“张慧毅”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果33个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]基于传动梁结构的硅基铌酸锂压电振动传感器及制备方法-CN202311139761.0在审
发明人：耿文平;丑修建;张慧毅;乔骁骏;李晓黄;武晓慧;陆昊;余楠鑫;张亦弛;游亚军 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-09-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H10N30/30 文献下载
摘要：本发明属于半导体器件加工制造技术领域，具体为一种基于传动梁结构的硅基铌酸锂压电振动传感器及制备方法。所述传感器包括Si基底，Si基底表面生长一层SiO2薄膜后与LiNbO3晶片键合后构成Si‑LiNbO3键合片；Si‑LiNbO3键合片经MEMS工艺形成基底边框、中心质量块及四条悬臂传动梁；悬臂传动梁由呈垂直布置的宽梁和窄梁构成，宽梁端部与中心质量块的侧面连接，窄梁端部与基底边框的侧面连接；四条悬臂传动梁规则布置于基底边框和中心质量块之间。本发明设计合理，由于铌酸锂在高温环境下可以保持很好的压电特性，这对于极端环境下的振动信号监测具有广阔的应用前景。
基于传动结构硅基铌酸锂压电振动传感器制备方法

[发明专利]一种基于振动微球的加速度传感器及制备方法-CN202310854083.X有效
发明人：耿文平;丑修建;乔骁骏;李晓黄;李稼禾;汪子涵;杨凌霄;张慧毅;武晓慧;余楠鑫 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-07-13 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01P15/09 文献下载
摘要：本发明属于半导体器件MEMS结构工艺技术领域，涉及加速度传感器，具体为一种基于振动微球的加速度传感器及制备方法。传感器是通过键合工艺将铌酸锂晶片与硅基片低温键合并进行减薄和抛光，在铌酸锂表面通过溅射工艺和IBE刻蚀工艺制备电极，在硅基片背面进行深硅刻蚀工艺实现中心质量环与复合结构悬臂梁释放再通过紫外光固化胶粘剂将微球固定在器件中心，从而完成压电振动传感器件的制备。本发明制备的振动微球加速度传感器，与四悬臂梁的传感器相比有更高的输出且拓宽了频带宽度，与质量块结构的加速度传感器相比在谐振频率下有更高的输出电荷以及更高的灵敏度，能够满足中低频微振动环境下的测试要求。
一种基于振动加速度传感器制备方法

[发明专利]基于d15-CN202211687980.8有效
发明人：耿文平;丑修建;乔骁骏;张慧毅;李晓黄 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H10N30/01 文献下载
摘要：本发明属于半导体器件加工制造技术领域，具体为一种基于d15和d22的叉指型压电振动传感器及制备方法，通过将铌酸锂和硅基片在低温条件下键合在一起，再进行减薄和抛光工艺；在铌酸锂表面通过溅射和剥离工艺制备叉指电极；此后，在铌酸锂表面刻蚀压电悬臂梁和质量块；在硅基片背面进行空腔和器件释放从而完成压电振动传感器件的制备。本发明制备的压电振动传感器通过差分电荷的形式进行电荷采集，极大地改善了矩形悬臂梁应力分布不均匀导致的的电荷分布不均匀问题，制造工艺简单，成品率高和重复性好，适用于宽频高加速度的测试环境中，对于极端环境中振动信号采集具有很好的应用价值。
基于 base sub 15

[发明专利]一种“H”型单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法-CN202310429155.6有效
发明人：耿文平;乔骁骏;丑修建;张慧毅;李晓黄;韩树棋 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明属于半导体器件加工制造技术领域，涉及压电振动传感器，具体为一种“H”型单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法，通过在低温环境下实现LiNbO3晶片和双抛Si片的异质集成，利用电极掩膜版图案刻蚀LiNbO3形成沟道结构，随后通过光刻、显影、磁控溅射和剥离工艺完成电极制备，此后在键合片正面完成“H”型悬臂梁和质量块刻蚀，最后在键合片背面完成空腔刻蚀和器件释放。本发明在理论与计算的基础上，设计传感器固有频率为10888Hz和15328Hz，并通过仿真对振动传感器的可行性进行了验证，“H”型结构减小了器件振动过程的横向效应，提高了单轴振动的输出电荷信号精度，同时较高的固有频率拓宽了传感器的可用频段。
一种型单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法

