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[实用新型]一种减薄机大盘-CN202121427711.9有效
发明人： 周石坚;黄郁声 -专利权人：东莞市智控鑫能实业有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本实用新型适用于晶圆减薄机相关零部件领域，提供了一种减薄机大盘，所述大盘包括盘体，所述盘体的材料为大理石，所述盘体上开设有多个用于放置真空吸盘夹紧芯片主轴的主轴放置孔；所述真空吸盘夹紧芯片主轴通过连接组件安装在盘体上；所述主轴放置孔沿盘体圆周方向间隔设置。本实用新型实施例提供的一种减薄机大盘，设置盘体为大理石材料，加工简单，工艺流程简单，解决传统的大盘的制造过程中弄由于采用铸铁材料而造成工艺复杂加工困难且对工人的技术水平要求高的问题。
一种减薄机大盘

[实用新型]一种精密调整块及其减薄机-CN202121429526.3有效
发明人： 周石坚;黄郁声 -专利权人：东莞市智控鑫能实业有限公司
申请日： 2021-06-26 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本实用新型适用于半导体晶圆减薄机相关领域，提供了一种精密调整块及其减薄机，其中所述调整块包括调整垫块和自锁件，所述调整垫块设有两个且为L形结构，两个所述调整垫块上均设有连接孔，当两个所述调整垫块组合成矩形并到位后，两个所述连接孔重合；所述自锁件设置在两个所述调整垫块之间且均与两个调整垫块连接，用于在两个所述调整垫块组合成矩形并到位后对两个调整垫块限位。通过两个调整垫块组合，并且与自锁件配合成一个调整垫块，能够保证真空吸盘夹紧主轴的安装平面相对于机台平面的调试精度。
一种精密调整及其减薄机

[实用新型]一种轴承真空吸盘夹紧主轴的污油收集装置-CN202121429590.1有效
发明人： 周石坚;黄郁声 -专利权人：东莞市智控鑫能实业有限公司
申请日： 2021-06-26 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： F16N31/02 文献下载
摘要：本实用新型适用于半导体晶圆减薄机领域，提供了一种轴承真空吸盘夹紧主轴的污油收集装置，所述装置包括集油件，所述集油件套设在旋转轴与角接触轴承的油封缝隙处，用于承接油封缝隙中泄漏的污油。通过设置集油件，在离心力的作用，使得油封缝隙中多余的污油会落到集油件中，从而起到收集污油的作用。解决了现有技术中由于没有对污油进行回收收集，污油会掉落在下端的同步轮、同步轮皮带上，使同步轮装置打滑从而造成影响芯片加工的问题。
一种轴承真空吸盘夹紧主轴收集装置

[实用新型]一种减薄机的立柱-CN202121428503.0有效
发明人： 周石坚;黄郁声 -专利权人：东莞市智控鑫能实业有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型适用于全自动半导体晶圆减薄机领域，提供了一种减薄机的立柱，所述装置包括立柱本体，所述立柱本体的材质为大理石且设置在基座顶部一端，所述基座的中部设置有沉槽，所述立柱本体还通过连接件与与空气主轴和伺服电机连接。通过设置材料为大理石的立柱本体，能够在比较简单的工艺流程加工出具有高金柱的零部件，解决现有技术中立柱为铸铁材质，从而造成加工工艺复杂，对技术水平要求高的问题。
一种减薄机立柱

[实用新型]一种减薄机用基座-CN202121427750.9有效
发明人： 周石坚;黄郁声 -专利权人：东莞市智控鑫能实业有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型适用于减薄机相关领域，提供了一种减薄机用基座，所述基座包括基体和连接件，所述基体材质为大理石，所述基体的中心处开设有用于收纳的收纳槽，所述基体的壳体上还开设有多个与收纳槽连通的布线孔；所述连接件，与基体连接，用于将基体安装。通过将基体的材质设置成大理石，能够便于加工，且便于加工到高精度的工件，而且设置的收纳槽能够避空大盘组件下端的伺服电机和气缸等机件，布线孔便于伺服电机电缆坦克链走线。解决了现有技术的基座件和立柱采用灰铁或球铁铸造，使得导致工艺复杂，加工困难的问题。
一种减薄机用基座

