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[实用新型]一种制备溅射靶材的真空冶炼装置-CN202223008130.9有效
发明人： 吴昊堃;吴拥军 -专利权人：湖南中正鑫源新材料有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C22B5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及溅射靶材加工技术领域的一种制备溅射靶材的真空冶炼装置，包括支撑腿和固定连接在支撑腿一端的石墨坩筒，所述石墨坩筒的顶部抵触有驱动盖，所述驱动盖的内部转动连接有转动杆，所述转动杆的表面固定连接有固定筒和多个搅拌叶，所述固定筒的一端滑动连接有推杆，所述推杆的一端固定连接有刮板。通过驱动盖、转动杆、石墨坩筒、搅拌叶、推杆、固定筒、刮板、伸缩杆、凸块、电弧熔炼组件、滑动组件和驱动组件的配合使用，从而可便于带动搅拌叶和刮板进行自转的同时进行上下滑动，从而可便于对石墨坩筒内部靶材的合金粉末进行搅拌均匀，同时对石墨坩筒内壁残留的靶材合金粉末进行刮掉清理的作用。
一种制备溅射真空冶炼装置

[实用新型]一种制备溅射靶材的快速冷却装置-CN202222989401.7有效
发明人： 吴昊堃;吴拥军 -专利权人：湖南中正鑫源新材料有限公司
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及溅射靶材制备技术领域的一种制备溅射靶材的快速冷却装置，包括水箱，所述水箱的顶面套设有顶盖，所述顶盖的顶面四角处均固定安装有支撑杆，所述冷却架的内壁沿长度方向设有至少四个托架，所述托架的两端均设有呈U形的滑架，且滑架的内壁与冷却架的上下表面紧密贴合，所述托架通过滑架滑动在冷却架的内壁，所述顶盖的顶面插设有至少五个吹风扇，每个所述吹风扇的抽风端均固定安装有位于水箱顶口的过滤片。通过设置冷却架内壁处滑动连接的托架，可以使托架在承载靶材时，能够沿着冷却架的长度方向进行移动，当靶材宽度较大时，能够直接将两个托架推到一起进行使用，同时刚好适配的靶材，可以由一个托架进行支撑。
一种制备溅射快速冷却装置

[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜靶材加工用固定装置-CN202222960500.2有效
发明人： 吴昊堃;吴拥军 -专利权人：湖南中正鑫源新材料有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜靶材加工技术领域的一种真空磁控溅射镀膜靶材加工用固定装置，包括底座和固定连接在底座上表面的支撑座，两个所述支撑座相对的一侧表面均固定连接有固定筒，两个所述固定筒相对的一端均固定连接有镀膜箱，两个所述固定筒的内部均通过轴承转动连接有电动推杆，两个所述电动推杆相对的一端均穿设于镀膜箱的内部并固定连接有固定板。通过固定筒、镀膜箱、电动推杆、固定板、限位组件、一号挡板、二号挡板、磁控溅射设备和驱动电机的配合使用，从而可便于对不同尺寸的镀膜靶材进行夹持固定，可对镀膜靶材的另外两侧进行位置限位，避免在翻转时，靶材位置错位，影响通过磁控溅射设备对靶材表面的镀膜效果。
一种真空磁控溅射镀膜靶材加工用固定装置

[实用新型]一种平面靶材的表面加工装置-CN202222905049.4有效
发明人： 吴昊堃;吴拥军 -专利权人：湖南中正鑫源新材料有限公司
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B23D19/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材加工技术领域的一种平面靶材的表面加工装置，包括底座和固定连接在底座一侧的支撑板，所述支撑板的内部固定连接有液压杆，所述液压杆的底部设有固定座，所述固定座的底部固定连接有驱动座，所述驱动座的内部设有驱动组件，所述驱动组件的一端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的一端固定连接有固定框，所述固定框的一侧固定连接有切割电机。通过液压杆、固定座、驱动座、驱动组件、电动推杆、切割电机、转轴、切割刀、固定筒、限位组件、限位板和一号防滑垫的配合使用，从而可便于对平面靶材的位置进行固定限位，使平面靶材的中心保持与液压杆的中心一致，同时可便于对平面靶材进行切割的作用。
一种平面表面加工装置

[实用新型]一种平面靶材的平板校平装置-CN202222937228.6有效
发明人： 吴昊堃;吴拥军 -专利权人：湖南中正鑫源新材料有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B21D1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉平面靶材技术领域的一种平面靶材的平板校平装置，包括校平装置本体和压平设备以及平面靶材本体，所述压平设备固在校平装置本体的上表面。通过设置的驱动电机，当需要对加工完成后的平面靶材本体进行下料时，可通过启动驱动电机运作带动螺纹杆旋转，使得螺纹杆可螺纹推动连接板移动，此时的连接板可在校平装置本体的表面滑动，可防止螺纹杆的螺纹传动导致连接板翻转，从而无法线性移动，随后连接板在移动时可推动推板移动推动平面靶材本体移动，同时推板在移动时可使得凸出块在凹槽内滑动，防止出现推板在的移动时脱位或晃动的情况，实现了便于下料的效果，防止出现在对平面靶材本体下料时，工作人员难以操作的情况。
一种平面平板平装

