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[发明专利]温度测量装置及炉腔温度测量方法-CN202211635114.4在审
发明人： 庞爱锁;郭永胜;林佳继;刘群 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种温度测量装置及炉腔温度测量方法，温度测量装置包括密封门板、载体支架和柔性热电偶，密封门板用于密封热炉的炉口，载体支架穿设于密封门板，载体支架的第一端用于承载基材，柔性热电偶连接于载体支架的第二端，且柔性热电偶上设有至少一个测温探头。该温度测量装置的测量温度的温度测量件与承载基材的载体支架整合在一起，无需为温度测量件设置单独的装拆空间，从而缩小热炉的占地面积，有利于降低热炉的使用成本。
温度测量装置测量方法

[发明专利]一种散热装置-CN202310716600.7在审
发明人： 庞爱锁;郭永胜;林佳继;张武 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F23J15/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种散热装置及高温热炉，该散热装置包括管路结构，管路结构限定出气流通道和液体通道，气流通道用于流通高温气体，液体通道位于气流通道的外部，且具有与气流通道连通的喷液部，管路结构还具有与气流通道连通的喷气部，喷液部喷出的液体能够在气流通道内的高温气体和喷气部喷出的高压气体的作用下雾化。该散热装置的结构简单，方便使用，对高温气体的冷却速率较快，且冷却液体的利用量较少。
一种散热装置

[发明专利]一种ICP放电装置-CN202310996128.7在审
发明人：何艾华;庞爱锁;林佳继;刘群 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2023-08-09 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种ICP放电装置，该ICP放电装置包括屏蔽外壳、放电单元、前工艺气体喷射件和后工艺气体喷射件，屏蔽外壳的一端形成有渐缩段，渐缩段的第一端形成出口，放电单元设在屏蔽外壳内，前工艺气体喷射件位于放电单元上方且能够朝向放电单元配合前工艺气体，后工艺气体喷射件设于放电单元的下方，且能够朝向出口的延伸方向喷射气体。该ICP放电装置能够提高直接电离的前工艺气体产生的等离子体与间接电离的后工艺气体的相互作用，提升等离子体与后工艺气体的混合均匀程度以及气体流速，有利于提升衬底材料的工艺均匀性以及工艺速率。
一种 icp 放电装置

[实用新型]石英反应腔内壁镀膜装置-CN202320542973.2有效
发明人：林佳继;朱太荣;庞爱锁 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体或光伏材料加工技术领域，公开了一种石英反应腔内壁镀膜的装置，可用于在石英反应腔的内壁形成热膨胀系数渐变缓冲层，其中石英反应腔具有进气口和出气口以将反应气体充入或抽离石英反应腔，石英反应腔内壁镀膜装置还包括电感线圈，电感线圈附着在石英反应腔外部；该装置还具有移动驱动部，移动驱动部连接电感线圈和/或石英反应腔，以能够使电感线圈和石英反应腔在石英反应腔的轴向方向上相对运动。在石英反应腔内激发真空环境下的反应气体放电产生高密度等离子体，通过沉积过程中调节通入不同成分或比例的反应气体，在等离子体增强的化学气相沉积下形成渐变缓冲层，通过渐变缓冲层使热膨胀系数缓慢过渡。
石英反应内壁镀膜装置

[发明专利]一种太阳能电池表面钝化膜生产设备-CN202010479500.3有效
发明人：刘群;林佳继;朱太荣;范棋翔;伊凡·裴力林;庞爱锁 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开一种太阳能电池表面钝化膜生产设备，包括两工艺镀膜柜、两石墨舟、传输装置、上料装置、移载装置；所述传输装置布置于两工艺镀膜柜之间，上料装置布置于传输装置的一端；所述工艺镀膜柜内设有可容纳一石墨舟的腔体，每一石墨舟内置于一工艺镀膜柜；所述移栽装置用于将硅片从上料装置移送至石墨舟上，及将硅片从石墨舟移送至传输装置上。本发明可在同一设备中可完成提升开压的隧穿氧化钝化薄膜和减反射膜的制备，采用伯努利吸盘可避免镀膜划伤问题；同时石墨板上硅片定位机构可减少卡点印、硅片变形、碎片率高等问题。
一种太阳能电池表面钝化生产设备

