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[发明专利]一种去除刻蚀后基片表面光刻胶的方法及实施装置-CN201710020499.6有效
发明人：梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;缪龙;冯新凯;邹小林 -专利权人：福建中科晶创光电科技有限公司
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种去除刻蚀后基片表面光刻胶的方法及实施装置，该方法包括以下依序进行的步骤：步骤一：采用等离子灰化工艺去除刻蚀后基片表面上残余的光刻胶；步骤二：使用清洁胶涂覆在步骤一中的灰化后的基片的表面；步骤三：待基片表面的清洁胶风干固化后，将基片表面的清洁胶撕除。该方法及实施装置既能达到清洗的目的，又达到操作简便易行、后续工艺简单的目的。
一种去除刻蚀后基片表面光刻方法实施装置

[实用新型]一种混凝土试模-CN201821650242.5有效
发明人：杨宝;胡毅耕;张新汉 -专利权人：东莞清大同科环保材料有限公司
申请日： 2018-10-11 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及建筑工程技术领域，尤其涉及一种混凝土试模，包括试模本体、位于试模本体底部的且与试模本体内腔连通的通气孔、以及用于封堵通气孔的封堵件，其中：封堵件包括封堵杆以及封帽，封堵杆与封帽固定连接；封堵杆由试模本体的外侧插入、封堵通气孔；封堵杆插入通气孔后，封帽与试模本体外底面贴合。本实用新型的混凝土试模实现了通气孔的有效封堵，封堵件结构简单、购置成本低，且封堵操作简单。
通气孔封堵杆试模封堵件封堵封帽混凝土试模建筑工程技术本实用新型有效封堵体内腔外底面贴合连通混凝土

[实用新型]一种涂胶机-CN201821131501.3有效
发明人：李广伟;张新汉;陈怀熹;古克义;冯新凯;邹小林;梁万国 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2018-07-17 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种涂胶机，所述涂胶机包括盒装座体、涂胶腔体、盖子、涂胶装置、可开启窗口、抽气装置及尾气过滤装置；其中，所述涂胶腔体设置在所述盒状座体内，所述盒状座体上部被所述盖子密封覆盖，所述盒状座体与所述抽气装置的一端相连，所述抽气装置的另一端与所述尾气过滤装置相连。
抽气装置涂胶机尾气过滤装置盒状座体涂胶腔体盖子密封涂胶装置可开启盖子盒装盒状座体体内覆盖申请

[实用新型]用于清洗片体表面的设备-CN201820904837.2有效
发明人：李广伟;张新汉;陈怀熹;古克义;冯新凯;邹小林;梁万国 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2018-06-12 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于清洗片体表面的设备，包括：载片转轴和喷头，喷头向片体喷淋清洗液；载片转轴转动安装于喷头下方；载片转轴表面设置至少一个卡槽，片体卡接于卡槽内并随载片转轴转动。该设备可以用于对片体表面物质的去除。
载片喷头转轴转动清洗片卡槽片体本实用新型片体表面转轴表面清洗液卡接喷淋转轴去除

[发明专利]一种紫外胶光栅的制作方法-CN201710133514.8有效
发明人：梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;缪龙;冯新凯;邹小林 -专利权人：福建中科晶创光电科技有限公司
申请日： 2017-03-08 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种紫外胶光栅的制作方法，包括以下依序进行的步骤：S1：采用全息技术制得玻璃基底的母光栅；S2：在母光栅上镀膜沉积金属膜层，调整镀膜速率为15nm/min，镀膜时间为6min，然后将0.5ml紫外固化胶均匀涂布在镀膜后的母光栅上形成紫外固化胶层，取一片清洁干净的6mm的子光栅基片，盖在紫外固化胶层上，并轻轻按压，将多余的紫外固化胶排出，待紫外固化胶不再排出时，进行紫外固化，调整紫外线光源的功率为1mW，控制固化时间为2小时；S3：将母光栅和子光栅基片进行分离，形成带有金属膜层以及紫外固化胶层的子光栅基片；S4：将分离后的子光栅基片放入离子束刻蚀装置中，调整离子源产生离子束流与刻蚀机载片台之间的角度为85～95°，调整刻蚀速率为15nm/min，刻蚀时间为6min。
一种紫外光栅制作方法

