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[发明专利]顶升机构和晶圆加工设备-CN202310678768.3在审
发明人：孙文彬;戴立洪 -专利权人：无锡邑文电子科技有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种顶升机构和晶圆加工设备，涉及半导体技术领域。顶升机构包括伸缩驱动件、安装板、顶针和反应腔体。反应腔体具有用于加工晶圆的反应腔，反应腔的底壁设置有开孔。顶针可移动地设置于开孔。安装板与伸缩驱动件传动连接，且安装板位于顶针的底部。伸缩驱动件用于在处于伸长状态时，带动安装板上升与顶针抵接以推动顶针向上移动从而顶升晶圆托架。伸缩驱动件处还用于在缩短状态时，带动安装板下移以便顶针向下移动。可以避免顶针在伸缩驱动件震动时发生形变，及易于顶针的维护和更换。
机构加工设备

[实用新型]带功率平衡发电机的抽汽背压式小汽轮机控制调节系统-CN201921906318.0有效
发明人：张振华;刘岩;周雅君;杜未;杨国强;赵文波;杨腾;夏洪刚;王开晶;郜玉森;任庆鹏;刘帅;王明刚;张凯;张超;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;彭良;张莉;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： F01K13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种带功率平衡发电机的抽汽背压式小汽轮机控制调节系统，该系统给水泵小汽轮机一端与功率平衡小发电机连接并同轴驱动；给水泵小汽轮机另一端与给水泵调速装置的输入端连接，给水泵调速装置的输出端与给水泵的输入端连接；给水泵小汽轮机的驱动蒸汽经过小汽轮机进汽调节阀进入给水泵小汽轮机的调节端；给水泵小汽轮机的中间抽汽经过回热抽汽调节阀供往回热加热器；给水泵小汽轮机的排汽通过排汽调节阀进行控制；转速控制模块与小汽轮机进汽调节阀连接及给水泵调速装置连接。本实用新型可以实现小汽轮机正常运行时入口进汽调阀全开运行，进而减少进汽节流损失，并提高小汽轮机的效率4‑5％左右，实现节能降耗的目的。
功率平衡发电机抽汽背压式小汽轮机控制调节系统

[实用新型]一种抽汽背压式给水泵汽轮机背压调节系统-CN201921906319.5有效
发明人：张振华;刘岩;周雅君;杜未;李燕平;杨晋;杨腾;夏洪刚;王开晶;郜玉森;任庆鹏;刘帅;王明刚;张凯;张超;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;彭良;张莉;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： F01K13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种抽汽背压式给水泵汽轮机背压调节系统，包括给水泵小汽轮机、驱动蒸汽管路、回热抽汽管路、回热抽汽管路调节阀、汇合集管、抽汽补汽管路调节阀、排放管路调节阀、背压控制器；驱动蒸汽管路与小汽轮机连接；小汽轮机的中间抽汽通过回热抽汽管路进入回热加热器；小汽轮机排气进入汇合集管；小汽轮机排气通过回热抽汽管路调节阀进入回热加热器；来自主汽轮机抽汽通过调节阀进入汇合集管中；汇合集管通过调节阀连接凝汽器；来自主汽轮机抽汽通过调节阀与回热抽汽管路调节阀连接，并进入回热加热器。本实用新型可以确保小汽轮机启停和正常运行的背压稳定控制，在保证小汽轮机正常驱动给水泵的同时进行有效抽汽回热给水加热器。
一种抽汽背压式水泵汽轮机调节系统

[实用新型]一种抽汽背压式给水泵汽轮机组系统-CN201921906341.X有效
发明人：张振华;周雅君;刘岩;杜未;杨国强;赵文波;杨腾;夏洪刚;王开晶;郜玉森;任庆鹏;刘帅;王明刚;张凯;张超;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： F01K13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种抽汽背压式给水泵汽轮机组系统，包括给水泵小汽轮机、给水泵、功率平衡小发电机、给水泵调速装置、第一加热器、第二加热器、第三加热器、驱动蒸汽管路、排放管路、抽汽补汽管路、给水管路；给水泵、给水泵调速装置、给水泵小汽轮机、功率平衡小发电机同轴连接；给水泵小汽轮机通过抽气管路与第一加热器连接；给水泵小汽轮机通过排气管路与第二加热器及第三加热器连接；给水泵小汽轮机与驱动蒸汽管路连接；给水泵小汽轮机与所述排放管路连接；抽汽补汽管路与第三加热器连接；给水管路与第一加热器、第二加热器、第三加热器的水侧相连通。本实用新型能够确保整套系统的功率平衡，提高给水泵小汽轮机效率，并提高整套系统的效率，节约煤耗。
一种抽汽背压式水泵汽轮机组系统

