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[实用新型]一种用于真空镀膜机的新型自公转机构-CN202223065348.8有效
发明人：黄子建;何武林;薛海 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于提供一种用于真空镀膜机的新型自公转机构，解决传统的自公转机构无法满足每一个工件在镀膜过程中均能实现自转的问题。其包括挂筒组件、固定组件、转动组件和工件夹具，所述挂筒组件包括限位支架、挂筒、轴承座、支撑环、轴承，所述固定组件包括固定环、固定支架和连接螺杆，所述转动组件包括转动环、转动支架和支撑螺杆，所述工件夹具的一端安装于转动环的夹具放置沟槽内，所述工件夹具的另一端设置于固定环的夹具支撑圆圈上。本实用新型适用于一种用于真空镀膜机的新型自公转机构。
一种用于真空镀膜新型公转机构

[实用新型]一种用于真空镀膜机的新型供水装置-CN202222916667.9有效
发明人：薛照明;李围红;杨毅 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的新型供水装置，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于提供一种用于真空镀膜机的新型供水装置，解决现有真空镀膜机采用一根水排集中供水，易导致用水量较小的部件无法得到充分冷却，继而造成产品质量降低的问题。其包括总供水机构、冰水机，所述总供水机构的出水端通过第一球阀连通有第一进水管，所述第一进水管通过第二球阀连通有第二进水管，所述第二进水管通过第三球阀与冰水机的出水端连通，所述总供水机构的进水端通过第四球阀连通有第一排水管，所述第一排水管通过第五球阀连通有第二排水管，所述第二排水管通过第六球阀与冰水机的进水端连通。本实用新型适用于一种用于真空镀膜机的新型供水装置。
一种用于真空镀膜新型供水装置

[发明专利]一种同步调节电子枪高压和磁场强度的系统-CN202211347571.3在审
发明人：薛照明;李围红;杨毅 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种同步调节电子枪高压和磁场强度的系统，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决现有真空蒸镀设备中同一坩埚放置超过两种熔点差较大材料时，由于蒸发材料的轰击电压不能随意调整而难以控制某些材料的均匀蒸发，使得材料表面易出现凹凸不平的现象，导致备制薄膜不良率高的问题。其包括电磁偏转电子枪，电磁偏转电子枪前部安装有坩埚，电磁偏转电子枪体上靠近坩埚下方安装有电磁线圈，高压电源与电磁偏转电子枪的阴极电连接，可控恒流源与电磁线圈电连接，可控恒流源和高压电源与控制计算机及电信号连接，控制计算机和高压电源与可编程控制器电信号连接。本发明适用于一种同步调节电子枪高压和磁场强度的系统。
一种同步调节电子枪高压磁场强度系统

[实用新型]一种同步调节电子枪高压和磁场强度的系统-CN202222880445.6有效
发明人：薛照明;李围红;杨毅 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种同步调节电子枪高压和磁场强度的系统，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决现有真空蒸镀设备中同一坩埚放置超过两种熔点差较大材料时，由于蒸发材料的轰击电压不能随意调整而难以控制某些材料的均匀蒸发，使得材料表面易出现凹凸不平的现象，导致备制薄膜不良率高的问题。其包括电磁偏转电子枪，电磁偏转电子枪前部安装有坩埚，电磁偏转电子枪体上靠近坩埚下方安装有电磁线圈，高压电源与电磁偏转电子枪的阴极电连接，可控恒流源与电磁线圈电连接，可控恒流源和高压电源与控制计算机及电信号连接，控制计算机和高压电源与可编程控制器电信号连接。本实用新型适用于一种同步调节电子枪高压和磁场强度的系统。
一种同步调节电子枪高压磁场强度系统