[发明专利]一种采用lift-off原理制作方形光栅的方法-CN201710472796.4有效
发明人：梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;缪龙;冯新凯;邹小林 -专利权人：福建中科晶创光电科技有限公司
申请日： 2017-06-21 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种采用lift‑off原理制作方形光栅的方法，包括以下依序进行的步骤：①对方形基片进行清洁；②真空旋转涂胶，使用真空涂胶机对方形基片进行涂胶，胶液通过旋转离心力均匀分散涂抹在方形基片表面；③热板平移烘干，在真空环境下采用平行基片的热板对完成步骤②的方形基片的胶液进行烘干；④对完成步骤③的基片进行全息曝光和显影；⑤ICP刻蚀，对完成步骤④的基片进行刻蚀；⑥镀膜，使用镀膜夹具夹住方形基片，在镀膜机中对完成步骤⑤的基片进行镀膜；⑦胶合，对完成步骤⑥后的基片进行紫外胶胶合；⑧分离，紫外固化结束后，采用子母光栅分离装置将母光栅和子光栅基片进行分离。
一种采用 lift off 原理制作方形光栅方法

[发明专利]一种基于胶水固化的多代母版光栅制作方法-CN201810739405.5在审
发明人：梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;冯新凯;古克义;邹小林 -专利权人：福建中科晶创光电科技有限公司
申请日： 2018-07-06 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明提供一种基于胶水固化的多代母版光栅制作方法，包括如下步骤：S1：提供一母版光栅和基底；S2：在母版光栅上先镀一反射膜，再涂覆一层胶水；S3：基底置于母版光栅上，先胶合，然后固化；S4：将母版光栅和基底进行分离，使得在基底上形成复制光栅；S5：在复制光栅表面镀一铬层，然后再在铬层上镀一SiO₂层，即形成二代母版光栅；S6：对完成步骤S5得到的二代母版光栅和新的基底，再次经过S1‑S5步骤，即形成三代母版光栅；S7：对完成步骤S6得到的三代母版光栅和新的基底，以此重复，即形成n代母版光栅。本发明只需要准备极少数量的母版光栅，即可得到大量的多代母版光栅；且工艺简单，操作方便。
光栅母版基底多代光栅制作胶水固化铬层复制胶合光栅表面胶水反射膜涂覆固化重复

[发明专利]一种紫外固化热固化一体系统-CN201610262639.6有效
发明人：梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;陈立元;缪龙;冯新凯;邹小林 -专利权人：福建中科晶创光电科技有限公司
申请日： 2016-04-26 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： B05D3/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种紫外固化热固化一体系统，属于固化机械领域,包括依次设置的第一传送带、紫外固化装置、第二传送带、热固化装置和第三传送带；该紫外固化热固化一体系统自动化程度高，无需手动转运，固化效果好，有效改善工作环境，保障工人健康。
一种紫外固化一体系统

[发明专利]一种复制光栅胶合固化一体系统-CN201810436991.6在审
发明人：梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;缪龙;冯新凯;邹小林 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2018-05-09 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： F16B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种复制光栅胶合固化一体系统，具有提高工作效率、批量操作的优势，其技术方案要点是包括用于对镀金后的母光栅进行点胶的点胶工作台、用于将复制基坯正对覆盖在母光栅上的上料机械手、对复制基坯进行位置校正的校正工作台、以及用以传输母光栅的传输装置，校正工作台上设置有安装座和真空泵装置，真空泵装置用于将所述母光栅固定于安装座上；校正工作台上设置一对夹板，一对所述夹板与所述复制基坯的两侧相平行，用于夹住所述复制基坯。
复制母光栅基坯校正胶合真空泵装置光栅夹板一体系统安装座工作台点胶固化技术方案要点上料机械手传输装置工作效率批量操作位置校正正对镀金平行传输覆盖

