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- [实用新型]一种半导体晶圆输送装置-CN202320647939.1有效
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纪海瑞;白晓磊;王泽鹏
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大连诺豪联恒电子科技有限公司
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2023-03-29
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2023-08-11
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H01L21/677
- 本实用新型属于半导体晶圆输送设备技术领域，尤其为一种半导体晶圆输送装置，包括两个条形板、输送组件、驱动组件、转动辊、分料组件、调节组件和硅片花篮，两个条形板的底侧固定安装有两个支撑板，所述输送组件和驱动组件均设置在两个条形板上，且驱动组件与输送组件相连接，所述分料组件设置在两个条形板相互靠近的一侧，且分料组件与输送组件相适配，两个条形板相互靠近的一侧均开设有导向槽，两个导向槽内均滑动安装有导向板。本实用新型设计合理，操作简单便捷，能够保证半导体晶圆稳定且整齐的码放在硅片花篮内，同时也方便对硅片花篮进行取放和更换操作，有效的提高了硅片输送效率和码放效果。
- 一种半导体输送装置
- [实用新型]一种新型晶圆承载装置-CN202320194418.5有效
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纪海瑞;白晓磊;林延春
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大连诺豪联恒电子科技有限公司
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2023-02-13
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2023-07-28
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种新型晶圆承载装置，包括底板，所述第一限位板的内侧上方与盘体的顶部相贴合，所述第一限位板的底部固接有与顶板的一侧通孔活动相连的连杆，所述连杆的下方通过螺栓固接有滑套，所述滑套的内壁滑动卡接有与顶板底部相固接的滑轨，所述滑轨的外壁活动相连有第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别与滑轨的一侧和滑套的一侧固定连接。本实用新型涉及晶圆承载装置技术领域，通过橡胶柱、滑块和插槽之间的配合，实现了对盘体的快速固定，解决了现有的盘体固定方式需要借助外界工具来转动螺栓进行固定，这样的固定方式延长了工作时间，在连续作业中降低了工作效率的问题。
- 一种新型承载装置
- [发明专利]一种半导体设备节能控制系统-CN202211695203.8在审
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纪海瑞;曲红杰;白晓磊
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大连诺豪联恒电子科技有限公司
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2022-12-28
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2023-04-07
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G05B9/03
- 本发明提供一种半导体设备节能控制系统，涉及半导体设备节能控制技术领域。该系统包括数据采集模块，采集芯片生产设备的主机台所使用的特定气体，并传输到主控制器；主控制器根据主机台是否使用特定气体来控制真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的工作状态；报警模块，在主尾气处理设备发生故障时报警；显示模块，显示主机台和真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的运行情况；历史数据查询与导出模块，实现真空泵、主尾气处理设备和备用尾气处理设备历史运行数据的查询及导出。该系统通过判断主机台的状态来控制真空泵及尾气处理设备的运行状态，减少用水量，减少压缩空气的用量，来减少热量消耗从而降低能耗。
- 一种半导体设备节能控制系统
- [实用新型]一种十字型固定小型吊具-CN202222288880.X有效
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纪海瑞;白晓磊;林延春
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大连诺豪联恒电子科技有限公司
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2022-08-30
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2023-01-20
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B66C1/02
- 本实用新型涉及吊具技术领域，具体涉及一种十字型固定小型吊具，包括壳体一，所述壳体一顶部设有连接座，所述壳体一内底壁可拆卸的设有电机一，所述电机一的输出端设有锥形齿轮一，所述壳体一上下两侧内壁通过轴承一转动连接有圆杆，所述圆杆的外壁设有与锥形齿轮一啮合相连的锥形齿轮二，所述圆杆的底端延伸出壳体一外，且设有壳体二，所述壳体二内底壁可拆卸的设有电机二，所述电机二的输出端设有齿轮一。该装置采用吸盘吸附固定工件，通过电机可驱动工件进行纵向旋转调节和水平旋转调节，可有效的实现对吊装工件进行多角度调节，从而更方便对工件进行移动吊装或摆放，更符合实际的使用需求。
- 一种字型固定小型
- [实用新型]一种晶圆反应前的预热校准装置-CN202222030386.3有效
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纪海瑞;白晓磊;林延春
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大连诺豪联恒电子科技有限公司
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2022-08-03
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2023-01-06
