专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于传送装置上的晶圆检测装置-CN202122823860.3有效
  • 唐正隆;王正辉;吴星华 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2021-11-17 - 2022-04-08 - G01D5/26
  • 本实用新型公开了一种用于传送装置上的晶圆检测装置,包括发射接收机构和反射机构,所述发射接收机构包括光电传感器、固定臂以及连接合页,所述光电传感器固定于所述固定臂的一端,所述固定臂的另一端通过连接合页固定于所述传送装置的支架上;所述反射机构包括固定框和反射镜,所述反射镜固定于所述固定框的中部,所述固定框一侧固定有与所述传送装置顶端固定连接的固定板,所述固定框的两端开设有定位槽,固定于所述传送装置侧面的定位导向件插设于所述定位槽内。采用上述结构的一种用于传送装置上的晶圆检测装置,便于安装和检修,可检测多种晶圆。
  • 一种用于传送装置检测
  • [实用新型]一种适用于多种型号晶圆的感应装置-CN202122115813.3有效
  • 唐正隆;王正辉;吴星华;储长流;张立 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2021-09-02 - 2021-12-28 - G01D5/26
  • 本实用新型公开了一种适用于多种型号晶圆的感应装置,包括晶圆承载板、发射接收机构、固定支架以及反射机构,发射接收机构包括三个透明检测型光电传感器;固定支架包括连接板、L型增高杆以及T型固定板,T型固定板与L型增高杆顶部固定连接,L型增高杆底部与连接板固定连接,连接板固定于晶圆承重板上;反射机构包括三个反射镜以及固定于反射镜下方的定位磁板,其中两个定位磁板设置于承载板对称开设的两个固定槽内,另外一个定位磁板插设于晶圆承载板的插槽内,三个反射镜与三个透明检测型光电传感器相对设置。采用上述结构的一种适用于多种型号晶圆的感应装置,传感器器位置可调,同时采用透明检测型光电传感器,便于使用不同尺寸和型号的晶圆。
  • 一种适用于多种型号感应装置
  • [实用新型]一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂-CN202022811393.8有效
  • 唐正隆;王正辉;吴星华;储长流 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2020-11-27 - 2021-07-20 - H01L21/687
  • 本实用新型公开了一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂,包括本体,所述本体为一体结构,所述本体的前端设有对称结构的夹持臂,所述夹持臂的弧形内侧两端和中部均设有夹持头;所述夹持臂的外侧设有环形分布的第一减重带、第二减重带和第三减重带,所述第一减重带、所述第二减重带和所述第三减重带均以所述夹持臂的中心线为中心对称分布,所述第三减重带设置于所述本体后端的固定部,所述第一减重带、所述第二减重带和第三减重带纵向两端的外沿形成平滑的曲线结构。本实用新型采用上述结构的一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂,结构简单,操作方便,传输效率高。
  • 一种消除共振涂胶显影传送手臂
  • [实用新型]一种晶圆生产用中继模块的机械手-CN202022811411.2有效
  • 唐正隆;吴星华;任硕;刘同同 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2020-11-27 - 2021-07-20 - H01L21/683
  • 本实用新型公开了一种晶圆生产用中继模块的机械手,包括一体对称结构的本体,所述本体中心的固定孔外侧设有均匀分布的减重槽,所述本体的外沿设有呈正六边形分布的条形支撑部,所述支撑部设置于所述减重槽的外侧,且二者的中心位于同一条直线上,所述支撑部之间通过平滑的曲线结构连接;所述支撑部的外沿和中部分别设有位于同一个圆上的第一吸盘、位于同一个圆上的第二吸盘,所述第一吸盘下方的凸台高度高于所述第二吸盘的凸台高度。本实用新型采用上述结构的一种晶圆生产用中继模块的机械手,提高稳定性,增加使用效率,节约成本。
  • 一种生产中继模块机械手
  • [实用新型]一种高效型晶圆传送臂-CN202022811449.X有效
  • 唐正隆;王向东;吴星华;任硕 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2020-11-27 - 2021-07-20 - H01L21/683
  • 本实用新型公开了一种高效型晶圆传送臂,包括均匀分布在同一圆形上的传送主体,所述传送主体为近L型的一体结构,并包括固定部和支撑部,所述支撑部包括分别与所述固定部连接的第一支撑部、第二支撑部,所述第二支撑部向外倾斜于所述第一支撑部;所述第一支撑部前端水平触头的长度长于所述第二支撑部末端水平触头的长度,所述触头上吸盘的内侧均设有传感器。本实用新型采用上述结构的一种高效型晶圆传送臂,结构简单,可以实现多种类型晶圆的传送,操作方便。
  • 一种高效型晶圆传送
  • [实用新型]一种多功能型晶圆传送手臂-CN202022811966.7有效
  • 唐正隆;吴星华;任硕;汪丽静 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2020-11-27 - 2021-07-20 - B25J15/00
  • 本实用新型公开了一种多功能型晶圆传送手臂,包括本体,所述本体的前端设有圆弧形夹持臂,其后端设有固定部,所述夹持臂末端的两侧设有与所述固定部连接的向内凹的弧形凹槽,所述夹持臂的宽度不大于所述固定部的宽度,所述夹持臂宽边的两侧设有对称设置的平端;所述固定部的中部设有第一减重槽,所述夹持臂的后端设有与所述固定部连接的第二减重槽,所述夹持臂的弧形结构前端的下方设有环形延长板,所述延长板、所述夹持臂的两端和中部均设有夹持头。本实用新型采用上述结构的一种多功能型晶圆传送手臂,结构简单,操作方便,实现多种类型晶圆的传送。
  • 一种多功能型晶圆传送手臂
  • [实用新型]一种平边晶圆的主传送手臂-CN202022811446.6有效
  • 唐正隆;王向东;王正辉;吴星华 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2020-11-27 - 2021-07-16 - B25J15/00
  • 本实用新型公开了一种平边晶圆的主传送手臂,包括本体,所述本体为一体结构,所述本体的前端设有对称结构的夹持臂,其后端的固定部上对称设置有减重槽,所述夹持臂内部弧形结构的两端和中部均设有连接夹持头的卡槽,所述夹持头为一体的弧形结构,其内侧的中部设有水平置物部,所述置物部的等腰梯形结构两腰为向内凹陷的弧形结构;所述夹持头的内侧设有向内凹陷的弧形凹槽,所述凹槽中部通过导向槽与所述置物部连接,所述凹槽外侧切线的竖直夹角小于导向槽外侧切线的竖直夹角。本实用新型采用上述结构的一种平边晶圆的主传送手臂,结构简单,操作方便,传输效率高。
  • 一种平边晶圆传送手臂

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