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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于热蚀刻的快速且精确的温度控制-CN202180039609.8在审
发明人：南森·拉夫多夫斯基;布奇·伯尼;马克·直司·川口;朱济;司洪波 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：描述了装置和方法，一种装置可以包含：处理室，其包含室壁；被配置成加热壁的室加热器；基座，其位于该室内且包含衬底加热器、窗以及三个或更多个衬底支撑件，该衬底加热器具有被配置成发出具有400纳米(nm)与800nm之间的波长范围的光的多个发光二极管(LED)，该窗位于该加热器上方、且具有对具有400nm与800nm之间的波长的光透明的材料，每一个衬底支撑件具有衬底支撑表面，该衬底支撑表面竖直偏离该窗且被配置成支撑衬底，使得该窗与衬底之间偏离非零距离。
用于蚀刻快速精确温度控制

[发明专利]用于光致抗蚀剂干式沉积的设备-CN202080060616.1在审
发明人： 布奇·伯尼;艾伦·M·舍普;蒂莫西·威廉·威德曼;凯文·利·顾;吴呈昊;卡蒂·林恩·纳尔迪;鲍里斯·沃洛斯基;克林特·爱德华·托马斯;撒德·尼科尔森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：讨论了用于极紫外线敏感(EUV敏感)光致抗蚀剂层的干式沉积的系统和技术。在一些这样的系统中，可以提供特征在于多充气部喷头的处理室，所述多充气部喷头被配置成在一个充气部中接收汽化有机金属前体以及在另一充气部中接收其汽化逆反应物。这两种汽化反应物可以被输送至在处理室内且在支撑该衬底的晶片支撑件上的反应空间。
用于光致抗蚀剂干式沉积设备

[发明专利]防止高深宽比结构的黏滞和/或修补高深宽比结构的蒸气输送头-CN201980055386.7在审
发明人：巴斯卡尔·班达拉普;戴维·穆;卡尔-海因茨·霍恩沃特;布奇·伯尼;南森·拉夫多夫斯基;克里斯蒂安·普兹;司洪波;罗伯特·约翰逊;迈克尔·克莱姆;伯恩哈德·洛伊德尔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于衬底的湿式处理的蒸气输送头包括主体，该主体包括上表面、下表面、上充气室和下充气室。第一孔布置在所述主体的所述上表面上，并且与所述上充气室流体连接，以供应经加热的流体。第二孔布置在所述主体的所述上表面上，并且连接至所述上充气室，以移除经加热的流体。第三孔布置在所述主体的所述上表面上，且连接至所述下充气室，以接收气体混合物。穿过所述主体的所述下表面的多个通孔与所述下充气室流体连通。
防止高深结构修补蒸气输送

[发明专利]用于处理晶片状物品的方法和装置-CN201710400417.0有效
发明人：大卫·缪;布奇·伯尼;阿洛伊斯·戈勒;迈克·拉夫金 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2017-05-31 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供用于处理晶片状物品的方法和装置，用于处理晶片状物品的装置包括旋转卡盘和当定位在旋转卡盘上时面向晶片状物品的加热组件。液体分配器定位成使得当定位在所述旋转卡盘上时将液体分配到晶片状物品的背对所述旋转卡盘的表面上。加热组件包括分布在至少五个能独立控制的组中的辐射加热元件阵列。液体分配器包括一个或多个分配孔，其配置成将排出点从旋转卡盘的较中心区域移动到旋转卡盘的较周边区域。控制器基于液体分配器的排放点的位置控制提供给至少五个能独立控制的辐射加热元件组中的每一个的功率。
用于处理晶片物品方法装置

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