[实用新型]一种超超临界二次再热机组给水泵汽电混合驱动装置-CN201921250879.X有效
发明人：张超;张振华;刘帅;周雅君;刘岩;杜未;李燕平;杨晋;杨腾;夏洪刚;王开晶;郜玉森;任庆朋;王明刚;张凯;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;彭良;张莉;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： F01D15/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种超超临界二次再热机组给水泵汽电混合驱动装置，包括给水泵小汽轮机、汽电混合驱动调速装置、给水泵及具备变频功能的汽电混合驱动伺服电机；所述汽电混合驱动调速装置的输入轴与所述给水泵小汽轮机的输出轴相连接，所述汽电混合驱动调速装置的输出轴与所述给水泵的输入轴相连接，所述汽电混合驱动调速装置的行星齿轮架与所述汽电混合驱动伺服电机的输出轴相连接。本实用新型相比传统纯机械齿轮及液力耦合器传动效率可提高2％左右，同时可降低小汽轮机进汽节流损失约20％。
一种临界二次机组水泵混合驱动装置

[发明专利]一种超超临界二次再热机组给水泵汽电混合驱动装置及方法-CN201910707759.6在审
发明人：张超;张振华;刘帅;周雅君;刘岩;杜未;李燕平;杨晋;杨腾;夏洪刚;王开晶;郜玉森;任庆朋;王明刚;张凯;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;彭良;张莉;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： F01D15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种超超临界二次再热机组给水泵汽电混合驱动装置及方法，该装置包括给水泵小汽轮机、汽电混合驱动调速装置、给水泵及具备变频功能的汽电混合驱动伺服电机；所述汽电混合驱动调速装置的输入轴与所述给水泵小汽轮机的输出轴相连接，所述汽电混合驱动调速装置的输出轴与所述给水泵的输入轴相连接，所述汽电混合驱动调速装置的行星齿轮架与所述汽电混合驱动伺服电机的输出轴相连接。本发明相比传统纯机械齿轮及液力耦合器传动效率可提高2％左右，同时可降低小汽轮机进汽节流损失约20％。
一种临界二次机组水泵混合驱动装置方法

[实用新型]两级混合式加热器配置的高参数二次再热热力系统-CN201921250876.6有效
发明人：张超;张振华;夏洪刚;刘岩;周雅君;杜未;梁文龙;杨国强;胥佳瑞;吴韬;杨腾;王开晶;郜玉森;任庆朋;刘帅;王明刚;张凯;孙德创;戴立洪;伍小林;白公宝;张志刚;王振彪;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： F01K7/38 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种两级混合式加热器配置的高参数二次再热热力系统，该系统主汽轮机的中间抽汽管路与小汽轮机的进汽口连接；小汽轮机的中间抽汽管路与第一混合式加热器的进汽口连接；小汽轮机的排汽管路与第二混合式加热器的进汽口连接；第一混合式加热器的出口端通过管路与给水泵的入口端连接；凝结水升压泵的出口端通过管路与第一混合式加热器的入口端连接；第二混合式加热器的出口端通过管路与凝结水升压泵的入口端连接。本实用新型采用两级混合式加热器，一方面相比传统一级混合式加热器可降低热耗率，另一方面可提高抽汽背压式小汽轮机背压控制的精确性，提高系统的可靠性，同时回收背压调节时的排汽热量，可确保小汽轮机的效率高达90％。
两级混合式加热器配置参数二次热力系统

[实用新型]一种带高效液力调速装置的抽汽背压式给水泵小汽轮机系统-CN201921296605.4有效
发明人：张超;张振华;张凯;刘岩;周雅君;杜未;杨国强;杨腾;夏洪刚;王开晶;郜玉森;任庆朋;刘帅;王明刚;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： F01D15/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种带高效液力调速装置的抽汽背压式给水泵小汽轮机系统，包括抽汽背压式给水泵小汽轮机、高效液力调速装置、给水泵、功率平衡小发电机及主汽轮机；小汽轮机一端输出轴与高效液力调速装置相连接，另一端输出轴与功率平衡小发电机的输入轴相连接；高效液力调速装置与给水泵相连接，主汽轮机通过中间抽汽管道与小汽轮机进汽管相连接。本实用新型能够保证小汽轮机进汽调节阀保持全开运行以减少节流损失，可提高小汽轮机的设计效率4-5％。此外，由于液力调速装置采用了液力耦合器、液力变矩器和行星齿轮的内部结构，相比传统纯液力耦合器传动调速，可大幅提高调速装置效率4％，调速范围可达10-100％，同时整体传动变速可靠性较高。
一种高效调速装置抽汽背压式水泵汽轮机系统

