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- [实用新型]一种扩散炉净化台冷却系统-CN202022323704.6有效
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林佳继;郭永胜;刘群;庞爱锁;林依婷
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2020-10-17
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2021-09-21
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C30B31/00
- 一种扩散炉净化台冷却系统，包括净化台框架和冷却装置，所述冷却装置包括风冷装置、水冷装置，所述风冷装置包括进风口、出风口以及电机，进风口以及电机设置于净化台框架的上方，出风口位于净化台框架内部；所述水冷装置包括水冷盘、水冷管道和风机，所述水冷盘设置于净化台框架的上方，水冷盘风机设置于水冷盘一侧，水冷管道连接进出水管道；本实用新型采用风冷和水冷两种冷却方式相结合，通过管路结构与炉体内部相连接，解决硅片进出炉时，净化台内部温度升高对设备性能和生产效率的影响，进而加快工艺冷却速度，提高工艺生产效率，并且降低电器设备的故障率；本装置能够高效、安全、简便的对炉体进行散热，起到保障硅片生产的作用。
- 一种扩散净化冷却系统
- [实用新型]一种绕丝结构-CN202022883614.2有效
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刘群;郭永胜;林佳继;张武;庞爱锁;朱太荣
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2020-12-04
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2021-09-21
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F27B17/00
- 本实用新型公开了一种绕丝结构,包括炉丝，所述炉丝由炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝构成，所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝在轴向分别由多组温区炉丝构成，至少一组温区炉丝在圆周方向由至少两组分区构成，各分区分别与电路连接，电路控制各分区所在区域的温度，本实用新型将炉丝的炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝的温区炉丝进行温度控制，保证了炉内产品整体温度的均匀性，大大提高了控温能力，本实用新型将至少一组温区炉丝细分成2‑4个分区，每一分区设定相应的功率，通过热电偶控制功率，使硅片组处于优化的温度场，从而实现了硅片组温度的均匀控制。
- 一种结构
- [实用新型]一种非对称式绕丝结构-CN202022885204.1有效
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林佳继;郭永胜;庞爱锁;刘群;张武;林依婷
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2020-12-04
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2021-09-21
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H05B3/02
- 本实用新型公开了一种非对称式绕丝结构,包括炉丝，所述炉丝由炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝构成，所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝在轴向分别由多组温区炉丝构成，至少一组温区炉丝由至少两组分区构成，各分区的炉丝非均等分布，通过非均等分布的炉丝控制各分区所在区域的温度，本实用新型将至少一组温区炉丝细分成至少2个分区，每一分区对炉丝疏密或炉丝的丝径或炉丝的数量进行相应的布局，使硅片组处于优化的温度场，从而实现了硅片组温度的均匀控制，本实用新型中至少一组的分区至少分成两组组件，组件与微调电路连接，便于对各分区的功率进行微调，实现了硅片组温度的均匀控制。
- 一种对称式绕丝结构
- [发明专利]一种翻舟装置-CN201911023167.9有效
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刘群;庞爱锁;林佳继;朱太荣;林依婷
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2019-10-25
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2021-07-13
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B65G47/248
- 本发明公开了一种翻舟装置，包括翻舟紧固装置，夹持装置及翻转装置；紧固装置包括基准部和用于限位花篮移动部；夹持装置包括机架，机架上设置有用于夹紧或者松开花篮的夹持装置；翻转装置包括设置于翻舟与翻转装置之间的传动结构；本发明能保证翻舟在翻转花篮的过程中,无论转动角度如何，均能使花篮及花篮内的硅片不会掉落，通过移动板的上下移动达到全方位固定花篮的目的；在夹紧装置启动时，能从多方位保证花篮是被稳定夹紧的，且夹紧速度快；且本发明设置传动结构实现翻舟的翻转，并通过设置定位装置控制翻转的角度，在传送时，花篮为水平状态，煅烧时花篮为竖立状态，既保证了传送安全，又保证了煅烧充分。
- 一种装置
- [实用新型]一种炉内支撑结构-CN202020807052.0有效
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郭玉雷;林佳继;庞爱锁;刘群
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2020-05-15
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2021-05-18
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C23C16/458
- 本实用新型公开了一种炉内支撑结构,包括支撑件和支撑柱，所述支撑件固设于机架上，所述支撑件与炉管固设连接，所述支撑柱与支撑件固设连接，所述舟承载硅片，所述支撑柱支撑舟，本实用新型结构简单，安装方便，本设备将舟的重量施加在两端固定的支撑件上面，而舟与炉管无接触，所以不会对炉管产生压力，避免炉管因压力增大变形造成自身及相关相连部件的损坏，提高了炉管的安全等级，同时本实用新型的支撑柱支撑设置有平面和斜面的连接块，从而对所述舟前后方向的移动进行限制，保证了舟的稳定性，同时所述斜面与平面所成角度设置为钝角，有利于对舟的进入和退出进行导向，提高了舟放置和取出的效率。
- 一种支撑结构
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