[实用新型]一种平面靶材的激光切割机-CN202222926852.6有效
发明人： 吴昊堃;吴拥军 -专利权人：湖南中正鑫源新材料有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型涉及平面靶材技术领域的一种平面靶材的激光切割机，包括激光切割机，所述激光切割机的顶面设有工作台，所述工作台的上表面滑动连接有机头，所述进风口和抽风孔之间插设有抽风管，所述进风口的内壁固定安装有第一抽风扇，所述散风口的内壁固定安装有与第一抽风扇相对的第二抽风扇，所述第二抽风扇的出风端连通有散风管，且散风管的一端固定在散风口的内壁一侧，所述集尘箱的内壁固定安装有三个等距排列的过滤板。通过设置工作台顶面罩下的防护箱，以及防护箱顶面设置的集尘箱，可以使机头在切割靶材时具有隔绝外部的防护性，避免金属粉尘飘荡在外影响使用环境的空气，同时集尘箱的设置，可以使机头使用所产生的金属粉尘被过滤抽出。
一种平面激光切割机

[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜靶材切割用的立式锯床-CN202222979837.8有效
发明人： 吴昊堃;吴拥军 -专利权人：湖南中正鑫源新材料有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B23D49/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材加工用机床技术领域的一种真空磁控溅射镀膜靶材切割用的立式锯床，包括立式锯床主体，所述立式锯床主体上固定安装有工作台，所述工作台顶端设置有夹紧推送机构；所述夹紧推送机构包括夹框，所述工作台顶端开设有限位滑槽一、限位滑槽二与移动槽，所述移动槽设置在限位滑槽一与限位滑槽二一端，通过设置夹紧推送机构，可以使推板推动靶材向立式锯床主体上的锯条移动，使锯条完成对靶材的切割，提高靶材在切割时的稳定性，且可以对不同规格的靶材进行固定推送，降低锯床的使用局限性，解决了现有的立式锯床主体在切割靶材时，需要人员手动推送，导致靶材在切割时不稳定，影响切割精度，且容易发生安全事故的问题。
一种真空磁控溅射镀膜切割立式锯床

[发明专利]一种三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法-CN201710587012.2有效
发明人：姚勇;雷何兵;刘昊鹏;田一婷;吴昊堃;杨彦甫 -专利权人：哈尔滨工业大学深圳研究生院
申请日： 2017-07-18 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种三幅随机移相干涉图的快速相位提取方法，包括以下步骤：S1、采集三幅随机干涉图；S2、对采集到的随机干涉图进行两两相减运算；S3、对随机干涉图再进行一次相加或者相减运算；S4、将化简得到的椭圆公式进行归一化处理，进行超最小二乘椭圆拟合求解椭圆参数；S5、求解出相位。本发明的有益效果是：首先通过两步加减运算推导出椭圆参数公式，可以减弱甚至消除背景光强带来的影响，再利用超最小二乘椭圆拟合出椭圆参数，通过这些椭圆参数就可以直接计算出相位，不受干涉图中条纹限制，可以从三幅随机移相干涉图中高精度、快速提取相位。
椭圆参数干涉图移相干涉快速相位椭圆拟合最小二乘求解采集归一化处理加减运算快速提取椭圆公式直接计算背景光减运算再利用条纹推导两相相减相加运算

[发明专利]基于施密特正交化和最小二乘椭圆拟合的相位提取方法-CN201710851113.6在审
发明人：姚勇;雷何兵;刘昊鹏;吴昊堃;杨彦甫 -专利权人：哈尔滨工业大学深圳研究生院
申请日： 2017-09-20 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于施密特正交化和最小二乘椭圆拟合的相位提取方法，包括以下步骤S1、采集三幅随机干涉图，对三幅随机干涉图进行减法运算，消除背景光强的主流分量；S2、对差分干涉图进行施密特正交化（GS）处理，消除移相偏差；S3、分析差分干涉图存在的误差，并推导出一般椭圆公式；S4、通过最小二乘椭圆拟合快速求解出椭圆参数；S5、根据椭圆参数求解出相位信息。本发明的有益效果是考虑到了由于外界环境干扰引起的背景光强扰动带来的影响，通过最小二乘椭圆拟合提高了精度，适用范围广。
基于施密特正交最小椭圆拟合相位提取方法

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