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[发明专利]蒸发源装置、蒸镀装置及蒸发源装置的控制方法-CN202110549052.4有效
发明人：竹见崇;市原正浩;山田尚人 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-05-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及蒸发源装置、蒸镀装置及蒸发源装置的控制方法，提供一种能够使蒸镀速率在蒸镀时长期稳定的技术。一种蒸发源装置，具备：容器，所述容器收容有蒸镀材料；加热部件，所述加热部件具有第一加热部和第二加热部，所述第一加热部对容器的包含有蒸镀材料的放出口的上部区域进行加热，所述第二加热部对容器的包含有底部的下部区域进行加热；以及控制部件，所述控制部件控制加热部件的加热输出，其特征在于，相对于蒸镀期间中的第一时间点的第一加热部的加热输出，控制部件使蒸镀期间中的比第一时间点靠后的第二时间点的第一加热部的加热输出增大。
蒸发装置控制方法

[发明专利]成膜装置-CN201811560346.1有效
发明人： 市原正浩 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供蒸镀装置，其特征在于，该蒸镀装置包括：真空槽，在真空气氛下进行对于被蒸镀构件的蒸镀工序；以及蒸发源，与所述被蒸镀构件的成膜面相向地配置在所述真空槽内，通过朝向所述被蒸镀构件的成膜面喷射成膜材料而进行蒸镀，所述真空槽在与所述被蒸镀构件的成膜面相向的一侧的壁上具有光学窗，所述蒸发源被配置为，在蒸镀时能够沿着所述被蒸镀构件的面内方向在所述被蒸镀构件与所述窗之间移动。
装置

[发明专利]蒸镀用坩埚及蒸镀装置-CN202211508879.1在审
发明人： 市原正浩 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供能够抑制蒸镀材料粘附的蒸镀用坩埚及蒸镀装置。一种蒸镀用坩埚，其特征在于，该蒸镀用坩埚具备：第一坩埚；以及第二坩埚，设置在所述第一坩埚的内侧，收容蒸镀材料，所述第二坩埚的材料的热传导率大于所述第一坩埚的材料的热传导率。一种蒸镀用坩埚，其特征在于，该蒸镀用坩埚具备：第一坩埚；以及第二坩埚，设置在所述第一坩埚的内侧，收容蒸镀材料，所述第二坩埚的材料为钼、钽、钨中的任一种。
蒸镀用坩埚装置

[发明专利]蒸发源装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法-CN202210025379.6在审
发明人：寺田匡宏;市原正浩;菅原洋纪 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种能够利用蒸发源周边的涂层抑制成膜品质的降低的技术。本发明的蒸发源装置(4)配备有：收容成膜材料(40)的收容部(46)；以及筒状的喷嘴部(47)，所述喷嘴部(47)具有用于排出被收容于收容部(46)的成膜材料(40)之中的因加热而气化了的成膜材料(40)的开口，所述喷嘴部(47)从收容部(46)的外壁突出，其特征在于，在喷嘴部(47)的外侧侧面(472)，施加用于降低成膜材料(40)的附着量的涂层(71)。
蒸发装置方法电子器件制造

[实用新型]加热器支架以及加热器装置-CN202020975970.4有效
发明人：宫崎真行;小暮公男;松本康裕;风间良秋;市原正浩 -专利权人：安达满纳米奇精密宝石有限公司;株式会社桑尼克;佳能特机株式会社
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C30B25/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种加热器支架以及加热器装置，通过抑制或防止与加热器接触的部分的侵蚀，能够抑制或防止加热器的脱落、加热器的卷线间的短路。至少与加热器接触的部分由具有氧化铝的组成的晶体来制成加热器支架。由于能够对与加热器的接触部分赋予高耐热性以及高耐腐蚀性，因此具有氧化铝的组成的晶体优选为蓝宝石单晶。进一步地，由于能够进一步提高加热器支架的强度和耐久性以及可靠性，由此更优选由蓝宝石单晶制成加热器支架整体。进一步地，具备与由钽、钨、钼或它们的合金构成的加热器接触的所述加热器支架而构成加热器装置。
加热器支架以及装置