[发明专利]一种百级洁净紫外固化箱-CN201810436494.6在审
发明人：梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;缪龙;冯新凯;邹小林 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2018-05-09 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： B29C35/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种百级洁净紫外固化箱，包括具有一固化腔室的箱体，和安装于箱体前侧的箱门；箱体内安装有空气粒子检测仪和紫外固化一体系统；紫外固化一体系统包括控制器，及电连接于控制器的送风机构、紫外线发生装置、紫外光强度探测仪、产品电动旋转台和温度探测仪。本发明的优点是：1、利用风机和温度探测仪，使得固化腔室的温度能够得到较好地控制；2外来的空气经过滤网过滤，能够达到去除空气中颗粒杂质的目的，且能够实时监测箱体内气体颗粒物浓度；3、固化效果良好，利用产品电动旋转台承载固化产品，使得固化更均匀；4、利用紫外光强度探测仪来检测紫外光强度，从而据此调节紫外灯管的功率，实现节能、准确地目的。
紫外光电动旋转台温度探测仪紫外固化箱固化腔室一体系统紫外固化控制器探测仪固化紫外线发生装置洁净气体颗粒物固化产品空气粒子滤网过滤实时监测送风机构紫外灯管电连接检测仪中颗粒风机去除箱门承载节能检测

[实用新型]一种洁净紫外固化隧道箱-CN201820146547.6有效
发明人：梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;缪龙;冯新凯;邹小林 -专利权人：福建中科晶创光电科技有限公司
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： B05D3/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种洁净紫外固化隧道箱，涉及紫外固化领域；包括底座、水平设置在底座上的固化通道、水平设置在固化通道内底面的传送带和用于承载待固化物品的传送平台；所述传送带包括平行设置的第一传送带和第二传送带；所述第一传送带和第二传送带之间留有一条缝隙；所述传送平台包括托盘和竖直连接在托盘下端的固定杆，所述传送平台置于传送带上时所述固定杆置于所述缝隙中以防传送平台发生偏移；所述第一传送带和第二传送带同向传送使传送平台前进，所述第一传送带和第二传送带反向传送使传送平台原地旋转；所述固化通道内中部上方设置有紫外固化灯组。
传送带传送平台紫外固化固化水平设置托盘固定杆隧道箱底座洁净紫外固化灯组本实用新型反向传送固化物品平行设置竖直连接原地旋转偏移同向承载传送

[实用新型]一种用于海底疏浚吸泥的耙头-CN201820211608.2有效
发明人：王志国;蒋万义;郑绍;刘洋;张新汉;彭斌 -专利权人：中交烟台环保疏浚有限公司;山东海顺港航工程有限公司
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： E02F3/92 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于海底疏浚吸泥的耙头，包括耙腔，耙腔的末端开口并设置有用于连接吸泥管的法兰盘，耙腔的首端连通箱体结构的顶部，并且二者的连通处设置有大石隔离栏，箱体结构的底部及沿耙头行进方向的前后两侧均设置有开口，箱体结构的前侧开口处设置有垃圾隔离栏，箱体结构内在垃圾隔离栏与耙腔的首端之间间隔设置有若干个可转动的泥土粉碎犁，泥土粉碎犁包括转轴以及固定连接在该转轴外部的若干片铲片，转轴连接有驱动装置。可在使用时隔离出海底垃圾，可充分粉碎海底泥土，并快速输送至挖泥船船舱，避免出现吸入海底垃圾，保证吸泥质量，同时大大提升海底吸泥效率，节省人力物力。
箱体结构耙头垃圾隔离首端转轴疏浚泥土本实用新型海底泥土间隔设置末端开口驱动装置人力物力转轴连接垃圾侧开口法兰盘隔离栏可转动连通处挖泥船吸泥管船舱铲片吸入连通开口行进隔离外部保证