[发明专利]基于悬浮石墨烯薄膜压阻特性的温度传感器-CN202211700537.X有效
发明人：丑修建;韩树棋;毕开西;耿文平;穆继亮;梅林玉;周思源;付文潇;牛耀凯;栗倩男;张帅;张慧毅 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01K7/16 文献下载
摘要：本发明涉及石墨烯温度传感器，具体为基于悬浮石墨烯薄膜压阻特性的温度传感器，包括Si作为下基底、SiO2作为上基底的基片，基片上刻出有空腔，SiO2上空腔的两边溅射有金电极，溅射好金电极的基片上转移带有PMMA保护层的石墨烯薄膜，金电极上键合引线后基片封装。本发明通过使用空腔悬浮石墨烯薄膜结构，在提高石墨烯薄膜迁移率的同时对空腔内气体形成密封，该结构可将环境温度变化转化为石墨烯薄膜的形变，进而利用石墨烯薄膜的压阻效应将形变转化为结构的输出电阻变化，从而有效避免了传统的石墨烯热传感结构中利用石墨烯热阻效应进行传感所带来的不稳定性，有效提高了石墨烯MEMS传感器的灵敏度。
基于悬浮石墨薄膜特性温度传感器

[发明专利]基于挠曲电极化增强力电耦合机制的PZT基石墨烯复合压感薄膜结构-CN202210751516.4在审
发明人：韩树棋;毕开西;丑修建;耿文平;穆继亮;梅林玉;周思源;付文潇;牛耀凯;栗倩男;张帅;张慧毅 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L41/113 文献下载
摘要：本发明属于NEMS微压力敏传感设计领域，具体为基于挠曲电极化增强力电耦合机制的PZT基石墨烯复合压感薄膜结构，包括Si/SiO2基片，Si/SiO2基片上设有背腔，Si/SiO2基片正面溅射有pt/Ti的金属层，pt/Ti的金属层上面溅射有PZT铁电薄膜，PZT铁电薄膜上有石墨烯薄膜，石墨烯薄膜两边溅射有金属电极，Si/SiO2基片背面有封装基板。本发明通过PZT铁电薄膜弯曲产生的极化电压对石墨烯薄膜进行调控，施加偏压给石墨烯薄膜，通过电路的输出电流间接表征石墨烯载流子的输运情况，进而表征石墨烯薄膜能带的变化，完成对PZT挠曲电极化调控石墨烯能带结构及电输运机制的探究，完成对高灵敏度力电耦合PZT基石墨烯复合压感薄膜结构的设计。
基于挠曲极化增强耦合机制 pzt 基石复合薄膜结构

[发明专利]一种d33-CN202210275930.2在审
发明人：丑修建;耿文平;魏慧芬;张慧毅;侯晓娟;何剑;穆继亮 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01L41/316 文献下载
摘要：本申请提供了一种d33模式铁电单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法，通过将铌酸锂与带有氧化层的硅基底键合，再依次进行减薄、化学机械抛光和清洗，得到铌酸锂单晶薄膜；在铌酸锂铁电单晶薄膜表面利用溅射刻蚀法制备对准标记，在其表面采用溅射剥离法制备表面电极，并刻蚀铌酸锂单晶薄膜使其图形化，最后在硅基底正面形成质量块和悬臂，并从硅基背面对其进行释放制得产物。本申请的制备方法可将铁电单晶铌酸锂薄膜与带氧化层的硅基很好键合，并完成了宽频带、高电压输出的元器件的制备，工艺可行性和重复率高。本申请制得产物具有很高的机电转换效率、输出电压和低温环境输出性能下降小的特点。
一种 base sub 33

[实用新型]一种制造轨枕的钢筋拉紧防护装置-CN201921450300.4有效
发明人：孙彦龙;张慧毅;党法禄;刘柏松;孟锐;崔文 -专利权人：内蒙古中铁轨枕制造有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B28B23/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制造轨枕的钢筋拉紧防护装置，包括长槽，网片，外框，固定板，销，卡板，弹簧，螺杆，吊环；通过该些部件组成的防护装置结构稳定，操作方便，减少了原有结构简陋带来的安全隐患。
一种制造轨枕钢筋拉紧防护装置

