专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种真空镀膜设备中Zn杂质元素的去除方法-CN201510341375.9有效
  • 马姣民;惠述伟 - 广东汉能薄膜太阳能有限公司
  • 2015-06-19 - 2017-07-11 - C23C16/452
  • 本发明公开了一种真空镀膜设备中Zn杂质元素的去除方法,在沉积非微晶硅薄膜电池后再向反应腔中通入氧源气体、氢源气体和碳源气体,第一步向反应腔通入氢源气体和氧源气体,使氢源气体、氧源气体与Zn元素反应生成Zn的化合物,控制反应持续50~200秒之间,停止辉光放电,将残余气体抽出真空腔;第二步向反应腔通入碳源气体,使碳源气体与Zn元素反应生成Zn的化合物,控制气压在0.5~2mbar,反应持续50~200秒之间,停止辉光放电,将残余气体抽出真空腔;所述第一步和第二步交替进行。本发明的真空镀膜设备中Zn杂质元素的去除方法具有Zn杂质元素去除效果好、操作方便、成本低廉和生产效率高的特点。
  • 一种真空镀膜设备zn杂质元素去除方法
  • [发明专利]生产平板太阳能吸热镀膜板的方法及装置-CN201010137316.7有效
  • 甘国工;惠述伟;徐胜洋 - 甘国工
  • 2010-03-31 - 2011-10-05 - C23C14/35
  • 本发明提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的方法,采用长度方向大于600毫米、宽度方向大于300毫米的大面积单张金属片作为基片,在水平布置的卧式镀膜装置上由减速机经过齿型带或链条拖动的转动辊轴系统来传送基片,随着镀膜装置真空阀门的启闭,基片分批进入卧式镀膜装置,在连续镀膜室中,基片经过按照膜系配置的多个溅射模块,基片从靶位下经过时依次沉积太阳能吸热功能膜中的红外光反射层/吸热功能层/减反射层等膜层。本发明还提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的装置,装置由前真空锁定室、前保持室、连续镀膜室、后保持室和后锁定室组成。本发明生产的吸热镀膜板具有吸收率高、发射率低的优点。本发明生产效率高,成本低。
  • 生产平板太阳能吸热镀膜方法装置

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