专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]热像仪温箱自动化温度标定装置-CN202223022321.0有效
  • 李猛飞;彭毅;徐剑楠;刘晓东;梁允 - 洛阳热感科技有限公司
  • 2022-11-11 - 2023-03-21 - G01J5/53
  • 本实用新型公开了一种热像仪温箱自动化温度标定装置,包括测试箱,测试箱中设有用于安装热像仪的移动部件,测试箱上开设有测试窗口,测试箱的外部设有用于安装黑体的转台部件,测试箱与黑体之间相对转动,热像仪能够随移动部件在测试箱内移动,黑体经转台部件进行转动且从测试窗口处正对热像仪。转台部件上能够安装多个黑体,测试箱内的移动部件上能够放置多个热像仪,同时测试箱能够设置多个,实现多工位同时进行标定。与现有技术相比,本实用新型所公开的热像仪温箱自动化温度标定装置能够提高对热像仪进行标定的效率。
  • 热像仪温箱自动化温度标定装置
  • [外观设计]检测仪-CN202130669688.3有效
  • 徐剑楠;李猛飞;牛家乾 - 洛阳热感科技有限公司
  • 2021-10-12 - 2022-02-18 - 10-05
  • 1.本外观设计产品的名称:检测仪。2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品用于检测输气管路及设备所用气体是否泄漏,并实时定位泄漏区域。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。
  • 检测
  • [发明专利]半导体清洗设备及其承载装置-CN202011267613.3在审
  • 宋爱军;赵宏宇;许璐;徐剑楠 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2020-11-13 - 2021-03-09 - H01L21/683
  • 本申请实施例提供了一种半导体清洗设备及其承载装置。该承载装置包括:卡盘组件包括卡盘及转接件,转接件设置于卡盘的底部,并且与卡盘同心设置,卡盘用于承载晶圆;承载组件包括承载件及伸缩结构,承载件的容置腔用于容置转接件并且与转接件旋转定位,驱动器通过驱动承载组件旋转以带动卡盘转动;多个伸缩结构均设置于承载件内,并且沿容置腔周向分布,伸缩结构的轴线与容置腔的径向平行设置,伸缩结构的端部能伸入容置腔内顶抵转接件的周壁,用于将转接件卡合固定于容置腔内;控制组件设置于驱动器上,控制组件选择性与承载组件连接,用于控制伸缩结构收缩以释放转接件。本申请实施例实现了卡盘快速拆装,从而大幅缩短了卡盘的维护时间。
  • 半导体清洗设备及其承载装置
  • [发明专利]晶圆清洗设备-CN202011012114.X在审
  • 徐剑楠;赵宏宇;许璐;宋爱军 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2020-09-23 - 2021-01-08 - H01L21/67
  • 本发明公开一种晶圆清洗设备,包括:包括工艺腔室、多个喷淋机构,其中,工艺腔室包括:沿环形顶盖的周向分布有多个清洗区域;多个清洗介质回收槽由上至下设置于腔体内,并与腔体同轴,用于回收不同的清洗介质;卡盘设置在驱动机构上,驱动机构用于驱动卡盘旋转,驱动卡盘移动至与当前清洗介质对应的清洗介质回收槽处,从而回收旋转甩出的清洗介质;多个喷淋机构与多个清洗区域一一对应,每个喷淋机构用于喷淋一种清洗介质;晶圆清洗工艺过程中,卡盘将晶片升降至对应位置的清洗介质回收槽处,喷淋对应的清洗介质,以便将不同清洗介质分层回收排出,避免工艺过程中飞溅液体附着在腔体内壁而滴落在晶圆表面,保证晶圆清洗工艺。
  • 清洗设备
  • [发明专利]晶圆清洗设备中的卡盘装置及晶圆清洗设备-CN202010695471.4在审
  • 许璐;赵宏宇;王锐廷;徐剑楠 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2020-07-17 - 2020-11-03 - H01L21/687
  • 本申请公开一种晶圆清洗设备中的卡盘装置及晶圆清洗设备,所公开的卡盘装置中:多个夹持件形成夹持空间,待夹持件可夹持于夹持空间,多个夹持件均与传动件驱动相连;弹性件与传动件相连,弹性件可驱动传动件转动,传动件在第一转动方向上转动的情况下可驱动多个夹持件夹持待夹持件;驱动机构可驱动卡盘装置在第一夹持状态和第二夹持状态之间进行切换,在卡盘装置处于第一夹持状态的情况下,弹性件以第一驱动力驱动传动件在第一转动方向上转动;在卡盘装置处于第二夹持状态的情况下,弹性件以第二驱动力驱动传动件在第一转动方向上转动;其中,第二驱动力大于第一驱动力。上述方案能够解决卡盘装置的通用性较差的问题。
  • 清洗设备中的卡盘装置

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