[发明专利]一种太阳能电池表面钝化膜生产工艺-CN202010479499.4有效
发明人：刘群;林佳继;朱太荣;范棋翔;伊凡·裴力林;庞爱锁 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种太阳能电池表面钝化膜生产工艺，包括：上料装置将未镀膜的硅片上料；移载装置将未镀膜的硅片上移送至空的石墨板上；扁平吸盘到位后，石墨舟驱动电机驱动石墨舟经第一滑动机构升降，便于扁平吸盘放置硅片；放置好后，扁平吸盘再将另一石墨板上的已镀膜完成的硅片移送至传输装置中；传输装置将已镀膜完成的硅片移送至上料装置的另一端。本发明可在同一设备中可完成提升开压的隧穿氧化钝化薄膜和减反射膜的制备，采用伯努利吸盘可避免镀膜划伤问题；同时石墨板上硅片定位机构可减少卡点印、硅片变形、碎片率高等问题。
一种太阳能电池表面钝化生产工艺

[发明专利]一种对多晶硅低压化学气相沉积的模拟仿真方法-CN202310281476.6在审
发明人： 庞爱锁;林佳继;刘群 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G16C20/10 文献下载
摘要：本发明涉及数值模拟仿真技术领域，公开了一种对多晶硅低压化学气相沉积的模拟仿真方法，包括导入反应器的三维几何模型，并进行简化处理，得到简化后的三维几何模型，对简化后的三维几何模型进行网格化，建立网格文件，将网格文件导入模拟软件，设置计算求解器，在计算求解器里选择物理模型并设定单元区域条件和边界条件，在计算求解器里初始化计算流场，开始迭代计算求解，当迭代计算收敛后，得到反应器的气流分布云图、反应器的温度变化云图和化学反应硅的沉积率云图，完成对多晶硅低压化学气相沉积的模拟仿真。本发明缩短了仿真计算周期，保证了仿真结果的准确性，为后期对反应器结构和沉积薄膜均匀性的改进，提供了可靠的数据支撑。
一种多晶低压化学沉积模拟仿真方法

[发明专利]一种电阻丝快速寿命测试方法-CN202211740314.6在审
发明人：郭永胜;庞爱锁;林佳继;刘群 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电阻丝快速寿命测试方法。该电阻丝快速寿命测试方法，包括如下步骤：确定待测电阻丝的目标试验温度；确定所述待测电阻丝在目标试验温度下对应的目标电流；根据所述待测电阻丝在所述目标电流下的熔断时间，确定所述待测电阻丝的快速寿命。本发明实施例提供的测试方法可以简化测试过程，降低测试成本，提高测试可靠性。
一种电阻丝快速寿命测试方法

[发明专利]一种搬舟X轴滑板机构-CN202310247949.0在审
发明人：甘新荣;朱太荣;庞爱锁;林佳继 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种搬舟X轴滑板机构，其包括：滑板基座，设置在搬舟X轴滑板机构的底部；齿条单元设置在滑板基座上，齿条单元用于驱动搬舟X轴滑板机构水平移动；搬舟夹爪单元，用于抓持舟/舟托并带动舟/舟托移动；夹爪驱动单元设置在滑板基座上，且夹爪驱动单元与搬舟夹爪连接，夹爪驱动单元用于采用钢丝驱动搬舟夹爪单元；固定单元设置在滑板基座上，固定单元用于连接其他机构。本发明中的夹爪驱动单元采用钢丝绳来传递驱动力，使夹爪驱动单元能够为搬舟夹爪单元提供稳定的驱动力，夹爪驱动单元可以稳定的抓持和移动舟/舟托，从而使硅片的加工工艺不会受到影响，保证硅片的加工质量。
一种滑板机构

[实用新型]一种电阻丝寿命测试装置及系统-CN202223580770.7有效
发明人：郭永胜;庞爱锁;林佳继;刘群 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电阻丝寿命测试装置及系统。该电阻丝寿命测试装置包括：电流调节模块、控制器和至少一个测试回路；所述电流调节模块包括控制端，至少一个第一测试输出端和至少一个第二测试输出端；所述测试回路连接于对应的第一测试输出端和对应的第二测试输出端之间；所述电流调节模块用于根据其控制端接入的信号调节所述测试回路中的电流；所述测试回路包括串联连接的开关模块和被测电阻丝；所述开关模块用于根据其控制端接入的信号导通或关断；所述控制器分别与所述电流调节模块的控制端和所述开关模块的控制端电连接。本实用新型实施例可以简化电阻丝寿命的测试过程，提高测试结果的可靠性。
一种电阻丝寿命测试装置系统

