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[实用新型]一种石墨坩埚-CN202222915746.8有效
发明人：黄治成;郭晨光;尹士平 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型属于单晶炉技术领域，公开了一种石墨坩埚。包括石墨外锅、石墨内锅和连接杆，石墨外锅和石墨内锅均为顶部开口，所述石墨内锅通过连接杆悬置在石墨外锅内、且所述石墨内锅外壁与石墨外锅内壁之间留有间隙，所述石墨内锅底部设置与石墨外锅连通的漏料孔。本实用新型的石墨坩埚结构简单，在单晶炉使用过程中，运用该石墨坩埚，可有效去除晶体生长初期熔体表面浮渣，大大缩短晶体生长周期，降低能源消耗，节约成本。
一种石墨坩埚

[发明专利]滤光片表面瑕疵的处理方法-CN202211368425.9在审
发明人：顾迎春;彭乔 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本公开提供了滤光片表面瑕疵的处理方法，包括步骤：开启等离子清洗机，清洗时间设定为250s～350s，通入氩气氛围；将待清洗滤光片放入tray盘内固定；然后放入等离子机内的铝电极板上，使滤光片的两面表面全部接触到清洗，开启清洗启动开关进行清洗；完后将tray盘取出；使用电阻率在≥15MΩ的纯水滴在滤光片表面，观察滤光片亲水效果，水珠在滤光片表面瞬间扩散视为亲水性合格，进行下一步骤，如不合格，重复进行上述步骤；将装有亲水测试合格滤光片的tray盘放入二流体离心清洗机舱体内转盘上的卡槽内或者放入超声波清洗机内的槽中，开启清洗启动开关进行清洗；完后将tray盘取出，完成清洗处理。使用本公开的方法清洗后的滤光片一次清洗良率可达90％以上。
滤光表面瑕疵处理方法

[发明专利]红外类碳膜底板褪膜处理方法-CN202211368444.1在审
发明人：梁献波;刘梦佳;刘克武;吴承伟 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C23F4/00 文献下载
摘要：本公开提供了红外类碳膜底板褪膜处理方法，包括步骤：S1，将镀过膜的底板放入类金刚石镀膜机内；S2，打开镀膜机，开启抽真空；S3，将镀膜机功率设置为600W～800W，通入氧气；S4，打开射频电源进行褪膜处理；S5，处理完成后，进行冷却；S6，冷却后开门取出底板，完成褪膜处理。本公开的方法可将镀过膜的底板表面残留的膜层处理掉，解决现有打磨工序产生的问题，大大节约人工成本，同时保护环境和人身健康。
红外类碳膜底板处理方法

[发明专利]碳化锗薄膜的制备方法-CN202211409432.9在审
发明人：戴辉;尹士平;刘克武;王奎;郭晨光 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本公开提供了一种碳化锗薄膜的制备方法，其包括步骤：步骤一，将待镀碳化锗保护膜的镜片放置在处理设备上，抽真空，加热；步骤二，氩气气氛下，真空及温度达到要求值后开启霍尔离子源对镜片进行离子清洗；步骤三，离子清洗完成后离子源通气改为碳源气体和氩气的混合气体，离子源产生大量碳离子；步骤四，产生碳离子后开启电子束加热，开始蒸发锗材料；步骤五，离子源电离产生的高能碳离子和电子束蒸发的锗产生化学反应生成碳化锗薄膜。本公开的方法无需使用锗靶，可避免溅射过程中产生的靶中毒。
碳化薄膜制备方法

[发明专利]一种新型微桥结构及其制备方法-CN202211256309.8在审
发明人：黄添萍;李海涛 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01J5/10 文献下载
摘要：本发明属于非制冷红外探测器技术领域，公开了一种新型微桥结构及其制备方法。所述微桥结构包括桥面以及锚柱，所述锚柱用于支撑桥面并连通桥面和衬底；所述锚柱包括通孔介质以及分布于通孔介质中的多根金属通孔柱，所述多根金属通孔柱将桥面和衬底连通。本发明减小了锚柱占用面积，占地小的同时，更加保障导通；增加了桥面的有效面积，提高了像元填充因子，进而提高吸收率和性能；微桥结构更加平坦和稳定，保证了谐振腔的高度以及稳定性，加强了导通的稳定性。
一种新型结构及其制备方法