[实用新型]一种长度可调的多位晶振片涂层厚度检测装置-CN202121599980.3有效
发明人：薛照明;黄子建;薛海 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01B17/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种长度可调的多位晶振片涂层厚度检测装置，属于真空镀膜技术领域，目的在于解决现有多位涂层厚度检测装置长度不可调而带来的制作调试产品工艺时的问题。其包括防污外筒，所述防污外筒内套设有内筒，所述内筒顶端连接有密封法兰，所述密封法兰上安装有分度头，分度头顶端安装有分度头角度检测盒，所述密封法兰上还安装有BNC转射频插座和分度头角度调节板，所述内筒底部安装有频率取样组件，所述内筒底部位于频率取样组件旁还安装有直冷式水冷座，所述内筒内位于直冷式水冷座上方还设置有伸缩式支架组件。本实用新型适用于多位晶振片涂层厚度检测装置。
一种长度可调多位晶振片涂层厚度检测装置

[实用新型]一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸-CN202221009642.4有效
发明人：黄子建;薛照明 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决传统的阻蒸结构可放置膜料种类较少；但现有的旋转阻蒸结构较为复杂，成本比较高，当用在小型机台上或做小型实验时存在不适用的问题。其包括蒸发组件、转动密封组件、公共极电刷组件、导通极电刷组件和基础法兰，基础法兰安装在真空箱体的下部，转动密封组件穿过基础法兰进入到真空箱体内，蒸发组件安装在转动密封组件上，公共极电刷组件和导通极电刷组件安装于基础法兰上，公共极电刷组件的公共极电刷与蒸发组件的公共盘接触，导通极电刷组件的导通极电刷与蒸发组件的公共盘上的导通极铜柱接触。本实用新型适用于真空镀膜机的小功率旋转阻蒸。
一种用于真空镀膜功率旋转

[实用新型]一种用于真空镀膜机的快速制冷及回温装置-CN202220570668.X有效
发明人：黄子建;薛照明;薛海 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： F25D31/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的快速制冷及回温装置，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于提供一种用于真空镀膜机的快速制冷及回温装置，解决传统的深冷盘管方式需要等待设备整体真空度到达才能启动制冷，深冷盘管回温完成才能开箱取件的情况，造成生产效率低的问题。其包括钟罩组件、延长接管、深冷盘组件、抽空管道组件。本实用新型适用于真空镀膜机的快速制冷及回温装置。
一种用于真空镀膜快速制冷装置

[实用新型]一种低污染的空心阴极霍尔离子源子源-CN202221215085.1有效
发明人：薛照明;黄子建;薛海 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01J27/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低污染的空心阴极霍尔离子源子源，属于真空镀辅助镀膜技术领域，目的在于提供一种低污染的空心阴极霍尔离子源子源，解决现有设备造成样品成膜品质差的问题。其位于反射板下端面采用高导热金属的气体分配器，与同样采用高导系热系数金属材料制作的冷水板直接接触，且反射板、气体分配器与冷水板直接组合在一起并在电位上呈中性状态，即使离子源长期工作在1KW功率下几乎未出现反射板的溅射现象，有效避免了离子源材料溅射对成膜质量的影响，极大的拓宽了空心阴极霍尔源的使用范围。本实用新型适用于一种低污染的空心阴极霍尔离子源子源。
一种污染空心阴极霍尔离子源

[发明专利]一种用于离子源的空心阴极辅助启动电路-CN202210563444.0在审
发明人：薛照明;黄子建;薛海 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01J27/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于离子源的空心阴极辅助启动电路，属于供电技术领域，目的在于解决现有技术引弧效率低，造成钽管损耗严重的问题。其包括维持电源、扼流圈L、二极管D、功率电阻R、阴极组件；所述阴极组件包括外筒，外筒内设置有钽管，所述钽管内设置有氩气，所述外筒内位于钽管的开口端设置有引弧片；扼流圈L的1脚与维持电源的正极串接，扼流圈L的2脚与外筒串接，维持电源的负极与钽管串联；二极管D的负极与扼流圈L的1脚连接，二极管D的负极与维持电源的正极连接，二极管D的正极与功率电阻R一端连接，功率电阻R的另一端与扼流圈L的2脚连接。本发明适用于离子源的空心阴极辅助启动电路。
一种用于离子源空心阴极辅助启动电路

