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[发明专利]一种圆偏光光弹性应力测量系统及测量方法-CN202111447879.0有效
发明人：刘诚;高夏立;邢童璐;张源哲;陆雨洁 -专利权人：江南大学
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种圆偏光光弹性应力测量系统及测量方法，属于光弹性测量的技术领域。所述圆偏光光弹性应力测量系统包括双波长光源，起偏器，消色差四分之一波片，检偏器，成像透镜，光电探测器。本发明公开的圆偏光光弹性应力测量仪结构简单，使用方便，测量速度快；仪器所采用的各个结构工艺成熟，加工成本低，可实现大尺寸加工，对样品尺寸没有限制，测量范围更广；本发明公开的圆偏光光弹性应力测量方法，采用双波长光源照明，通过记录不同光源下应力条纹的分布及其微小差异,避免了难以区分等色线和等差线,以及反三角函数计算过程中难以确定条纹级次的问题,最终可以得到精确的应力大小。
一种偏光弹性应力测量系统测量方法

[发明专利]一种基于三波长照明光源的光弹性应力测量系统与方法-CN202110410966.2有效
发明人：陆雨洁;刘诚;张源哲;邢童璐;高夏立 -专利权人：江南大学
申请日： 2021-04-16 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于三波长照明光源的光弹性应力测量系统与方法，属于光弹性测量的技术领域。所述光弹性应力测量系统包括图像获取模块，用于分别获取波长λ1、波长λ2和波长λ3光源照明下消除背景光的条纹强度分布；主应力差计算模块，用于采集图像获取模块获得的图像条纹信息并求解待测样品的主应力差；主应力方向计算模块，用于采集图像获取模块获得的图像条纹信息并求解待测样品主应力方向。本发明使用方便，测量速度快；极大减小了高级次条纹处理时的误差，拓展了光弹性应力测量的范围；能够对含有误差的曲线段进行处理，准确测得样品的主应力方向和主应力差大小，显著消除了双波长测量方法产生的误差，具有测量精度高的优势。
一种基于波长照明光源弹性应力测量系统方法

[发明专利]存储器器件-CN201710429963.7有效
发明人：孙荣晥;张源哲;殷东锡;张在薰 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2017-06-08 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01L27/11551 文献下载
摘要：公开了一种存储器器件。该存储器器件包括：栅极结构，包括在衬底的上表面上堆叠的多个栅电极层；多个垂直孔，沿与所述衬底的上表面垂直的方向延伸以穿过所述栅极结构；以及分别在所述多个垂直孔中的多个垂直结构，所述多个垂直结构中的每一个垂直结构包括嵌入式绝缘层以及多个彼此分离的沟道层，所述多个沟道层位于所述嵌入式绝缘层的外部。
存储器器件

[发明专利]一种双频定量光弹性测量仪及测量方法-CN202110219019.5有效
发明人：刘诚;高夏立;邢童璐;张源哲;陆雨洁;张丽娟;袁小聪 -专利权人：江南大学
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种双频定量光弹性测量仪及测量方法，属于光弹性测量的技术领域。所述双频定量光弹性测量仪包括双波长面光源13，在所述双波长面光源13出射光线的传播路径上依次设有起偏器2、检偏器8、成像透镜6和光电探测器9。本发明公开的双频定量光弹性测量仪结构简单，使用方便，测量速度快；在光源前设置机械移动装置，拖动光源进行移动，对于超出测量范围的大型待测样片，可采用分时域扫描，对大型样品分步测量，可以实现对大口径的样品进行测量，对样品尺寸没有限制，测量范围更广；本发明公开的双频定量光弹性测量方法能准确测得样品的应力大小和方向，具有测量精度高的优势。
一种双频定量弹性测量仪测量方法

[发明专利]一种液晶光弹性应力测量仪及测量方法-CN202110219338.6有效
发明人：刘诚;陆雨洁;张源哲;高夏立;邢童璐;张丽娟;袁小聪 -专利权人：江南大学
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种液晶光弹性应力测量仪及测量方法，属于光弹性测量的技术领域。所述液晶光弹性应力测量仪包括双波长LED面光源，所述双波长LED面光源先后发出波长为λ1和波长为λ2两种频率的光；在所述双波长LED面光源出射光线的传播路径上依次设有第一偏振片、TN型液晶面板、第一四分之一波片、第二偏振片和光电探测器。本发明公开的液晶光弹性应力测量仪利用对光电液晶旋光特性的控制替代传统光弹测量技术中的偏振片及机械旋转构件，可实现电脑端数字化调控，方便可靠，且仪器结构简化，体积轻便，易于集成；在不显著增加仪器重量的条件下，可对大口径样品进行测量，对待测样品尺寸没有限制，实现光弹性测量仪器的可便携化。
一种液晶弹性应力测量仪测量方法