[实用新型]一种真空吸盘夹紧主轴及晶圆减薄机-CN202120025621.0有效
发明人： 周石坚;黄郁声 -专利权人：东莞市智控鑫能实业有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： B24B37/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空吸盘夹紧主轴，并基于该真空吸盘夹紧提出了一种晶圆减薄机，所述真空吸盘夹紧主轴包括：旋转轴；角接触向球轴承，安装在所述旋转轴上；外限位件，连接在相邻两个所述角接触向球轴承的外圈之间；内限位件，连接在相邻两个所述角接触向球轴承的内圈之间，用于对所述角接触向球轴承的滚道游隙进行限位，能够在保证轴承的旋转工作精度要求的前提下，可有效阻抗滚道游隙会出现变小的问题，从而使具有接触向球轴承的真空吸盘夹紧主轴能够替代昂贵且技术复杂的微孔石墨气浮吸盘夹紧主轴，该真空吸盘夹紧主轴的调试结果可以满足晶圆芯片在减薄机磨削加工精度所要求的卡死需求。
一种真空吸盘夹紧主轴晶圆减薄机

[实用新型]一种真空吸盘夹紧主轴排气结构及晶圆减薄机-CN202120025678.0有效
发明人： 周石坚;黄郁声 -专利权人：东莞市智控鑫能实业有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： F16C35/063 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空吸盘夹紧主轴排气结构，并基于该真空吸盘夹紧主轴排气结构提出了一种晶圆减薄机，所述真空吸盘夹紧主轴排气结构包括安装在旋转轴上的角接触球轴承，还包括单向排气件，用于向外排出两个所述角接触球轴承之间的高温高压气体，可以将高温高压气体向外排出，以保证整体结构的稳定性，避免通过油封脉冲排放高温高压气体，导致的真空吸盘夹紧主轴在旋转工作过程中产生震动的问题发生。
一种真空吸盘夹紧主轴排气结构晶圆减薄机

[实用新型]一种双轴承浮动限位块及半导体晶圆减薄机-CN202120015129.5有效
发明人： 周石坚;黄郁声 -专利权人：东莞市智控鑫能实业有限公司
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双轴承浮动限位块，并基于该双轴承浮动限位块提出了一种半导体晶圆减薄机，所述双轴承浮动限位块包括气浮座和轴承，所述气浮座上连接有安装臂，安装臂的两个自由端位置处均安装有轴承，轴承与大盘组件相切，用双轴承浮动限位块来替代单轴承限位块对大盘组件外圆进行三点定位，有定位刚性好、旋转稳定的优点，也由于接触应力减小，大大延长了轴承的使用寿命，比之单轴承单点接触分散了皮带的张紧力从而大大提高大盘外圆定位的刚性和稳定性。
一种轴承浮动限位半导体晶圆减薄机

[实用新型]一种真空吸盘夹紧主轴注油结构及晶圆减薄机-CN202120025067.6有效
发明人： 周石坚;黄郁声 -专利权人：东莞市智控鑫能实业有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： F16C35/063 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空吸盘夹紧主轴注油结构，并基于该真空吸盘夹紧主轴注油结构提出了一种晶圆减薄机，所述真空吸盘夹紧主轴注油结构包括通过压紧块安装在旋转轴上的角接触球轴承，处于角接触球轴承上方的所述压紧块上开设有注油通道，所述注油通道内安装有直通式压注油杯，所述角接触球轴承处还安装有上油封和下油封，本实用新型的有益效果是：其可以通过压油枪压入油杯孔注入油脂进行补油操作，对角接触球轴承内的油脂进行及时的补充，解决了现有技术中，角接触球轴承内油脂无法得到及时补充，造成角接触球轴承的滚珠与滚道之间产生干摩擦，进而导致工作噪音和滚动游隙变大造成芯片尺寸不稳定的问题。
一种真空吸盘夹紧主轴注油结构晶圆减薄机

