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[发明专利]液处理装置、液处理方法以及存储介质-CN201710443443.1有效
发明人： 安倍昌洋;稻田博一;东徹;中岛常长;木下尚文;梶原英树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种液处理装置、液处理方法以及存储介质。在喷嘴载置区域与多个基板载置区域上的各处理位置之间进行喷嘴的输送的液处理装置抑制对与喷嘴连接的配管的损伤并且抑制生产率的下降。将装置构成为具备设置在基板载置区域的列的后方，用于载置喷嘴的喷嘴载置区域以及用于使臂绕转动轴在水平方向上转动并且使所述转动轴在左右方向上移动的驱动部。从喷嘴载置区域将所述喷嘴从与各处理位置对应地设定的待机位置中的与输送目的地的处理位置对应的待机位置的后方输送到该待机位置，接着使该喷嘴在该待机位置待机，之后将该喷嘴输送到所述处理位置。所述待机位置位于基板载置区域的外侧且在前后方向上观察时位于处理位置与喷嘴载置区域之间。
处理装置方法以及存储介质

[实用新型]基板输送装置-CN201820264171.9有效
发明人：林德太郎;原田浩树;寺本聪宽;时松徹;安倍昌洋;石丸和俊 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-02-23 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种能够精度较高地向模块的预定的位置输送基板的基板输送装置。构成一种装置，该装置具备：基板保持部(25)，其保持基板，为了从一个模块向另一个模块输送该基板而沿着横向移动自由；第1检测部(3)，其用于在基板保持部(25)从一个模块接收了基板之后对在向另一个模块输送之前该基板在该基板保持部(25)中的位置进行检测；第2检测部(55、56)，其用于检测以要位于为了向另一个模块交接基板而设定好的暂定位置的方式进行了移动的基板保持部(25)的实际位置与该暂定位置之间的错位；位置决定部(10)，其用于基于基板在基板保持部(25)中的位置和错位来决定用于向另一个模块交接基板的交接位置。
基板基板保持部基板输送装置检测错位交接本实用新型位置决定部交接位置模块接收实际位置输送基板高地移动自由

[发明专利]基板输送装置、基板输送方法以及存储介质-CN201810155440.2在审
发明人：林德太郎;原田浩树;寺本聪宽;时松徹;安倍昌洋;石丸和俊 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-02-23 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种能够精度较高地向模块的预定的位置输送基板的基板输送装置、基板输送方法以及存储介质。构成一种装置，该装置具备：基板保持部(25)，其保持基板，为了从一个模块向另一个模块输送该基板而沿着横向移动自由；第1检测部(3)，其用于在基板保持部(25)从一个模块接收了基板之后对在向另一个模块输送之前该基板在该基板保持部(25)中的位置进行检测；第2检测部(55、56)，其用于检测以要位于为了向另一个模块交接基板而设定好的暂定位置的方式进行了移动的基板保持部(25)的实际位置与该暂定位置之间的错位；位置决定部(10)，其用于基于基板在基板保持部(25)中的位置和错位来决定用于向另一个模块交接基板的交接位置。
基板基板保持部基板输送装置检测存储介质基板输送错位交接位置决定部交接位置模块接收实际位置输送基板高地移动自由

[实用新型]液处理装置-CN201720684031.2有效
发明人： 安倍昌洋;稻田博一;东徹;中岛常长;木下尚文;梶原英树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种液处理装置。在喷嘴载置区域与多个基板载置区域上的各处理位置之间进行喷嘴的输送的液处理装置抑制对与喷嘴连接的配管的损伤并且抑制生产率的下降。将装置构成为具备设置在基板载置区域的列的后方，用于载置喷嘴的喷嘴载置区域以及用于使臂绕转动轴在水平方向上转动并且使所述转动轴在左右方向上移动的驱动部。从喷嘴载置区域将所述喷嘴从与各处理位置对应地设定的待机位置中的与输送目的地的处理位置对应的待机位置的后方输送到该待机位置，接着使该喷嘴在该待机位置待机，之后将该喷嘴输送到所述处理位置。所述待机位置位于基板载置区域的外侧且在前后方向上观察时位于处理位置与喷嘴载置区域之间。
处理装置