[发明专利]喷嘴单元、坩埚、蒸发源以及蒸镀装置-CN202010304114.0在审
发明人： 市原正浩;风间良秋;菅原由季 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2020-04-17 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种喷嘴单元、坩埚、蒸发源以及蒸镀装置，其能够抑制液体状或固体状的蒸镀材料到达基板的蒸镀面。喷嘴单元设有具有喷嘴部(212)的喷嘴部件(210)，和设置在比喷嘴部件(210)更靠坩埚的容器本体的内部侧的位置的中板部件(220)，中板部件(220)具有供蒸镀材料通过的多个贯通孔(223c)，并且，从作为利用蒸镀材料蒸镀的蒸镀面上的任意位置的第一点，到达作为多个贯通孔(223c)内的任意位置的第二点的所有线段，被构成喷嘴单元(200)的多个部件中的至少任意一个部件遮挡。
喷嘴单元坩埚蒸发以及装置

[发明专利]加热器支架以及加热器装置-CN202010487706.0在审
发明人：宫崎真行;小暮公男;松本康裕;风间良秋;市原正浩 -专利权人：安达满纳米奇精密宝石有限公司;株式会社桑尼克;佳能特机株式会社
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： C30B25/10 文献下载
摘要：本发明提供一种加热器支架以及加热器装置，通过抑制或防止与加热器接触的部分的侵蚀，能够抑制或防止加热器的脱落、加热器的卷线间的短路。至少与加热器接触的部分由具有氧化铝的组成的晶体来制成加热器支架。由于能够对与加热器的接触部分赋予高耐热性以及高耐腐蚀性，因此具有氧化铝的组成的晶体优选为蓝宝石单晶。进一步地，由于能够进一步提高加热器支架的强度和耐久性以及可靠性，由此更优选由蓝宝石单晶制成加热器支架整体。进一步地，具备与由钽、钨、钼或它们的合金构成的加热器接触的所述加热器支架而构成加热器装置。
加热器支架以及装置

[发明专利]成膜装置及成膜方法-CN201911315409.1在审
发明人： 市原正浩 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2019-12-19 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种能够兼顾膜厚分布的均匀化和材料收获率的提高的成膜装置。蒸发源容器进行从在与成膜对象物的旋转轴正交的方向上离开旋转轴的分离位置向接近旋转轴的接近位置移动、并再次返回分离位置的往复移动，石英振荡器以维持与进行往复移动的蒸发源容器的相向状态的方式在腔室内移动，所述蒸发源容器在腔室内收纳成膜材料，配置于成膜对象物的下方，具有向上方开口的喷射口，所述石英振荡器设置于成膜监视器，所述成膜监视器获取从蒸发源容器蒸发的成膜材料相对于成膜对象物的成膜速率。
装置方法

[发明专利]蒸镀方法、电子设备的制造方法及蒸镀装置-CN201811529168.6在审
发明人： 市原正浩 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种即使基板大型化也能够抑制膜模糊的蒸镀方法、电子设备的制造方法以及蒸镀装置。在本发明的蒸镀方法中，使基板以直立的状态定位，并且在基板的主面侧配置由多个长条状掩模(310)构成的掩模，通过相对于这些基板及掩模而移动的蒸发源，经由分别形成于多个长条状掩模(310)的多个开口部(311)，在上述基板的主面实施成膜，其特征在于，多个开口部(311)均由矩形的开口构成，在进行成膜时，使上述蒸发源在与开口部(311)的长边方向一致的方向上移动。
基板掩模开口部长条状蒸发源成膜蒸镀主面基板大型化电子设备方向一致蒸镀装置上移动直立长边开口模糊移动配置制造