[发明专利]一种振动测试分析的方法、装置、设备和存储介质-CN202211312141.8在审
发明人：黄新宇;潘可;王明冬;戚武江;陈浩然 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01H17/00 文献下载
摘要：本申请公开一种振动测试分析的方法、装置、设备和存储介质，通过采集制冷机系统的第一振动信号、第二振动信号和第三振动信号；对第一振动信号和第三振动信号进行时域分析，得到第一振动加速度和第三振动加速度；若第一振动加速度大于第一预设阈值，或第三振动加速度大于第三预设阈值，则确定制冷机系统振动超标，对第一振动信号和第三振动信号进行频域分析，得到制冷机系统振动的第一频率带和第三频率带；对第二振动信号进行阶次分析，得到共振频率带；基于第一频率带、第三频率带和共振频率带，确定制冷机系统的振动贡献是否来自共振。该方案可以准确的判断出制冷机系统的振动大小及共振频率，以便对后续制冷机系统的结构优化提供依据。
一种振动测试分析方法装置设备存储介质

[发明专利]一种驱动桥臂型微桥结构-CN202211260431.2在审
发明人：黄添萍;李海涛 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种驱动桥臂型微桥结构，通过引入驱动桥臂结构，对驱动桥臂施加电压产生焦耳热，利用桥臂材料的热膨胀效应使得桥臂运动，由于形成桥臂材料的热膨胀系数不同，在温度升高后，桥臂能向一侧弯曲，从而可将桥面整体抬高，更好地发挥谐振腔高度对吸收率的影响。并且，因为桥臂可将桥面抬高至理想高度，桥腿可设计成无高度或低高度的结构，避免了高桥腿在沉积刻蚀工艺所产生的影响，使微桥结构通过桥腿与衬底的读出电路形成良好的电连接，避免了桥腿接触不良的风险。
一种驱动桥臂型微桥结构

[发明专利]一种基于石墨底座精确定位的智能辅助装置及使用方法-CN202211222493.4在审
发明人：游阿峰;李想;许军;赵倩;王鑫;刘达;胡阳;郝先胜 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C30B19/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于石墨底座精确定位的智能辅助装置，包括主轴结构和定位结构。主轴通过螺纹与固定螺丝帽一端连接，视觉传感器与固定螺丝帽另一端衔接，同时，固定螺丝帽与主轴套筒通过支架连接，主轴套筒套在主轴外侧。本发明中，辅助装置通过结合智能机械臂使主轴在运行过程中实现自动化、可视化。借助于所述辅助装置，本发明另公开了基于石墨底座精确定位的方法以及取出石墨底座的方法。
一种基于石墨底座精确定位智能辅助装置使用方法

[发明专利]一种晶圆加工用精确测量装置-CN202211151144.8在审
发明人：许军 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明属于晶圆测量技术领域，公开了一种晶圆加工用精确测量装置。包括：底座；非接触式激光测量头；晶圆固定组件；移动组件。本发明中，在对晶圆进行吸附时，晶圆底部的灰尘会通过晶圆固定组件的第一通孔进入到第一内腔的内部，通过环形滤网对其进行过滤，其空气动力会带动斜形叶片和进行转动，进而使转轴带动安装套进行转动，利用安装套、连接杆和清洁刷之间的联动效应，使连接杆和清洁刷进行转动，此时清洁刷会对环形滤网进行自动清洁，防止长时间使用后环形滤网产生堵塞，对其使用造成影响，且同时空气中的悬浮物会通过第四通孔进入到安装框和收集框内进行统一收集和处理。
一种晶圆加工用精确测量装置

[发明专利]红外光学晶体材料氟化钙的制备方法-CN202211187382.4在审
发明人：安宁;狄聚青 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C01F11/22 文献下载
摘要：本公开提供了一种红外晶体材料氟化钙材料的制备方法，其包括步骤：步骤一，配制钙的化合物溶液和氟化物溶液；步骤二，将两种反应溶液缓慢加入到水中，搅拌，沉淀静置，离心分离、蒸馏水洗涤，真空干燥，获得氟化钙产品。本公开的方法反应时间短，工艺过程简单、操作方便、易于工业化、绿色环保、经济效益好且整个过程无污染物。
红外光学晶体材料氟化钙制备方法

