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- [发明专利]生产平板太阳能吸热镀膜板的方法及装置-CN201010137316.7有效
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甘国工;惠述伟;徐胜洋
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甘国工
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2010-03-31
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2011-10-05
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C23C14/35
- 本发明提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的方法,采用长度方向大于600毫米、宽度方向大于300毫米的大面积单张金属片作为基片,在水平布置的卧式镀膜装置上由减速机经过齿型带或链条拖动的转动辊轴系统来传送基片,随着镀膜装置真空阀门的启闭,基片分批进入卧式镀膜装置,在连续镀膜室中,基片经过按照膜系配置的多个溅射模块,基片从靶位下经过时依次沉积太阳能吸热功能膜中的红外光反射层/吸热功能层/减反射层等膜层。本发明还提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的装置,装置由前真空锁定室、前保持室、连续镀膜室、后保持室和后锁定室组成。本发明生产的吸热镀膜板具有吸收率高、发射率低的优点。本发明生产效率高,成本低。
- 生产平板太阳能吸热镀膜方法装置
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