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- [发明专利]一种高灵敏度的压电麦克风及制作方法-CN201811479373.6有效
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唐楚滢;蔡耀;周杰;邹杨;孙成亮
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武汉大学
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2018-12-05
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2020-09-22
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H04R1/08
- 本发明公开了一种高灵敏度的压电麦克风及制作方法,压电麦克风包括具有空腔的基底和位于基底上的压电堆叠结构,基底上的空腔为真空的振动空腔,压电堆叠结构依次包括底部电极,压电薄膜和顶部电极,基底包括基底底层,基底中间层和基底顶层,首先在基底底层上刻蚀出空腔,然后沉积基底中间层,之后在真空环境下基底中间层上键合基底顶层形成振动空腔,然后在基底顶层上刻蚀环形凹槽,在环形凹槽内沉积牺牲层,然后在基底顶层上依次沉积底部电极,压电薄膜和顶部电极,在顶部电极上开设腐蚀孔,将牺牲层腐蚀掉,完成压电麦克风及制作。本发明能够保证空腔内部的真空状态,不存在空气抵抗,大大提高了压电薄膜的应变应力,输出更强的电信号。
- 一种灵敏度压电麦克风制作方法
- [发明专利]一种薄膜体声波谐振器-CN202010128263.6在审
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孙成亮;刘炎;蔡耀;邹杨;高超
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武汉大学
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2020-02-28
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2020-08-04
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H03H9/17
- 本发明提供一种薄膜体声波谐振器,包括:上电极、压电层、下电极、上温度补偿层、中温度补偿层和下温度补偿层;上、中、下温度补偿层内嵌于上电极、压电层和下电极中;上、中、下温度补偿层由分别由任意形状的柱形结构组成;其中,柱形结构呈周期性分布,形成上、中、下散射体;上、中、下温度补偿层的散射体结构与分别与上电极、压电层、下电极构成上、中、下声子晶体结构。本发明通过嵌入多层温度补偿结构,可以与压电层形成多层声子晶体结构,一方面可以改变谐振器的温度频率系数,实现频率随温度的零漂移;另一方面,声子晶体结构能够在特定工作频率范围内对杂波进行屏蔽和抑制,可以大大提高谐振器的Q值。
- 一种薄膜声波谐振器
- [发明专利]一种超高频压电谐振器及其制备方法-CN202010010106.5在审
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孙成亮;刘婕妤;王磊;童欣;邹杨;周杰
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武汉大学
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2020-01-06
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2020-06-16
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H03H3/02
- 本发明属于谐振器领域,提供一种超高频压电谐振器及其制备方法,解决超高频压电谐振器采用背部刻蚀的方式在衬底上形成空腔而造成刻蚀表面不平整、刻蚀厚度不均匀和应力集中而影响器件的性能的问题。该方法包括在衬底的上表面刻蚀出凹槽;在凹槽的表面沉积第一隔离层,第一隔离层的厚度小于所述凹槽的深度;在整个凹槽内填满牺牲层,牺牲层的上表面与衬底层的上表面齐平;在填有牺牲层的衬底的上表面沉积第二隔离层;在第二隔离层的上表面形成压电层;在压电层的上表面形成电极层;在凹槽的上方形成释放口,通过释放口去除牺牲层形成空腔。本发明通过用两个隔离层包围凹槽内的牺牲层,可以避免去除牺牲层时造成刻蚀表面不平整的问题。
- 一种超高频压电谐振器及其制备方法
- [实用新型]一种烤箱门体密封结构-CN201921288160.5有效
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罗伟;孙成亮
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中山市劲科电器有限公司
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2019-08-09
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2020-06-05
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E06B3/72
- 本实用新型提供一种烤箱门体密封结构,包括外门板、外门框、内门框以及内门板,所述内门板和外门板分别设置于外门框的内侧和外侧,所述内门框置于内门板的周沿外且与外门框连接,所述内门框和内门板之间设置有密封条,该密封条形成折部和凹部,该凹部包围内门板的外边沿,所述折部包围内门框的内边沿,通过在内门板与内门框之间设置具有折部和凹槽的密封条,既把内门体和内门框通过密封条分离,同时形成整体连接,降低了内门体上的热向内门框和外门框辐射的问题,避免温升过高、烫手的问题。
- 一种烤箱密封结构
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