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- [发明专利]一种光刻机光源头组件-CN202310743157.2有效
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谭军;庞超群;曹彬;朱晓春
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张家港奇点光电科技有限公司
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2023-06-21
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2023-09-15
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G03F7/20
- 本发明涉及光刻机光源组件技术领域，尤其为一种光刻机光源头组件，包括光源装置、直准模组、风冷装置和水冷装置，所述光源装置后方与水冷装置固定连接，所述光源装置内设置有风冷装置，所述光源装置内一侧设置有直准模组，所述光源装置包括后板、卡合主体和夹持装置，所述后板一侧设有前板，所述前板内设有呈均匀分布的螺栓，本发明中，通过设置的固定块、连接杆、卡合杆、安装块、滑槽、固定板、定位杆、第一弹簧和夹持主体，可以直接推动卡合杆，通过卡合杆推动夹持主体移动，在卡合杆底部与安装块相接触后，松开卡合杆，夹持主体可以在第一弹簧的作用下对卡合杆进行卡合，同时推动卡合杆移动，实现对固定壳的快速安装。
- 一种光刻源头组件
- [发明专利]一种光刻机光源头水冷组件-CN202310583606.1有效
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庞超群;谭军;曹彬
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张家港奇点光电科技有限公司
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2023-05-23
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2023-08-29
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G03F7/20
- 本发明涉及光刻机技术领域，尤其为一种光刻机光源头水冷组件，包括光源主体、水冷装置、水循环装置和导热装置，所述光源主体一侧与水冷装置固定连接，所述水冷装置另一侧与水循环装置固定连接，所述水循环装置一侧固定连接有散热主体，所述导热装置在水循环装置内呈均匀分布，所述水冷装置包括第一盖板、第一挡水主体和第二挡水主体，所述第一盖板一侧固定连接有第二盖板，所述第二盖板与光源主体固定连接，本发明中，通过设置的通过设置的第一盖板、第二盖板、导热板、第一挡水架、第二挡水架、第一密封条、第一挡水杆、第二挡水杆、第二密封条和出水孔，可以通过其形成的空腔对冷却液进行引导，使冷却液可以有方向的流动，提高散热效果。
- 一种光刻源头水冷组件
- [发明专利]一种光刻机工作台-CN202310547498.2有效
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庞超群;曹彬;朱凯
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张家港奇点光电科技有限公司
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2023-05-16
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2023-07-18
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G03F7/20
- 本发明涉及光刻机技术领域，尤其为一种光刻机工作台，包括光刻机主体、光源头组件和工作台面，所述光刻机主体顶端设有光源头组件，光刻机主体内侧设有工作台面，所述工作台面底端固定连接有移动座，所述移动座内侧设有滚珠丝帽，所述滚珠丝帽内侧安装有第二滚珠丝杠，所述第二滚珠丝杠一端和定位杆转动连接，所述第二滚珠丝杠另一端和电机主轴固定连接，本发明中，通过引风机配合气泵使电机主轴内部有气体流动的同时可以产生负压，利用工作台和电机之间空气引入到电机主轴形成气流使工作台和电机之间的空气隔绝，可以防止电机在长时间工作后对工作台附近的温度造成影响的问题发生，可以有效的提高光刻机加工的质量。
- 一种光刻机工
- [实用新型]一种防堵塞的圆盘式油冷器-CN202320294435.6有效
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徐有燚;庞超群;王典汪;张瑞;徐赛;胡怀东;席杰
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湖北银轮机械有限公司
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2023-02-23
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2023-07-11
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F01M5/00
