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[发明专利]基板角位置确定方法-CN201780055184.3有效
发明人：中岛裕;大矢佳幸 -专利权人：优志旺电机株式会社
申请日： 2017-08-28 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种能够以较高的精度确定矩形状的基板的角位置的实用性的技术。在以角位于照相机(4)的摄影区(41)内的方式将矩形状的基板(S)配置之后，将摄影区(41)用照相机(4)摄影，在通过将摄影数据二值化而检测的团块(Bs)判断为在摄影区(41)内有基板(S)的角的情况下，在各X方向扫描线(Lx)中将最外侧的从暗向明的边界点(P)作为X方向边缘点候选，并且在各Y方向扫描线(Ly)中将最外侧的从暗向明的边界点(P)作为Y方向边缘点候选。将经过X)方向边缘点候选的近似直线与经过Y方向边缘点候选的近似直线的交点确定为基板的角(C)的位置。
基板角位置确定方法

[发明专利]用于对准的照明装置和具有该照明装置的曝光装置-CN201110346598.6有效
发明人：种村次记;中岛裕;名古屋淳;大矢佳幸 -专利权人：株式会社阿迪泰克工程
申请日： 2011-11-04 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及用于对准的照明装置和具有该照明装置的曝光装置。在CCD摄像机(3)周围对标记进行照明的环形照明装置(1)具有：照明装置(1)、照明亮度控制装置(10)、照明高度控制装置(11)、照明颜色控制装置(12)以及控制上述这些装置的控制器(5)，所述照明装置1在照明高度和照明颜色的组合为K＝1到M，且将照明亮度以1％为一步，从1％变为100％的情况下，通过CCD摄像机(3)对标记进行检测，并且由对比度检测/确定装置(23)对标记对比度进行检测以及由变换检测/确定装置(24)对变化进行检测，随后基于所述变化确定最佳照明条件。
用于对准照明装置具有曝光