[实用新型]绕丝机-CN202222673820.X有效
发明人： 庞爱锁;郭永胜;刘磊;林佳继 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B21F3/00 文献下载
摘要：本实用新型属于炉丝加工设备技术领域，具体公开了一种绕丝机，该绕丝机包括机架、绕丝装置和送丝装置，机架重量较轻，体积小巧，且机架的底部设置有万向轮，方便将绕丝机移动至目标位置，灵活适用性良好，绕丝装置和送丝装置均设置在机架上，绕丝装置的绕丝驱动模组能够带动绕丝杆进行转动，第一支撑板设置在基座上，能够对绕丝杆提供支撑，保证了绕丝杆的平稳转动，同时在绕丝机的工作过程中，绕丝杆仅转动而不移动，通过送丝装置沿绕丝杆的长度方向移动，从而为绕丝杆进行送料，以便将炉丝缠绕在绕丝杆上，卷绕成型的效果良好。
绕丝机

[实用新型]炉体结构-CN202223068104.5有效
发明人：郭永胜;庞爱锁;刘群;林佳继 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： F27D11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种炉体结构，炉体结构包括保温层、炉体、支撑组件和炉丝，支撑组件包括支撑件，且支撑件沿炉体的轴向方向延伸，支撑件连接与炉体连接，该连接为可拆卸连接，炉丝设置于支撑件上。该炉体结构的炉丝与炉体可拆卸连接，炉丝损坏时不需要更换整段炉体，只需要将支撑件从炉体上拆下然后更换炉丝即可，提升了更换效率和维修效率。
结构

[发明专利]一种板式PECVD反应腔气流模拟方法及其模拟设备-CN202310147117.1有效
发明人： 庞爱锁;刘群;林佳继;张武 -专利权人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G06F30/28 文献下载
摘要：本发明涉及模拟仿真技术领域，特别是涉及一种板式PECVD反应腔气流模拟方法及其模拟设备。该板式PECVD反应腔气流模拟方法包括：获取待模拟的板式PECVD反应腔结构的三维模型；将所述待模拟的板式PECVD反应腔结构的三维模型进行仿真计算，并将的仿真计算结果与预设范围进行对比；若所述计算结果位于预设范围内，则获取所述计算中的网格化后的三维模型气流分布数据和温度分布数据。通过获取板式PECVD反应腔的内部结构和重要部位来建立板式PECVD反应腔三维仿真模型，省去了繁琐的实物制造以及试验过程，减少了传统中设计周期较长、设计成本高的问题。
一种板式 pecvd 反应气流模拟方法及其设备

[实用新型]测温结构及热炉-CN202223401744.3有效
发明人： 庞爱锁;郭永胜;林佳继;刘群 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01K13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种测温结构及热炉，测温结构包括炉门、支撑件和温度检测件，炉门用于密封热炉的炉口，支撑件穿设于炉门，支撑件的第一端用于承载待加工产品，温度检测件连接于支撑件的第二端，且温度检测件朝向支撑件的第一端延伸设置。该测温结构的测量温度的温度测量件与承载待加工产品的支撑件整合在一起，无需为温度测量件设置单独的装拆空间，从而缩小热炉的占地面积，有利于降低热炉的使用成本。
测温结构

[发明专利]管式炉-CN202211093924.1在审
发明人： 庞爱锁;郭永胜;林佳继;张武 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式炉。该管式炉包括外管和炉管，外管包括加热装置，外管的管壁上设置有连通结构，炉管置于外管内，炉管内具有工作腔，工作腔用于容纳待处理的产品，炉管的管壁向工作腔内突出形成凹陷结构，凹陷结构的内部具有测温腔，测温腔与工作腔气隔离，用于测温的热电偶能够穿设于连通结构并伸入测温腔。通过在炉管设置凹陷结构，在外管设置连通结构，热电偶能够穿过外管上的连通结构伸入测温腔中，量取测温腔的温度以间接测量炉管内的产品温度，方便实现对管式炉加热温度的调控，且热电偶没有穿过炉管，能够满足密封需求，且通过合理设置凹陷结构和连通结构的位置，还能够减少所使用的热电偶的长度，减少生产成本和生产风险。
管式炉

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