专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]存储元件和存储元件的制造方法-CN201780019005.0有效
  • 伊藤琢哉;嵯峨幸一郎 - 索尼公司
  • 2017-03-06 - 2023-06-02 - H10B61/00
  • [问题]为了提高存储元件的元件可靠性。[解决方案]提供了一种存储元件,其通过在基板上排列各自具有MTJ结构的多个磁阻元件而构成,其中,在每个磁阻元件中,在用作存储层的磁体层中的除了用作磁阻元件的区域之外的区域中存在去磁区域,并且该去磁区域包括合金,该合金包括:形成磁体层的第一化学元素;以及第二化学元素,其当与第一化学元素一起形成合金时具有fcc结构。
  • 存储元件制造方法
  • [发明专利]半导体装置及其制造方法-CN202080036161.X在审
  • 藤井宣年;瀬岛幸一;嵯峨幸一郎;三宅慎一 - 索尼半导体解决方案公司
  • 2020-06-26 - 2021-12-24 - H01L27/146
  • 提供一种能够减小用于电连接上基板和下基板的导电路径的电阻值的半导体装置及其制造方法。该半导体装置包括:第一半导体层,其包括经由元件分离区彼此相邻设置的多个元件形成区,多个元件形成区分别设置有第一有源元件;接触区域,其分别设置在多个元件形成区各者的表面的元件分离区侧;导电焊盘,其连接到多个元件形成区的各者,导电焊盘跨越所述元件分离区;第一绝缘层,其覆盖第一半导体层和导电焊盘;第二半导体层,其设置在第一绝缘层上,并设置有第二有源元件;第二绝缘层,其覆盖第二半导体层;和导电插塞,其嵌入在从第二绝缘层到达导电焊盘的连接孔中,由与导电焊盘的材料相同的材料形成并且与导电焊盘一体地形成。
  • 半导体装置及其制造方法
  • [发明专利]洗涤方法以及半导体装置的制备方法-CN200680031456.8无效
  • 嵯峨幸一郎;山田健二;东友之;村田裕史 - 索尼公司;三菱瓦斯化学株式会社
  • 2006-09-05 - 2008-08-27 - H01L21/304
  • 提供洗涤方法以及使用该洗涤方法的半导体装置的制备方法,该洗涤方法为除去基体表面上附着的金属化合物的洗涤方法,其特征在于,该方法包括对上述基体表面供给含有三烯丙基胺和三(3-氨丙基)胺中的至少一种的超临界二氧化碳流体并进行洗涤。对于构成导电层的导电材料,通过本发明的洗涤方法以及使用该洗涤方法的半导体装置的制备方法,可以有选择性地、高效地除去含有金属化合物的蚀刻残渣或研磨残渣。从而,导电层为配线时,可以防止因金属化合物的残留引起的配线的高电阻化的同时,防止因金属从金属化合物扩散到绝缘膜上引起的漏电流的增加。因此,可以提高配线可靠性,并且可以提高半导体装置的成品率。
  • 洗涤方法以及半导体装置制备
  • [发明专利]清洗方法-CN200410033070.3无效
  • 嵯峨幸一郎;渡边广也;东友之 - 索尼株式会社;三菱瓦斯化学株式会社
  • 2004-02-19 - 2005-01-26 - H01L21/306
  • 公开了一种使用超临界流体清洗具有微细结构的衬底的简单和可靠的方法。首先,衬底放置于处理室后密闭处理室。当压力/温度控制装置调节压力和温度时,气态二氧化碳从供应源引入处理室,且通过调整压力和温度引起相变以直接转变成超临界二氧化碳。其次,从供应源添加预定量叔胺化合物。提供超临界二氧化碳直到排出阀开启和处理室内部完全替换为超临界二氧化碳。将衬底浸入超临界二氧化碳预定时间进行清洗工序以除去粘附于衬底的外来物。此后,停止供应叔胺化合物和仅提供超临界二氧化碳在衬底上执行漂洗工序。最后,停止供应二氧化碳,排出超临界二氧化碳,使处理室内部温度和压力下降导致处理室内部的二氧化碳气化和衬底被超临界干燥。
  • 清洗方法

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