|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 58个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种原子层沉积设备用气体过滤设备-CN202310947568.3在审
-
金在宽;宋广伟;南炳允
-
东领科技装备有限公司
-
2023-07-31
-
2023-10-27
-
B03C3/017
- 本发明公开了一种原子层沉积设备用气体过滤设备，涉及原子层沉积技术领域。本发明包括底板，底板的顶部固定安装有固定杆，固定杆的数量为两组且呈平行对应设置，固定杆的对应侧壁滑动设置有活动杆，活动杆与固定杆的连接处设置有高度调节结构，活动杆的对应侧壁固定安装有处理箱，处理箱的顶部正中处固定安装有进料管。本发明通过设置静电吸尘板替代传统的过滤网对气体进行过滤，从而有效的避免了细小的粉末采用孔隙较小的过滤网，在遇到粒径较大的粉末时，极易发生堵塞现象的情况出现，同时采用交错设置的静电吸尘板配合分流管，能够有效的将气体内的粉尘进行阶梯式过滤，从而保证了过滤效果，大大提高了装置的实用性。
- 一种原子沉积备用气体过滤设备
- [发明专利]一种原子层沉积涂布设备-CN202310758815.5在审
-
宋广伟;张远昊;刘载安
-
东领科技装备有限公司
-
2023-06-26
-
2023-10-20
-
C23C16/455
- 本发明公开了一种原子层沉积涂布设备，涉及金属材料镀覆技术领域。本发明包括底板，所述底板的顶面中部设置有转动控制组件，所述转动控制组件顶部设置有安装筒，所述安装筒表面设置有高度控制组件，所述高度控制组件的顶部设置有支撑板，所述支撑板顶部固定连接有放置台，所述底板的顶部固定连接有反应室，所述反应室底部贯通开设有与支撑板相适配的出入口，所述反应室表面设置有原子层沉积组件，所述底板的顶面前侧固定连接有固定架，在使用中实现了便于对基材进行自动化原子层沉积加工的效果，能够对基材进行自动化上下料，有效提升了加工效率，也避免了人工拿取基材时导致掉落损坏的情况，使得加工过程中更加便捷。
- 一种原子沉积布设
- [发明专利]一种原子层沉积设备的沉积腔室-CN202311063579.1在审
-
张小强;宋广伟;金在宽
-
东领科技装备有限公司
-
2023-08-23
-
2023-10-03
-
C23C16/455
- 本发明公开了一种原子层沉积设备的沉积腔室，涉及原子层沉积技术领域。本发明，包括底架，所述底架顶面固定安装有沉积腔室，所述沉积腔室的表面设置有用于对沉积腔室内部的废气进行排出的排气机构，所述底架的内部设置有用于金属有机气体、反应气体以及冲洗气体进行充入的进气管道，所述底架的表面设置有用于升降机构，且升降机构的相对面设置有底板。本发明通过进气管道使得对沉积腔室的内部依次的充入金属有机气体、反应气体以及冲洗气体使得对基底进行原子层沉积，在进行原子层沉积时，通过排气机构使得对沉积腔室的内部的废气进行排出，且在排出废气时，通过过滤机构进而使得对废气中的颗粒物质进行过滤集中清理。
- 一种原子沉积设备
- [发明专利]一种矿产资源勘查分析仪-CN202111344399.1有效
-
刘彦志;宋雪;宋广伟;张飞;王腾飞;贺文同;解小东;边雄飞
-
刘彦志;宋雪
-
2021-11-15
-
2023-04-07
-
F16M11/04
- 本发明提供了一种矿产资源勘查分析仪，涉及矿产资源勘查技术领域，包括横梁，所述横梁为镂空结构，且横梁的顶端面固定连接有握把，在握把的内部底端开设有通槽，在握把的内部左右两侧还开设有纵向槽，在纵向槽的内部滑动连接有握杆，在握杆的底端还安装有复位弹簧A，解决了现有的缺乏分析仪在不使用时的有效保护，以及在寻找到矿产资源时无法进行快捷且高效的标记工作，进而存在着使用缺陷的问题，壳体的底端开设有滑槽，而滑槽内部又通过滑块安装有防护网，常态下两处防护网通过复位弹簧B保持合拢状态，而在当分析器向下运动时，可以通过分析器外侧所套接的磁环将两处防护网进行排开，进而达到保护分析器的目的。
- 一种矿产资源勘查分析
|