[实用新型]一种用于海底疏浚吸泥的耙头-CN201820212454.9有效
发明人：蒋万义;郑绍;彭斌;张新汉;高杰;姜万钧;蒋睿彬 -专利权人：山东海顺港航工程有限公司
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： E02F5/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于海底疏浚吸泥的耙头，包括耙腔，耙腔的末端开口并设置有用于连接吸泥管的法兰盘，耙腔的首端连通箱体结构的顶部，并且二者的连通处设置有大石隔离栏，箱体结构的底部及沿耙头行进方向的前后两侧均设置有开口，箱体结构的前侧开口处设置有垃圾隔离栏，箱体结构内在垃圾隔离栏与耙腔的首端之间依次设置有第一泥土粉碎犁组和可转动的第二泥土粉碎犁，第一泥土粉碎犁组包括第一泥土粉碎犁。可在使用时隔离出海底垃圾，可充分粉碎海底泥土，并快速输送至挖泥船船舱，避免出现吸入海底垃圾，保证吸泥质量，同时大大提升海底吸泥效率，节省人力物力。
箱体结构泥土耙头垃圾隔离首端疏浚本实用新型海底泥土末端开口人力物力依次设置垃圾侧开口法兰盘隔离栏可转动连通处挖泥船吸泥管船舱吸入连通开口行进隔离保证

[实用新型]一种用于海底疏浚吸泥的耙头-CN201721312030.1有效
发明人：叶建林;蒋万义;张新汉;姜万钧;王志国;郑绍;彭斌 -专利权人：山东海顺港航工程有限公司
申请日： 2017-10-12 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： E02F3/92 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于海底疏浚吸泥的耙头，包括主体，所述主体包括耙腔，所述耙腔的末端连通有吸泥管，所述耙腔的首端连通箱体结构的顶部，所述箱体结构的底部及沿所述主体行进方向的前后两侧均设置有开口，所述主体在所述箱体结构的前侧开口处设置有垃圾隔离栏，所述主体在所述垃圾隔离栏与所述耙腔的首端之间设置有可转动的泥土粉碎犁，所述泥土粉碎犁从所述箱体结构的底部开口处伸出，所述主体在所述箱体结构的后侧开口处铰接有大石分离挡板。本实用新型的有益效果：可在使用时隔离出海底垃圾，充分粉碎海底泥土，并快速输送至挖泥船船舱，避免出现吸入海底垃圾、大型石块，保证吸泥质量，同时大大提升海底吸泥效率，节省人力物力。
一种用于海底疏浚

[发明专利]一种内圆切割夹具定位系统及方法-CN201610078776.4有效
发明人：梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;陈立元;冯新凯;邹小林;缪龙 -专利权人：福建中科晶创光电科技有限公司
申请日： 2016-02-04 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种内圆切割夹具定位系统及方法，所述装夹夹具与器件支架相隔一定距离并排设置；所述光栅元件夹具具有一固定光栅元件的平面，相邻光栅元件的光栅槽方向所成角度为90‑180°；光栅元件夹具固定于装夹夹具上，光栅元件夹具的平面与装夹夹具的平面平行，光栅元件夹具的平面可绕一中心轴旋转；所述单波长激光器、反射镜、刻度板、监控镜头固定于器件支架上，反射镜固定于单波长激光器的光束出射方向，反射镜改变单波长激光器以及光栅元件的光束方向，使光栅元件所产生的衍射光入射到刻度板预定刻度线上；所述监控镜头监控刻度板上衍射光的刻度线位置。本发明具有提高相邻切割边垂直度，提高垂直度控制稳定性，降低切割成本等优点。
一种切割夹具定位系统方法

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