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法及有机电致发光元件的制造方法-CN201580061590.1有效
发明人： 市原正浩;松本荣一;小林勇毅;菊池克浩;川户伸一;越智贵志;松永和树;井上智 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2015-11-10 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供能对应基板的大型化的具备新颖对准机构的蒸镀装置、蒸镀方法、及有机电致发光元件的制造方法。本发明是一边在第一方向运送基板一边进行蒸镀的蒸镀装置，蒸镀装置具备：掩膜；含有基板保持部、及从基板保持部向掩膜侧突出沿着第一方向被设置的导引部的基板拖盘；被设置在掩膜一方的第一端部、或导引部的距离测定装置；被连接于掩膜另一方的第二端部的驱动装置；距离测定装置，在导引部与第一端部对向时，测定距离测定装置与导引部、或第一端部之间的距离；驱动装置，可基于距离测定装置的测定值，在与第一方向正交的第二方向驱动掩膜。
掩膜距离测定装置蒸镀装置导引部第一端部蒸镀有机电致发光元件基板保持部驱动装置基板第二端部对准机构方向驱动方向正交运送基板对向拖盘制造

[发明专利]限制板单元和蒸镀单元以及蒸镀装置-CN201610815187.X有效
发明人：小林勇毅;菊池克浩;川户伸一;井上智;越智贵志;松本荣一;市原正浩 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2014-03-10 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：蒸镀单元(1)具备蒸镀掩模(50)、蒸镀源(10)和限制板单元(20)。限制板单元(20)具备在X轴方向隔开设置的多个第一限制板(32)和俯视时在第一限制板(32)上在X轴方向隔开设置的多个第二限制板(42)，在X轴方向，相对于每1块第一限制板(32)设置有至少2块第二限制板(42)。
限制单元以及装置

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL元件-CN201580041850.9有效
发明人：越智贵志;川户伸一;小林勇毅;松永和树;菊池克浩;市原正浩;松本荣一 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2015-07-24 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：在蒸镀装置(11)中设置有：第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)；与该第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)连接的共用配管(27)；与共用配管(27)连接并且放出来自第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒放出源(29)；与蒸镀颗粒放出源(29)连接的排气阀(32)；和与排气阀(32)连接的排气泵(34)。
装置方法有机 el 元件

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法-CN201480074226.4有效
发明人：越智贵志;井上智;小林勇毅;松永和树;川户伸一;菊池克浩;市原正浩;松本荣一 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供在整个蒸镀区域中基板上的蒸镀率的控制精度优异的蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法。本发明提供在基板上形成膜的蒸镀装置，上述蒸镀装置包括第一膜厚监视部和包含蒸镀源的蒸镀单元，并且，一边基于上述第一膜厚监视部的测定结果，控制从上述蒸镀源放出气化后的材料的部分与上述基板的被蒸镀的表面之间的距离，一边进行蒸镀。
装置方法有机电致发光元件制造

[发明专利]蒸镀方法和蒸镀装置-CN201680041032.3在审
发明人：越智贵志;川户伸一;松永和树;小林勇毅;菊池克浩;市原正浩 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2016-07-13 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：在第一至第三蒸镀源开口(61a、61b、61c)设置有对从这些第一至第三蒸镀源开口排出并向基板(10)去的第一至第三蒸镀颗粒(91a、91b、91c)的面内方向上的指向性进行限制的限制喷嘴(61a1～61c6)。
方法装置

[发明专利]蒸镀装置和有机电致发光元件的制造方法-CN201480044817.7有效
发明人：川户伸一;井上智;越智贵志;小林勇毅;菊池克浩;松本荣一;市原正浩 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2014-07-25 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供能够防止由蒸镀流的散射引起的异常成膜的发生的蒸镀装置、和利用该蒸镀装置形成薄膜图案的有机电致发光元件的制造方法。本发明为一种蒸镀装置，其包括具有射出蒸镀颗粒的喷嘴的蒸镀源；一体化限制板，该一体化限制板具有在该喷嘴的前方具有开口部的第一限制板、和配置在该第一限制板的开口部内的多个第二限制板；和具有多个缝隙的掩模。本发明还为一种有机电致发光元件的制造方法，其包括使用该蒸镀装置形成薄膜的图案的蒸镀工序。
装置有机电致发光元件制造方法

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