[实用新型]一种高灵活性二次再热机组调峰热力系统-CN201921296602.0有效
发明人：张超;张振华;王开晶;刘岩;杨国强;杜未;周雅君;赵文波;李燕平;杨晋;张飞飞;孔令国;梁文龙;杨腾;夏洪刚;郜玉森;任庆朋;刘帅;王明刚;张凯;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： F01D17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高灵活性二次再热机组调峰热力系统，包括高压力汽缸、低压力汽缸、高压回热加热器、低压回热加热器、高压回热加热器旁路阀、低压回热加热器旁路阀、主蒸汽管路、补汽旁路阀、给水管路、凝结水管路、凝汽器、凝汽器旁路阀、排汽管路、循环水进水管路及循环水出水管路。本实用新型可以保证高参数二次再热机组在正常运行任何工况下进汽阀门全开而使得进汽节流损失为零，大幅提高高压力汽缸效率到92％以上，同时可满足大功率二次再热机组的调峰速率达5％以上，而且调峰手段相比传统的进汽调节一种方式更加多样灵活化，可以更好节能、高效地效率系统有功的波动，更有利于大机组调峰灵活性及消纳新能源。
一种灵活性二次机组热力系统

[实用新型]一种高中缸无回热抽汽口的超超临界二次再热汽轮机-CN201921296603.5有效
发明人：张超;张振华;杨腾;杜未;杨国强;刘岩;周雅君;胥佳瑞;吴韬;夏洪刚;王开晶;郜玉森;任庆朋;刘帅;王明刚;张凯;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： F01K7/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高中缸无回热抽汽口的超超临界二次再热汽轮机，包括超高压缸、高压缸、中压缸、低压缸、主蒸汽管路、一次再热器、二次再热器、中低缸联通管、低压缸排汽管路、抽汽背压小机、高压加热器回热抽汽管路、低压加热器回热抽汽管路。本实用新型利用抽汽背压小机做部分功后的中间抽汽用于接带高压加热器，可以大幅降低高参数二次再热机组回热抽汽的过热度，减少回热温差大的不可逆换热损失；高压缸、中压缸不接带任何回热抽汽加热器，可以提高高压缸、中压缸的通流设计效率，从而确保整套机组的循环热效率的提高，相比传统设计，可降低热耗率50千焦/千瓦时，同时可提高高压缸、中压缸效率约1-2％。
一种高中缸无回热抽汽口临界二次汽轮机

[发明专利]一种抽汽背压式给水泵汽轮机背压调节系统及方法-CN201911076782.6在审
发明人：张振华;刘岩;周雅君;杜未;李燕平;杨晋;杨腾;夏洪刚;王开晶;郜玉森;任庆鹏;刘帅;王明刚;张凯;张超;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;彭良;张莉;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： F01K13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种抽汽背压式给水泵汽轮机背压调节系统及方法，该系统包括给水泵小汽轮机、驱动蒸汽管路、回热抽汽管路、回热抽汽管路调节阀、汇合集管、抽汽补汽管路调节阀、排放管路调节阀、背压控制器；驱动蒸汽管路与小汽轮机连接；小汽轮机的中间抽汽通过回热抽汽管路进入回热加热器；小汽轮机排气进入汇合集管；小汽轮机排气通过回热抽汽管路调节阀进入回热加热器；来自主汽轮机抽汽通过调节阀进入汇合集管中；汇合集管通过调节阀连接凝汽器；来自主汽轮机抽汽通过调节阀与回热抽汽管路调节阀连接，并进入回热加热器。本发明可以确保小汽轮机启停和正常运行的背压稳定控制，在保证小汽轮机正常驱动给水泵的同时进行有效抽汽回热给水加热器。
一种抽汽背压式水泵汽轮机调节系统方法

[发明专利]带功率平衡发电机的抽汽背压式小汽轮机控制调节系统及方法-CN201911076777.5在审
发明人：张振华;刘岩;周雅君;杜未;杨国强;赵文波;杨腾;夏洪刚;王开晶;郜玉森;任庆鹏;刘帅;王明刚;张凯;张超;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;彭良;张莉;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研院
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： F01K13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种带功率平衡发电机的抽汽背压式小汽轮机控制调节系统及方法，该系统给水泵小汽轮机一端与功率平衡小发电机连接并同轴驱动；给水泵小汽轮机另一端与给水泵调速装置的输入端连接，给水泵调速装置的输出端与给水泵的输入端连接；给水泵小汽轮机的驱动蒸汽经过小汽轮机进汽调节阀进入给水泵小汽轮机的调节端；给水泵小汽轮机的中间抽汽经过回热抽汽调节阀供往回热加热器；给水泵小汽轮机的排汽通过排汽调节阀进行控制；转速控制模块与小汽轮机进汽调节阀连接及给水泵调速装置连接。本发明可以实现小汽轮机正常运行时入口进汽调阀全开运行，进而减少进汽节流损失，并提高小汽轮机的效率4‑5％左右，实现节能降耗的目的。
功率平衡发电机抽汽背压式小汽轮机控制调节系统方法

