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- [发明专利]感光性树脂组合物及其层压体-CN201180069663.3有效
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姬田优香理;井出阳一郎
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旭化成株式会社
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2011-03-29
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2017-03-01
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G03F7/033
- 本发明提供了作为抗蚀剂或抗镀覆剂等抗蚀材料的具有优异的分辨率和密合性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物特征在于，含有（A）粘结剂聚合物20～90重量%、（B）光聚合性化合物5～75重量%和（C）光聚合引发剂0.01～30重量%，所述（A）粘结剂聚合物是通过使羧酸或羧酸酐的第一单体与具有1个聚合性不饱和基团且非酸性的第二单体共聚而获得的重均分子量5,000～100,000的共聚物，所述（B）光聚合性化合物是加聚性单体，且对上述感光性树脂组合物进行曝光、接着进行显影后获得的感光性树脂层的水接触角超过60°、且杨氏模量为1.5GPa以上且低于4GPa。
- 感光性树脂组合及其层压
- [发明专利]感光性树脂组合物及层压体-CN200880001204.X无效
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姬田优香理
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旭化成电子材料株式会社
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2008-01-25
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2009-10-28
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G03F7/027
- 本发明的目的在于，提供具有耐碱性贵金属氰化物镀浴的性能，具有优异的分辨率、密合性和抗蚀剂剥离性，并且可用碱性水溶液显影的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的感光性树脂层压体。一种感光性树脂组合物，其特征在于，该感光性树脂组合物含有20～90质量％的(a)含羧基的粘结剂，5～75质量％的(b)具有至少一个末端烯属不饱和基团的加成聚合性单体，0.01～30质量％的(c)光聚合引发剂，其中，作为(b)具有至少一个末端烯属不饱和基团的加成聚合性单体，在感光性树脂组合物整体中含有1～50质量％的特定化合物。
- 感光性树脂组合层压
- [发明专利]感光性树脂组合物-CN200780016470.5无效
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姬田优香理;富田宏朗;足立辉彦
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旭化成电子材料元件株式会社
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2007-04-26
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2009-05-20
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G03F7/004
- 本发明为了提供感光度、分辨率和附着力优异、干膜保存时的显色和脱色这样的色调稳定性良好、能通过碱性水溶液显影的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的感光性树脂层压体、使用该感光性树脂层压体在基板上形成抗蚀图案的方法以及该抗蚀图案的用途，使用以下的组合物。一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(a)含有含α，β-不饱和羧基的单体作为共聚成分、酸当量为100～600、重均分子量为5000～500000的热塑性共聚物：20～90质量％；(b)具有至少一个末端烯属不饱和基团的加成聚合性单体：5～75质量％；(c)光聚合引发剂：0.01～30质量％；(d)亚磷酸酯化合物：0.01～5质量％；(e)碱性染料：0.001～0.3质量％。
- 感光性树脂组合
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