[实用新型]一种铁路用的混凝土振动压实装置-CN201921449354.9有效
发明人：尉进宝;张慧毅;党法禄;刘柏松;聂少壮;李俊平 -专利权人：内蒙古中铁轨枕制造有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B28B1/087 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铁路用的混凝土振动压实装置，包括承载框，连接块，L型螺杆，压板，套筒，弹簧，支撑杆，固定板，电磁阀，振动器，支撑板，气缸；所述承载框为U型中空结构；所述承载框两侧顶端设有凹槽且凹槽内设有连接块；所述连接块的内侧一端连接压板；所述连接块的外侧一端与气缸的顶端固定；所述支撑板的外侧固定有电磁阀；所述承载框的底部设有套筒；所述套筒内设有弹簧；所述固定板为长方体板状结构，且表面设有立柱；所述固定板设在支撑板的内侧且固定板的立柱通到弹簧内，形成一种一边固定于套筒内部，一边压在固定板的立柱外围的组合结构；所述固定板底部设有支撑杆；所述固定板的底部且在支撑杆围成的长方形区域内设有振动器。
一种铁路混凝土振动实装

[实用新型]一种制造轨枕的混凝土布料气路滑动装置-CN201921451183.3有效
发明人：尉进宝;张慧毅;党法禄;刘柏松;杨霞;张中峰 -专利权人：内蒙古中铁轨枕制造有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B28B13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制造轨枕的混凝土布料气路滑动装置，包括外框，第一滚轮，第二滚轮，轴，固定架，滑块，螺杆，连接绳；其特征在于所述外框为立方体中空框架；所述外框的内部设有第一滚轮、第二滚轮；所述轴穿过第一、第二滚轮中部将其固定于外框内；所述第一、第二滚轮的圆弧面设有半圆环凹槽；所述外框的底部设有固定架；所述固定架为侧边设有缺口的立方体中空框架，且底部设有螺纹孔；所述螺杆固定在此螺纹孔内；所述螺杆的顶部固定有滑块；所述滑块的表面设有凹面；所述连接绳横穿第一滚轮与第二滚轮弧面中部的半圆环凹槽；该装置成本较低，使用方便，很好的解决了气路在移动中产生的问题。
一种制造轨枕混凝土布料滑动装置

[实用新型]一种制造轨枕用的可移动防护踏台-CN201921451468.7有效
发明人：尉进宝;张慧毅;党法禄;刘柏松;孙彦峰;胡勇 -专利权人：内蒙古中铁轨枕制造有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： E04G1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制造轨枕用的可移动防护踏台，包括底框，底板，柱腿，支架，踏板，螺杆，车轮，轴，滑块，轴承；其特征在于所述底框为长方形格子状框架结构；所述底框的格子部分上固定有底板；所述底框的其中一长边均匀分布设有支架；所述支架的顶部固定有长条状踏板；所述底框的底侧均匀分布有柱腿；所述底框四角处的柱腿为空心结构且柱腿内侧设有槽口；所述柱腿的顶部设有螺纹孔且螺纹孔内设有螺杆；所述螺杆的底部设有滑块；所述滑块对应柱腿内侧设有轴承；所述轴承的内部与轴的一端固定；所述轴的另一端固定车轮；该装置结构稳固，移动方便，可起到防护作用，给工人带来一定的安全保障。
一种制造轨枕移动防护

[实用新型]一种箍筋加工自动调直装置-CN201920448485.9有效
发明人：刘柏松;刘向荣;张慧毅;党法禄;孙彦龙;尉进宝 -专利权人：内蒙古中铁轨枕制造有限公司
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： B21F1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种箍筋加工自动调直装置，用于全自动数控铁路专用箍筋一体机上，该设备上的送料系统包括上下两部分，上面部分为箍筋件送料系统，用于箍筋件的生产；下面部分为单钩件送料系统，用于对单钩件的生产；所述箍筋件送料系统包括4个大夹持轮，所述单钩件送料系统包括4个小夹持轮，均为双排轨道槽；所述大夹持轮、小夹持轮左侧钢筋进料一侧各设置一组调直装置；调直装置可以将原本弯曲的钢筋原料校直，为下一步的冲压工作做准备，该调直装置方便更换，运行流畅，经实践验证，本装置的效果非常好，有效解决了卡机的问题。
一种加工自动装置