[发明专利]一种抽汽背压式给水泵汽轮机组系统及运行方法-CN201911076785.X在审
发明人：张振华;周雅君;刘岩;杜未;杨国强;赵文波;杨腾;夏洪刚;王开晶;郜玉森;任庆鹏;刘帅;王明刚;张凯;张超;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： F01K13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种抽汽背压式给水泵汽轮机组系统及运行方法，该系统包括给水泵小汽轮机、给水泵、功率平衡小发电机、给水泵调速装置、第一加热器、第二加热器、第三加热器、驱动蒸汽管路、排放管路、抽汽补汽管路、给水管路；给水泵、给水泵调速装置、给水泵小汽轮机、功率平衡小发电机同轴连接；给水泵小汽轮机通过抽气管路与第一加热器连接；给水泵小汽轮机通过排气管路与第二加热器及第三加热器连接；给水泵小汽轮机与驱动蒸汽管路连接；给水泵小汽轮机与所述排放管路连接；抽汽补汽管路与第三加热器连接；给水管路与第一加热器、第二加热器、第三加热器的水侧相连通。本发明能够确保整套系统的功率平衡，提高给水泵小汽轮机效率，并提高整套系统的效率，节约煤耗。
一种抽汽背压式水泵汽轮机组系统运行方法

[发明专利]一种带高效液力调速装置的抽汽背压式给水泵小汽轮机系统-CN201910731094.2在审
发明人：张超;张振华;张凯;刘岩;周雅君;杜未;杨国强;杨腾;夏洪刚;王开晶;郜玉森;任庆朋;刘帅;王明刚;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研究院
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： F01D15/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种带高效液力调速装置的抽汽背压式给水泵小汽轮机系统，包括抽汽背压式给水泵小汽轮机、高效液力调速装置、给水泵、功率平衡小发电机及主汽轮机；小汽轮机一端输出轴与高效液力调速装置相连接，另一端输出轴与功率平衡小发电机的输入轴相连接；高效液力调速装置与给水泵相连接，主汽轮机通过中间抽汽管道与小汽轮机进汽管相连接。本发明能够保证小汽轮机进汽调节阀保持全开运行以减少节流损失，可提高小汽轮机的设计效率4‑5％。此外，由于液力调速装置采用了液力耦合器、液力变矩器和行星齿轮的内部结构，相比传统纯液力耦合器传动调速，可大幅提高调速装置效率4％，调速范围可达10‑100％，同时整体传动变速可靠性较高。
调速装置小汽轮机高效液给水泵调速功率平衡小发电机主汽轮机背压式输出轴抽汽小汽轮机系统液力调速装置进汽调节阀液力变矩器液力耦合器变速抽汽管道节流损失设计效率行星齿轮整体传动进汽管力耦合输入轴传动纯液全开保证

[发明专利]一种高灵活性二次再热机组调峰热力系统及方法-CN201910731087.2在审
发明人：张超;张振华;王开晶;刘岩;杨国强;杜未;周雅君;赵文波;李燕平;杨晋;张飞飞;孔令国;梁文龙;杨腾;夏洪刚;郜玉森;任庆朋;刘帅;王明刚;张凯;孙德创;戴立洪;白公宝;张志刚;王振彪;高智溥 -专利权人：大唐郓城发电有限公司;中国大唐集团科学技术研究院有限公司火力发电技术研院
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： F01D17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高灵活性二次再热机组调峰热力系统及方法，该系统包括高压力汽缸、低压力汽缸、高压回热加热器、低压回热加热器、高压回热加热器旁路阀、低压回热加热器旁路阀、主蒸汽管路、补汽旁路阀、给水管路、凝结水管路、凝汽器、凝汽器旁路阀、排汽管路、循环水进水管路及循环水出水管路。本发明可以保证高参数二次再热机组在正常运行任何工况下进汽阀门全开而使得进汽节流损失为零，大幅提高高压力汽缸效率到92％以上，同时可满足大功率二次再热机组的调峰速率达5％以上，而且调峰手段相比传统的进汽调节一种方式更加多样灵活化，可以更好节能、高效地效率系统有功的波动，更有利于大机组调峰灵活性及消纳新能源。
旁路阀调峰再热低压回热加热器高压回热加热器汽缸高压力凝汽器循环水出水管路循环水进水管路凝结水管路主蒸汽管路机组高灵活性给水管路机组调峰节流损失进汽调节进汽阀门排汽管路汽缸效率热力系统效率系统传统的大机组低压力高参数补汽进汽全开新能源有功节能灵活保证

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