[实用新型]一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构-CN202122607772.X有效
发明人：薛照明;薛海;杨毅 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决现有设备难以精确调节电子束位置及位置漂移的问题。其包括电子枪主体和电子枪枪头组件，电子枪主体包括电子枪底座，电子枪底座上设有主极靴，电子枪底座上设有电磁铁组件，电磁铁组件包括铁芯，铁芯上绕设有通电线圈，铁芯上设有过线槽孔，通电线圈的引出线过线穿过过线槽孔，铁芯两端开设有固定螺孔，还设有固定螺钉，固定螺钉穿过主极靴与固定螺孔螺纹连接，引出线依次穿过主极靴孔和引出线锁紧螺母并通过柔性波纹管和电气接插件引出到真空室外与精密恒流源电连接，主极靴上安装有电磁铁防护罩。本实用新型适用于真空镀膜机电子枪。
一种用于真空镀膜机电电磁铁偏转结构

[实用新型]一种用于真空镀膜机的观察窗结构-CN202121675396.1有效
发明人：黄子建;薛海 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2021-07-22 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的观察窗结构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决传统的观察窗仅能通过偏光膜或者黑玻璃观察，当光线较弱时，很难看清真空腔内的情况的问题。其包括压紧法兰、翻转法兰、旋转法兰和观察窗把手，压紧法兰安装在真空室外壁，翻转法兰通过销轴与压紧法兰连接，旋转法兰通过氟塑料销钉安装在翻转法兰上，并能相对转动。压紧法兰与真空腔体间设有铅玻璃、O型圈及氟塑料垫圈，翻转法兰上固定有第一高硼玻璃，用于贴偏光膜。旋转法兰上固定有第二高硼玻璃，同样用于贴偏光膜。本实用新型适用于真空镀膜机的观察窗。
一种用于真空镀膜观察窗结构

[发明专利]一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构-CN202111261589.7在审
发明人：薛照明;薛海;杨毅 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决现有设备难以精确调节电子束位置及位置漂移的问题。其包括电子枪主体和电子枪枪头组件，电子枪主体包括电子枪底座，电子枪底座上设有主极靴，电子枪底座上设有电磁铁组件，电磁铁组件包括铁芯，铁芯上绕设有通电线圈，铁芯上设有过线槽孔，通电线圈的引出线过线穿过过线槽孔，铁芯两端开设有固定螺孔，还设有固定螺钉，固定螺钉穿过主极靴与固定螺孔螺纹连接，引出线依次穿过主极靴孔和引出线锁紧螺母并通过柔性波纹管和电气接插件引出到真空室外与精密恒流源电连接，主极靴上安装有电磁铁防护罩。本发明适用于真空镀膜机电子枪。
一种用于真空镀膜机电电磁铁偏转结构

[发明专利]一种长度可调的多位晶振片涂层厚度检测装置-CN202110796929.X在审
发明人：薛照明;黄子建;薛海 -专利权人： 成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G01B17/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种长度可调的多位晶振片涂层厚度检测装置，属于真空镀膜技术领域，目的在于解决现有多位涂层厚度检测装置长度不可调而带来的制作调试产品工艺时的问题。其包括防污外筒，所述防污外筒内套设有内筒，所述内筒顶端连接有密封法兰，所述密封法兰上安装有分度头，分度头顶端安装有分度头角度检测盒，所述密封法兰上还安装有BNC转射频插座和分度头角度调节板，所述内筒底部安装有频率取样组件，所述内筒底部位于频率取样组件旁还安装有直冷式水冷座，所述内筒内位于直冷式水冷座上方还设置有伸缩式支架组件。本发明适用于多位晶振片涂层厚度检测装置。
一种长度可调多位晶振片涂层厚度检测装置

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