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- [发明专利]套刻精度的控制方法和装置-CN202011101233.2有效
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周晓方;章杏
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长鑫存储技术有限公司
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2020-10-15
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2023-10-13
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G03F7/20
- 本申请实施例提供一种套刻精度的控制方法和装置,在确定当前层的套刻误差补偿值之前,先判断当前层是否存在相似层,其中,当前层和相似层均相对于同一基准层对准,且二者的套刻精度要求均相对于基准层;如果当前层存在相似层,则根据当前批次晶圆在相似层的套刻误差值,和/或之前批次晶圆在相似层的套刻误差值,确定当前批次晶圆在当前层的套刻误差补偿值;利用当前批次晶圆在当前层的套刻误差补偿值对当前批次晶圆的当前层进行光刻工艺。该方法能够将当前批次晶圆,和/或之前批次晶圆在相似层的套刻误差值作为参考数据进而丰富了参考数据,提高了套刻误差补偿值的准确度。
- 精度控制方法装置
- [发明专利]曝光处理方法、装置及系统-CN202210311839.1在审
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吴雨祥;周晓方
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长鑫存储技术有限公司
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2022-03-28
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2023-10-10
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G03F7/20
- 本申请提供一种曝光处理方法、装置及系统,该方法包括:物料管理系统将曝光设备的多个承片台分配给第一时间段内顺序排列的多个晶圆,得到各晶圆和各承片台之间的对应关系,顺序相邻的两个晶圆对应不同的承片台;物料管理系统将对应关系和晶圆的顺序发送给曝光设备,以使曝光设备根据对应关系和晶圆的顺序,将每个晶圆传输至对应的承片台进行曝光处理。本申请可以通过预先确定的对应关系执行各个制程的曝光处理过程,该对应关系中的顺序相邻的两个晶圆对应不同的承片台,从而在任意制程中均可以避免出现晶圆等待的情况,可以有效提高曝光处理效率。
- 曝光处理方法装置系统
- [实用新型]糖尿病患者检查报告管理装置-CN202320819829.9有效
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周晓方
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周晓方
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2023-04-13
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2023-09-29
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B65D43/16
- 本申请提供一种糖尿病患者检查报告管理装置,包括盒体,盒体的一端侧壁和顶壁组成能够开合的盖体,盖体的侧壁底部与盒体铰接,盒体内固定有与盖体的侧壁和顶壁垂直的隔板,盖体的侧壁上竖直设有通槽,四个通槽为一组,同时设有多组通槽,每个通槽内设有与其滑动连接的标记块,盖体的侧壁上沿通槽的方向设有用于标记血糖的刻度。本申请的糖尿病患者检查报告管理装置,各组通槽用于表示对应日期的血糖数据,每组中的单个通槽用于表示每日各时段的血糖数据。便于比较不同日期之间相同时段的血糖数据的波动,也能随时查看同一日期内不同时段中进食后血糖的变化情况,直观方便的对糖尿病患者的检查报告进行管理分析。
- 糖尿病患者检查报告管理装置
- [发明专利]反馈系统及反馈方法-CN202210017086.3在审
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周晓方
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长鑫存储技术有限公司
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2022-01-07
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2023-07-18
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G03F7/20
- 本公开实施例提供了一种反馈系统及反馈方法。所述反馈系统包括:标记单元,对光刻胶依批次进行标记;识别单元,在晶圆生产时当光刻胶的标记发生变化时,获取当前所述标记的所述光刻胶的参数;比对单元,将当前所述标记的所述光刻胶的参数与预设光刻胶参数进行比对;执行单元,当当前所述标记的所述光刻胶的参数处于所述预设光刻胶参数范围外,调整当前所述标记的所述光刻胶生产时的曝光参数。上述技术方案,通过对光刻胶依批次进行标记,获取当前所述标记的所述光刻胶的参数,并将当前所述标记的所述光刻胶的参数与预设光刻胶参数进行比对,以便调整当前所述标记的所述光刻胶生产时的曝光参数,实现了在光刻过程中自动调整准确的曝光参数。
- 反馈系统方法
- [发明专利]一种曝光方法及曝光装置-CN202010647419.1有效
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周晓方
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长鑫存储技术有限公司
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2020-07-07
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2023-03-21
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G03F7/20
- 本发明公开了一种曝光方法及曝光装置。所述曝光方法包括:提取当前晶圆组中各晶圆的首层图形或前层图形的曝光规则,曝光规则包括晶圆编号与承载台的对应关系;根据当前晶圆组中各晶圆的当层图形的实际曝光信息,获取当前晶圆组内的至少一个空缺晶圆的编号;剔除当层图形的曝光规则中的至少一个空缺晶圆的编号,将同一承载台对应的排列顺序后于各空缺晶圆的编号的晶圆编号依次前移,补齐编号空缺位,以获得当层图形的曝光规则;根据当层图形的曝光规则对当前晶圆组中各晶圆的当层图形进行曝光。本发明实施例的技术方案,避免了承载台出现空载的情况,提升了曝光机的产能。
- 一种曝光方法装置
- [实用新型]一种桩基低应变检测自动锤击装置-CN202222697663.6有效
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王兆亮;周晓方
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淮安市建筑工程质量检测中心有限公司
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2022-10-13
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2023-03-14
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E02D1/00
- 本实用新型公开了一种桩基低应变检测自动锤击装置,包括开有竖直通道的控制盒、滑动安装在竖直通道内的激振锤、安装在控制盒下方的可伸缩支撑杆、和水平安装在控制盒中的拨杆;所述激振锤包括位于竖直通道内的锤杆和安装在锤杆下端的锤头,锤杆上设有棘齿,棘齿倒刺向下,控制盒内安装有与锤杆上棘齿啮合的电动棘轮;竖直通道直径大于锤杆直径,拨杆上靠近锤杆位置设有拨叉。通过可伸缩的支撑杆设定装置高度,然后电动棘轮提升激振锤的高度,最后通过拨杆用拨叉将锤杆推离电动棘轮,使激振锤自由落体砸击桩基,可以实现激振锤多次在同样的高度下砸击桩基上的同一点,以获得波形条件一致、具有可比性的波形,从而消除人为误差,提高检测精准度。
- 一种桩基应变检测自动装置
- [发明专利]晶圆的测量方法、晶圆的测量系统及介质-CN202210444996.X在审
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周晓方;李卫
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长鑫存储技术有限公司
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2022-04-26
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2022-07-29
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G01N21/95
- 本公开提供一种晶圆的测量方法、晶圆的测量系统及介质,晶圆的测量方法包括获取多个晶圆的预设信息,每个晶圆具有预设图案;在多个晶圆中选择至少一个晶圆,标记作为第一预设晶圆,对第一预设晶圆的预设图案进行测量;在多个晶圆中重新选择至少一个晶圆,根据被重新选择的晶圆的预设信息和第一预设晶圆的预设信息,确定是否从多个晶圆中重新选择至少一个晶圆;若被重新选择的晶圆不是第一预设晶圆,标记为第二预设晶圆,对第二预设晶圆的预设图案进行测量。本公开中的方法用于识别重新选择的晶圆是否为第一预设晶圆,以便于确定选择到除第一预设晶圆之外的晶圆,并将其标记为第二预设晶圆,以避开对同一晶圆进行两次测量,提升测量结果的准确性。
- 测量方法测量系统介质
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