出口分别与N行微腔光开关发射线阵各自输入口分别相连，微腔光开关发射线由M个微腔光开关单元和发射天线组成，且微腔光开关单元首尾相连。本发明光束扫描时只要选取两个微腔的工作状态，具有低损耗、低功耗、大视场、高分辨、易扩展调控的优点。
一种平面开关阵列光束扫描装置

[发明专利]一种超低串扰的级联光栅型多通道片上滤波器-CN202210555099.6有效
发明人： 戴道锌;贺江豪;刘大建;张明;朱明愚 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G02B6/124 文献下载
摘要：本发明公开了一种超低串扰的级联光栅型多通道片上滤波器。N个滤波结构依次连接在输入波导和输出波导之间；每个滤波结构均主要由一个通道和一个滤模器依次连接构成，通道由M个结构相同的级联光栅滤波器级联构成，两个相同的级连光栅滤波器之间由一个弯曲波连接；第一级联光栅滤波器之间由一个滤模器连接。本发明能根据级连滤波器个数M和通道数N来获得一个低插损、超低串扰的，超高滚降度、平顶响应的片上多通道滤波器，具有工艺简单，结构简单等优点。
一种超低串扰级联光栅通道滤波器

[发明专利]基于可移动波导反射镜的MEMS光开关及N×N阵列-CN202211240829.X在审
发明人： 戴道锌;胡寅鹏;李欢 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于可移动波导反射镜的MEMS光开关及阵列。包括基底以及置于基底上的光学结构和机械结构；其中光学结构包括固定波导反射镜和可移动波导反射镜，固定波导反射镜固定于基底布置，可移动波导反射镜悬空于基底布置；固定波导反射镜和可移动波导反射镜之间通过一对半折叠弹簧连接，固定波导反射镜和可移动波导反射镜上均设置有亚波长反射面。本发明实现了光路切换的效果，具有带宽范围大、插入损耗低、串扰低、消光比高、制作工艺简单、加工成本低、功耗低、可扩展性强等显著优势。
基于移动波导反射 mems 开关阵列

[发明专利]一种基于微环谐振器阵列的多通道幅度均衡器-CN202310150025.9在审
发明人： 戴道锌;张昌平 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G02B6/293 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微环谐振器阵列的多通道幅度均衡器。本发明包括上包层、下包层、总线输入输出波导和N个微环谐振器单元；总线输入输出波导、N个微环谐振器单元均设置在上包层和下包层之间，N个微环谐振器单元均设置在总线输入输出波导的侧方，N个微环谐振器单元沿总线输入输出波导的传输方向依次间隔布置。多路波长信号从总线波导输入，通过对多个微环谐振器单元进行同时调控后从总线波导输出，实现多路光信号的幅度均衡。本发明结构简洁紧凑、设计方便、稳定性高，利用微环谐振器固有的谐振特性实现了多路波长信号的同时幅度均衡，具有较低的能量消耗和额外损耗，适用于多通道的波分复用系统、光计算与神经网络以及微波光子学领域。
一种基于谐振器阵列通道幅度均衡器

[发明专利]在薄膜铌酸锂平台可拓展任意通道波分复用调制器阵列-CN202211506099.3在审
发明人： 戴道锌;贺江豪;张明;刘大建;刘洪轩 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G02B6/293 文献下载
摘要：本发明公开了一种在薄膜铌酸锂平台可拓展任意通道波分复用调制器阵列。复用调制器阵列包括多个调制复用单元Mod‑Mux，相邻调制复用单元Mod‑Mux之间通过直通波导连接，光学输入波导从外部的激光器接收光信号，光学调制器通过对所述具有独特光学波长的光信号进行调制产生光调制信号，滤波器多路复用器将作为载波波长的具有独特光学波长的所述光调制信号添加到输出波导上，输出波导载送光信号。本发明在铌酸锂平台上可实现任意通道数、波段、通道间隔、通道带宽，超大调谐速率的波分复用制器阵列，可用于光通信系统中的电光调制，具有大调制带宽、低工作电压、超高调制速率、结构简单、工艺简便、拓展性强等优点。
薄膜铌酸锂平台拓展任意通道波分复用调制器阵列

[发明专利]一种高效率光波导芯片-少模光纤耦合器-CN202211597573.8在审
发明人： 戴道锌;易晓琳 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G02B6/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效率光波导芯片‑少模光纤耦合器。包括低折射率差转换芯片上的少模光纤‑多模波导模斑转换模块、偏振不敏感模式复用/解复用模块、高折射率差芯片上的低‑高折射率差波导模斑转换模块和偏振调控模块；少模光纤的2n个线偏振模通过少模光纤‑多模波导模斑转换模块端面耦合输入多模波导，后经模式复用/解复用模块解复用为n路基模，再经低‑高折射率差波导模斑转换模块分别耦合至n路高折射率差波导获得TE0/TM0模式对，经偏振调控模块分成2n路高折射率差波导的线偏振模。本发明能够实现少模光纤中的线偏振模与高折射率差光波导芯片中线偏振模的高效率耦合，具有大带宽、大容差、低串扰、半导体工艺兼容等优点，有效解决光纤到芯片的多模式耦合问题。
一种高效率波导芯片光纤耦合器

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