[实用新型]一种轨枕预制模具起重横移车-CN201920464600.1有效
发明人：刘柏松;刘向荣;张慧毅;党法禄;刘燕龙;杨霞 -专利权人：内蒙古中铁轨枕制造有限公司
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种轨枕预制模具起重横移车，地轨输送机的末端开设有横向的地槽，且地槽内固定有横向的铁轨；横移车放置在铁轨上；上架体的左右两侧焊接有板架，上架体底部焊接有底板；气缸用螺栓固定在底板四角，气缸的伸缩端焊接有顶板，且顶板上焊接有顶块；板架底部前后两端用螺栓固定有带座轴承；轮轴安装在带座轴承上，对应铁轨的间距焊接有U型轮，轮轴上固定安装有从动齿轮；正反转电机连接减速箱且减速箱传动轴上固定安装有动力齿轮，正反转电机和减速箱二者均用螺栓安装在底板下表面；本实用新型体型小巧，不会占用大量的空间，可以快速的横移轨枕模具，提升了生产效率，同时该装置横移轨枕模具不会存在坠落的危险情况。
一种轨枕预制模具起重横移车

[实用新型]一种轨枕预制脱模剂喷洒装置-CN201920468248.9有效
发明人：秦乙元;刘向荣;张慧毅;党法禄;刘柏松;马志芳;尉进宝 -专利权人：内蒙古中铁轨枕制造有限公司
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： B28B7/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种轨枕预制脱模剂喷洒装置，收集槽左右两端固定焊接在两段模具传输机上，收集槽上部焊接有围挡，右端顶部向下倾斜焊接有支板；围挡左右两端底部开设有通过缺口；支架固定焊接在收集槽右侧的模具传输机上，支架上部开设有通孔，且主水管安装在通孔内；高压水泵安装在收集槽外侧，高压水泵的抽水接口通过管道连接溶液箱，排水接口连接主水管；支水管通过三分管件与主水管连接，支水管自由端安装有喷嘴，两根支水管用管卡固定在支板上且喷嘴相对向下倾斜；该装置可以一次全覆盖的给预制模具喷脱模剂，同时可以对多余的脱模剂回收，不会让脱模剂四处喷溅。
一种轨枕预制脱模剂喷洒装置

[实用新型]一种制造轨枕用的混凝土布料设备-CN201920462416.3有效
发明人：党法禄;刘向荣;张慧毅;刘柏松;王珍;赵素文 -专利权人：内蒙古中铁轨枕制造有限公司
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： B28B13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种制造轨枕用的混凝土布料设备，包括箱体，支架，气泵，气缸，出料门，连接板，固定块，电机，皮带，滚轮槽，第一滚轮，第二滚轮；其特征在于所述箱体为倒置的平顶金字塔式结构；所述箱体的顶面四边固定有坐凳式的支架；所述支架的底部固定有滚轮槽，且滚轮槽内固定有第一滚轮；所述箱体的两侧中部设有气泵；所述气泵的右侧设有气缸；所述气缸的顶端拉杆部分与出料门的两侧中部固定；所述箱体的正面与背部设有连接板，连接板一端与箱体铰接，连接板另一端与出料门固定；所述支架的正面设有电机且电机转动的一端上固定有第二滚轮以及靠近支架正面的滚轮槽内的第一滚轮外侧也固定有第二滚轮，且用皮带连接。
滚轮滚轮槽连接板支架出料门气泵气缸电机混凝土布料设备金字塔式结构四边本实用新型轨枕电机转动皮带连接箱体铰接支架正面倒置固定块内固定坐凳式顶面拉杆平顶皮带制造

1
2
3
下一页»
尾页
共 33 条