[实用新型]一种大盘组件外圆定心结构及半导体晶圆减薄机-CN202120015523.9有效
发明人： 周石坚;黄郁声 -专利权人：东莞市智控鑫能实业有限公司
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大盘组件外圆定心结构，并基于该大盘组件外圆定心结构提出一种半导体晶圆减薄机，所述大盘组件外圆定心结构包括安装在大理石基座上的大理石大盘，所述大理石基座对应大理石大盘的竖直投影位置处安装有若干个气浮凸台，所述大理石基座对应大理石大盘的外圆周位置处还安装有多个浮动限位块，大理石大盘的底部安装有气缸定位销，大理石基座的对应位置处设有与之配合的定位销孔，依靠大理石大盘的自重（约为一吨）以及一面两销的方式实现定位，大理石大盘的定心方式相比现有技术采用中心轴进行定心的方式具有结构简单、故障率低和维修方便的特点。
一种大盘组件定心结构半导体晶圆减薄机

[实用新型]一种大盘结构及半导体晶圆减薄机-CN202120028155.1有效
发明人： 周石坚;黄郁声 -专利权人：东莞市智控鑫能实业有限公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大盘结构，并基于该大盘结构提出了一种半导体晶圆减薄机，所述大盘结构包括大理石大盘，所述大理石大盘的圆周面上设有同步轮安装面和防护件安装面，所述防护件安装面上固定有防护件，所述防护件用于与气浮轴承限位机构配合，其将现有大理石大盘与气浮轴承限位机构的接触面上增加套箍，实际应用时，套箍与轴承发生滚动摩擦，大大提高了大理石大盘的工作寿命，解决了因大理石大盘的材料限制造成的大理石大盘易开裂磨损的问题。
一种大盘结构半导体晶圆减薄机

[实用新型]一种无盲区扫光机-CN201721190353.8有效
发明人： 周石坚 -专利权人：深圳市昌宏机电设备有限公司
申请日： 2017-09-18 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： B24B7/00 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种无盲区扫光机，包括箱体、箱体顶部设置的若干由电动机驱动的下磨盘、箱体顶部两侧设置有两个往复传动机构、两个往复传动机构上分别通过螺钉安装有两根立柱、两根立柱顶部之间通过螺钉连接有两根平行分布的横杆、横杆中部通过螺钉安装有带有第一驱动轮的第一驱动电机。本实用新型的一种无盲区扫光机，箱体两侧立柱下方分别设置有一个有步进电机驱动的往复传动机构，通过往复传动机构上面设置的第三丝杠与同步带轮来带动立柱及立柱及安装在立柱之间安装板上的上磨盘的前后往复运动，加工出来的产品厚度均匀，产品更加光亮，不会出现有水波纹现象，良品率更高。
往复传动机构立柱扫光机无盲区本实用新型螺钉安装箱体顶部横杆步进电机驱动前后往复运动电动机驱动水波纹现象厚度均匀两侧设置螺钉连接平行分布驱动电机同步带轮箱体两侧安装板良品率驱动轮上磨盘下磨盘丝杠加工

[发明专利]一种快递防盗的方法-CN201610233202.X在审
发明人： 周石坚;隆克武 -专利权人： 周石坚;隆克武
申请日： 2016-04-15 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： G07F17/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种快递防盗的方法。本申请的快递防盗方法，包括将快递物品放入保险箱中，对保险箱进行密码设置，收件人通过收件密码开启保险箱获得快递物品，以避免快递人员盗取或更换快递物品。本申请的快递防盗方法，将快递物品放入保险箱中，快递人员不能很容易的打开快递，无从知晓其中的内容，因此，在很大程度上避免了临时起意的盗窃行为，保障了物品的安全性。
一种快递防盗方法

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