[发明专利]半导体器件及其制造方法-CN201710811782.0有效
发明人：朴钟国;金泓秀;张源哲 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2014-08-27 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： H01L27/105 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体器件及其制造方法。半导体器件包括具有由器件隔离层限定的有源区的基板。栅电极沿第一方向在有源区之上延伸，多个互连沿垂直于第一方向的第二方向在字线之上延伸。接触垫设置在栅电极和多个互连之间并与栅电极和多个互连间隔开，当从平面图看时，该接触垫在第一方向上延伸以交叠多个互连和有源区。下接触插塞将接触垫电连接到有源区。上接触插塞将接触垫电连接到多个互连之一。
半导体器件及其制造方法

[发明专利]包括不同类型的存储单元的半导体器件-CN201811541111.8在审
发明人：田昌勋;申有哲;林浚熙;白圣权;李赞镐;张源哲;黄善劲 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2018-12-17 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： H01L27/105 文献下载
摘要：一种半导体器件包括具有易失性存储区和非易失性存储区的基板。易失性存储区包括设置在基板中的单元电容器和连接到单元电容器的单元晶体管。非易失性存储区包括设置在基板上的多个非易失性存储单元。易失性存储区和非易失性存储区被并排设置。
非易失性存储区易失性存储基板半导体器件单元电容器非易失性存储单元单元晶体管并排设置存储单元

[发明专利]半导体器件及其制造方法-CN201410428686.4有效
发明人：朴钟国;金泓秀;张源哲 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2014-08-27 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： H01L27/11521 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体器件及其制造方法。半导体器件包括具有由器件隔离层限定的有源区的基板。栅电极沿第一方向在有源区之上延伸，多个互连沿垂直于第一方向的第二方向在字线之上延伸。接触垫设置在栅电极和多个互连之间并与栅电极和多个互连间隔开，当从平面图看时，该接触垫在第一方向上延伸以交叠多个互连和有源区。下接触插塞将接触垫电连接到有源区。上接触插塞将接触垫电连接到多个互连之一。
半导体器件及其制造方法

[发明专利]利用硫化处理铁氧化物的除汞用吸附剂及其制造方法-CN200710091000.7无效
发明人：李到禧;裵旼殊;贾明镇;李镇九;张源哲;金斗晟 -专利权人：高化环保技术有限公司;东洋综合建设株式会社
申请日： 2007-03-30 - 公布日： 2008-10-01 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种除汞用吸附剂，该除汞用吸附剂包括用硫化处理气体进行硫化处理过的铁氧化物，该硫化处理气体当以硫化处理气体的总体积为基准时，由0.001～2体积％的硫化合物、1～50体积％的氧气以及48.0～98.999体积％的载体气体构成。根据本发明，能够提供通过对铁氧化物进行硫化处理而累积硫后，用于去除气相汞的吸附剂。
利用硫化处理氧化物吸附剂及其制造方法

[发明专利]半导体制造工序中产生的废气的处理装置及处理方法-CN200610007988.X有效
发明人：李到禧;洪雄基;李镇九;张源哲;金斗晟 -专利权人：高化环保技术有限公司
申请日： 2006-03-02 - 公布日： 2007-08-01 - 主分类号： B01D53/75 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体制造工序中产生的废气的处理装置，该装置包括：流入废气的废气流入口；连接设置在上述废气流入口并提供空气的空气注入口；连接设置在上述废气流入口并具有吸附处理由流入口流入的废气的吸附层的吸附反应部；连接设置在上述吸附反应部并具有由吸附反应部排出的废气流入并对此进行催化处理的催化剂层的催化反应部；及连接设置在流入到上述催化反应部的废气的流动路径中并提供水的水注入口。根据本发明，可以在800℃以下去除从半导体制造工序或LCD制造工序中产生的废气中所包含的难分解性过氟化物，可以根据催化剂的填充量处理含有大量以及/或者高浓度的过氟化物的废气。
半导体制造工序产生废气处理装置方法

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