[发明专利]一种斯特林制冷机-CN202211383406.3在审
发明人：吴海波;王明冬;李威;郝家宝 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： F25B9/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种斯特林制冷机，包括：质量相等的压缩机构和膨胀机构，压缩机构包括压缩连杆组件，其转动时，压缩机构进行活塞运动，膨胀机构包括膨胀连杆组件，其转动时，膨胀机构进行活塞运动；凸轮转轴，由电机驱动转动，压缩连杆组件和膨胀连杆组件均套设凸轮转轴且在凸轮转轴的轴向投影角度保持90°；凸轮转轴包括朝向压缩机构轴线和膨胀机构轴线的角平分线延伸方向设置的凹陷区。本发明通过将压缩机构和膨胀机构设计为质量相等的结构，以使压缩机构和膨胀机构在工作过程中惯性力合力方向保持不变，同时在凸轮转轴上设置凹陷区，以减小凸轮转轴转动过程中的离心力，进而平衡上述惯性力合力，以实现斯特林制冷机的动平衡工作状态。
一种斯特林制冷机

[发明专利]整流罩毛坯的加工装置及加工工艺-CN202211205609.3在审
发明人：李子娇;郭卫康;邓卫国;彭乔;潘亮 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本发明属于光学加工领域，公开了一种整流罩毛坯的加工装置和加工工艺。加工装置包括：加工平台；球罩吸附工装，球罩吸附工装的底部固定在加工平台上，球罩吸附工装的上表面内凹形成对切割部位进行限位的环形平台和位于环形平台下方的可容纳球面体的球面吸附面；平板固定组件，平板固定组件一端固定在加工平台上，另一端对整流罩毛坯的平板进行固定；砂轮组件。本发明设置对球面体进行真空吸附的球罩吸附工装、对平板进行固定的平板固定组件，真空吸附方式装夹不存在对整流罩表面的夹持力，避免了整流罩在加工过程中的破坏风险，同时对平板进行固定后，开始加工操作，提升加工精度、成功率、作业效率，节约成本，提高原料利用率，增加产量。
整流毛坯加工装置工艺

[发明专利]一种无接触高效晶圆精确测量装置-CN202211149907.5在审
发明人：许军;高倩妹;汪亮 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明属于晶圆测量技术领域，公开了一种无接触高效晶圆精确测量装置。包括工作台、设置在工作台上方的顶板、连接工作台与顶板的支撑架，工作台的台面上依次设置晶圆放置架、上料组件、夹紧固定组件、测量组件；所述晶圆放置架被设置为用于放置晶圆；所述上料组件被设置为将晶圆放置架上的晶圆转移至加紧固定组件；所述夹紧固定组件被设置为将晶圆夹紧、转移至测量组件进行测量。本发明无接触高效晶圆精确测量装置在使用过程中不需要人工手动的方式对晶圆进行移动，操作便捷，工作效率高，可以实现批量化监测。
一种接触高效精确测量装置

[发明专利]一种铝盘芯片治具-CN202211259421.7在审
发明人：陈国雪;李兆营;姚浩强;李海涛;梁靖 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝盘芯片治具，包括多个放置芯片的槽位，且每个芯片槽位对称设置有取片口，方便用镊子夹取芯片。本发明提供的芯片治具且可根据承载芯片的厚度而在铝盘上开出较深的槽位，方便承载芯片，且传输过程中芯片不易发生掉落、移位等。另外，本发明中使用铝制作的芯片治具，经过承载芯片到工艺腔内完成牺牲层释放工艺后，铝盘治具仍然不变形、能够维持良好的形貌特征，可以多次使用。最重要的是，铝盘治具在承载芯片到工艺腔内完成牺牲层释放的工艺后，牺牲层释放干净无残留，具有优异的工艺性能。
一种芯片

[发明专利]一种镀膜工装的处理方法-CN202211333504.6在审
发明人：梁献波;刘梦佳;刘克武 -专利权人： 安徽光智科技有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种镀膜工装的处理方法，包括如下步骤：A)将镀膜后的工装采用强碱清洗剂加热清洗，得到预处理的工装；B)将预处理的工装进行清洗后，在用氟化氢铵溶液浸泡，得到氟化氢铵浸泡后的工装；C)将浸泡后的工装进行清洗后，取出检查，烘烤，即得。本发明通过上述处理工艺可以将工装表面的膜层处理掉，不损伤工装本身结构进行处理，可以有效降低工装损坏，提升了工装的使用寿命，大大的节约成本。本发明的工艺良率高，膜残留少。
一种镀膜工装处理方法