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H01L21/68
- 本实用新型公开了一种晶圆反应前的预热校准装置，包括矩形壳体，所述矩形壳体的内上表面中心安装有电缸，所述电缸的上端穿过矩形壳体的上侧壁且上端面固定有圆形壳体，所述圆形壳体的内部设有加热组件，所述矩形壳体的内部且位于电缸的左右两侧均设有长条板，两个所述长条板的上端均穿过矩形壳体的上侧壁且上端面相对固定有两个V型夹块，所述箱体的内部还设有用于带动两个长条板相互靠近和远离的驱动组件，本实用新型采用两个V型夹块对晶圆进行夹持固定，因此在夹紧固定的过程中可以自动对晶圆进行定位，在晶圆被夹持固定后，晶圆与两个V型夹块的接触方式为线接触，因此接触面积很小，提高了晶圆的校准效果。
- 一种反应预热校准装置
- [实用新型]一种PECVD沉积腔体和PECVD沉积装置-CN202121951826.8有效
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姜兴辉
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大连诺豪联恒电子科技有限公司
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2021-08-19
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2022-01-14
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C23C16/50
- 本实用新型公开了一种PECVD沉积腔体和PECVD沉积装置，所述主体一侧设有所述电动机，所述电动机固定连接所述旋转杆，所述旋转杆的一端转动连接所述第一连接杆的一端，所述第一连接杆的另一端转动连接所述第一沉积腔体，所述主体内部设有所述支架，所述主体一侧设有所述密封阀门，所述密封阀门固定连接所述真空机，所述主体顶部设有所述气体扩散器，所述气体扩散器固定连接所述气管的一端，所述气管的另一端固定连接所述化学气瓶，本实用新型通过转动旋转杆与连接联动第一沉积腔体与第二沉积腔体，实现对基片的翻转，使得基片在沉积时效果更均匀，同时沉积腔体内部采用弧形槽设计，使得上表面与下表面温度误差不会太大，同时加强了效率。
- 一种pecvd沉积装置
- [实用新型]一种ALD方式制备非金属的装置-CN202121952888.0有效
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姜兴辉
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大连诺豪联恒电子科技有限公司
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2021-08-19
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2022-01-14
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C23C16/455
- 本实用新型公开了一种ALD方式制备非金属的装置，所述反应器内部两侧设有所述滑道，所述滑道内部嵌有所述滑动装置，两个所述滑动装置之间设有所述支架，所述支架上设有所述反应腔底座，所述反应腔底座底部设有所述泄气孔，所述反应腔底座上方对应位置设有所述反应腔体，所述反应腔体固定连接在所述固定杆上，所述固定杆两端固定连接在所述反应器内部，所述反应腔体顶部固定连接所述反应气管，所述反应器顶部固定连接所述冲洗气管，本实用新型通过旋转式气孔可以似的反应腔内原子层沉积更加均匀，同时加强反应效率，同时冲洗气管产生的冲洗气体冲洗反应器，同时反应器内部涂有石墨烯涂层不易残留有反应气体，增加了反应器的使用寿命。
- 一种ald方式制备非金属装置
- [实用新型]一种风扇过滤机组电源控制器-CN202023293169.0有效
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纪海瑞;吴庸
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大连诺豪联恒电子科技有限公司
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2020-12-30
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2021-10-19
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H02M1/00
- 本实用新型公开了一种风扇过滤机组电源控制器，包括外壳，所述外壳的前侧安装有机台电源输入接口，所述外壳的前侧安装有24小时不间断电源输入接口，所述外壳的内腔底端安装有固定导轨，所述固定导轨的顶端安装有24V直流开关电源，所述固定导轨的顶端左侧安装有24V直流接触器，所述固定导轨的顶端安装有120V继电器，所述固定导轨的顶端右侧安装有接线端子，所述外壳的内腔前侧右端安装有空气开关。该风扇过滤机组电源控制器，占用空间小便于安装，并且不需要改动需供电设备的一切电路，从而在保留原机供电系统的基础上接入24小时不间断电源，并且不会存在电路改造风险，并且大大的提高除紧急情况下风机过滤机组的工作效率。
- 一种风扇过滤机组电源控制器
- [实用新型]一种便携式空压机-CN202020673017.4有效
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姜兴辉;纪海瑞;曲红杰;白晓磊;林延春
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大连诺豪联恒电子科技有限公司
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2020-04-28
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2021-04-09
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F04B39/00
- 本实用新型提供了一种便携式空压机，包括空压机本体和基座，所述空压机本体底部固定在基座上，所述基座底部设置有滑轮，所述基座的左、右两端设置有定位制动装置，所述定位制动装置包括定位块、定位块驱动装置和支撑块，所述定位块包括罩体和定位杆所述罩体下方设置有弧形凹槽，所述两侧的支撑块由支撑轴固定连接，所述支撑轴中部设置有定位块驱动装置，所述定位块驱动装置包括涡轮、蜗杆和驱动电机，所述涡轮上方设置有蜗杆，所述蜗杆的端部通过连轴器与驱动电机的输出轴固定连接，本实用新型能有效防止滑轮滑动的作用，使便携式空压机在工作时对地面的抓力更好，能抵消部分后座力，防止便携式空压机产生移动。
- 一种便携式空压机
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