- 本实用新型提出了一种防堵塞的圆盘式油冷器，包括外壳，所述外壳的内腔设有层叠式换热芯体，所述外壳的顶面设有进油孔，所述外壳的底面设有与进油孔对应的旁通孔，所述进油孔与旁通孔通过进油通道连通；所述外壳的底面设有出油孔，所述出油孔与出油通道连通；所述外壳的顶面和底面均设有回油孔，外壳顶面和底面的回油孔通过回油通道连通；所述进油通道、换热芯体、出油通道、回油通道依次连通形成循环油路；所述外壳的底面设有限压阀片，所述限压阀片覆盖在旁通孔上。本实用新型通过设置旁通孔和限压阀片，当换热芯体内部堵塞时，进油通道内油压升高并超过阈值后，所述限压阀片开启，对进油通道进行泄压，防止进油通道内油压过高导致发动机报废。
- 一种堵塞圆盘式油冷器
- [发明专利]换热器及热管理系统-CN202211692896.5在审
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徐有燚;王典汪;庞超群;徐赛;张瑞;夏苏娥;丁启乾
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浙江银轮机械股份有限公司
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2022-12-28
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2023-04-28
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F28D9/00
- 本申请涉及一种换热器及热管理系统，换热器包括设于冷流通道层内的引流板，引流板上设有多条第一引流槽，相邻第一引流槽间隔设置并形成多个分流间隙。第一引流槽由直形槽段和曲形槽段中的一者单独构成或者由直形槽段和曲形槽段中的两者交替排列形成，其中，曲形槽段的侧壁呈平滑延伸的曲线形，直形槽段的中心线呈直线形，每一直形槽段包括多个沿着自身中心线依次连通的错位通道，且相邻的错位通道沿着垂直于直形槽段中心线的方向错位布置，以使每一错位通道能够分别连通相邻的错位通道和位于直形槽段一侧的分流间隙。本申请提供的换热器及热管理系统，解决了低温介质在冷流通道层各处换热效果不一致进而导致换热器容易出现热应力集中的问题。
- 换热器管理系统
- [实用新型]一种油冷器斜开窗翅片结构-CN202120207056.X有效
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张瑞;余晓赣;徐有燚;王典汪;庞超群;徐赛;王典运
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赤壁银轮工业换热器有限公司
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2021-01-26
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2023-02-21
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F28F3/02
- 本实用新型提供一种油冷器斜开窗翅片结构，包括若干翅片条，各所述翅片条沿液体流向依次相连，每一所述翅片条均包括若干翅片，所述翅片与相邻翅片条上的翅片部分重叠，同一翅片条上的相邻两翅片通过连接片相连，连接片的水平截面为平行四边形，翅片呈拱门状，液体从翅片形成的拱门下流过，翅片在水平面上的投影为平行四边形，所述翅片包括顶部和两个支撑部，所述顶部的水平截面为平行四边形，所述翅片向液体流动方向倾斜。本实用新型将传统的直边开窗改为斜开窗，翅片阻力低，本实用新型在不降低油冷器散热性能的前提下降低了对机油或冷却液的阻力。在本实用新型中，翅片斜开窗，在机油或冷却液流过散热翅片的时候起到导流作用，从而降低了阻力。
- 一种油冷器斜开窗结构
- [发明专利]一种光学仪器的调焦锁紧结构-CN202210714162.6有效
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庞超群;谭军
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张家港奇点光电科技有限公司
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2022-06-23
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2022-10-18
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G02B7/02
- 本发明属于光学仪器技术领域，具体的说是一种光学仪器的调焦锁紧结构，包括锁紧架，所述锁紧架内部固定有导向柱，所述锁紧架与导向柱之间滑动连接有锁紧环，所述锁紧环内部开设有转向槽，所述转向槽靠近导向柱的一侧滑动连接有转向块，所述转向块靠近导向柱的一侧固定有传动杆，所述传动杆远离转向块的一端固定有挤压板，所述传动杆外部套接有复位弹簧；通过推动锁紧环带动转向块运动，进而带动挤压板运动直至挤压板与调焦组件接触并将其锁住，该锁紧结构施加锁紧力的方向与调焦组件的轴心方向一致，从而不会产生拨动调焦组件轴心的情况出现，这样在锁紧焦距的同时也有效的避免了施加偏转力使得光学仪器镜头轴心偏移的情况。
- 一种光学仪器调焦结构
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