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- [发明专利]一种湿法硅片清洗方法-CN201610464167.2有效
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吕耀安
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北京知投家知识产权运营有限公司
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2016-06-23
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2019-07-26
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H01L21/02
- 本发明公开了一种湿法硅片清洗方法，包括以下步骤：步骤1、使用硫酸、过氧化氢和去离子水的混合溶液清洗硅片上的有机物和金属；步骤2、使用去离子水对硅片进行冲洗；步骤3、在50℃～60℃的温度下，使用氢氟酸和水的混合物溶解硅片上的氧化层；步骤4、使用去离子水对硅片进行清洗；步骤5、在55℃～70℃的温度下，在使用SC‑1溶液对硅片进行清洗；步骤6、使用去离子水对硅片进行清洗；步骤7、在55℃～70℃的温度下，使用SC‑2溶液对硅片进行清洗；步骤8、使用HF溶液对硅片进行浸泡。本发明在清洗中使用了合适的温度范围，与现有的常温的湿法清洗技术相比，反应速率加快，则在相同的清洗程度之下，本发明所使用的氢氟酸等有害化学物质减少。
- 一种湿法硅片清洗方法
- [发明专利]光纤内线缆打标机-CN201610528175.9有效
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吕耀安
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浙江正航实业有限公司
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2016-07-06
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2019-07-12
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G09F3/00
- 本发明公开了一种光纤内线缆打标机，包括光纤信号发出端和光纤信号接收端；所述光纤信号接收端包括多个线缆固定位，每个线缆固定位对应一个信号接收灯；光纤的一端为束好状态，连接于光纤信号发出端，另一端为分散状态，内部的每根线缆固定于线缆固定位，且与信号接收灯连接；还包括位于光纤信号发出端和光纤信号接收端之间的打标手臂；所述打标手臂包括依次相连接且可互相相对转动的第一臂杆、第二臂杆和第三臂杆；第三臂杆的末端侧边固定有标签纸输送装置；第三臂杆的末端还固定有形状为倒置U形的压纸装置。本发明可自动对光纤中的每根线缆进行信号测试，并根据需要，自动对需要标记的线缆贴上标记纸，有利于加快测试速度，提高生产效率。
- 光纤线缆打标机
- [发明专利]六边形通道的硅光导管-CN201610575965.2有效
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吕耀安
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无锡宏纳科技有限公司
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2016-07-19
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2019-01-18
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G02B6/00
- 本发明公开了一种六边形通道的硅光导管，包括硅基衬底；所述硅基衬底之上外延有第一硅氧化物层；所述第一硅氧化物层之上生长有截面为正六边形的硅区域；所述硅区域的底边与第一硅氧化物层的表面相重合；以所述硅区域的正六边形的截面的呈水平方向的中轴线为界，在此中轴线与所述第一硅氧化物层之间、所述硅区域的外围包裹有第二硅氧化物层，在所述第二硅氧化物层之上、所述硅区域的外围包裹有第三硅氧化物层；所述硅区域的横截面的对角线的长度1μm～3μm。本发明中的光传导通道为正六边形，由基本的数学知识可知，相对于正四边形的光传导通道而言，本发明更接近理想的横截面为圆形的光传到通道，传导效果更理想。
- 六边形通道导管
- [发明专利]制造六边形通道的硅光导管的方法-CN201610571646.4有效
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吕耀安
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无锡宏纳科技有限公司
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2016-07-19
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2018-12-07
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G02B6/00
- 本发明公开了一种制造六边形通道的硅光导管，包括以下步骤：在硅基衬底之上外延第一硅氧化物层；在硅基衬底之上生长第二硅氧化物层；在第二硅氧化物层上方铺设光刻胶；光刻胶未覆盖区域的宽度与六边形通道的截面的对角线的长度相等；使用离子刻蚀的方法刻蚀出六边形通道的下半部分；步骤5、生长硅区域；步骤6、对硅区域进行研磨，使其高度与六边形通道的高度相等；对硅区域进行离子刻蚀，使用电场控制离子的方向，使得离子的入射方向与垂直方向成30°夹角；生长第三硅氧化物层；可通过本发明的制造方法，得到光传导通道为正六边形的硅光导管，更接近理想的横截面为圆形的光传导通道，传导效果更理想。
- 制造六边形通道导管方法
- [发明专利]一种风扇排布整齐的超净间-CN201610480988.5有效
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吕耀安
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江苏中瀚通讯技术有限公司
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2016-06-28
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2018-11-27
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F24F7/00
- 本发明公开了一种风扇排布整齐的超净间，包括设置于超净间前端的入风端、设置于超净间后端的出风端和设置于超净间内侧左右边的走风通道；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道，操作通道的两侧设置有起重设备；在所述起重设备和所述走风通道之间设置有左右通透的储物区，储物区中放置有储物架；超净间后端还设置有用于供操作员出入的门；所述出风端的入风口设置在门的左右两侧，出风端的出风口设置于超净间的左右边的墙壁之上。本发明的结构简单，风扇排布整齐，走风通道以及超净间中的各个设施也整齐明晰，但可以达到良好的清洁效果，且设施布局适合操作员操作。
- 一种风扇排布整齐超净间
- [发明专利]一种安装有回流风扇的超净间-CN201610481509.1有效
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吕耀安
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江苏中瀚通讯技术有限公司
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2016-06-28
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2018-11-20
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F24F7/00
- 本发明公开了一种安装有回流风扇的超净间，包括设置于超净间前端的入风端、设置于超净间后端的回流端和设置于超净间内侧左右边的走风通道；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道，操作通道的两侧设置有起重设备；在所述起重设备和所述走风通道之间设置有左右通透的储物区，储物区中放置有储物架；超净间后端还设置有用于供操作员出入的门；所述门同时还作为出风口；所述回流端的入风口设置在门的左右两侧，回流端的出风口与所述走风通道相连接；所述入风端设置有多个风扇单元；所述回流端的走风通道的连接处设置有汇流风扇。本发明设置了回流风扇，使得超净间中的空气循环效率加快，可有效增加超净间中，尤其是储物区的洁净等级。
- 一种装有回流风扇超净间
- [发明专利]一种具有内部循环风扇的超净间-CN201610480356.9有效
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吕耀安
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江苏帕珐尼洁净科技有限公司
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2016-06-27
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2018-11-02
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F24F7/00
- 本发明公开了一种具有内部循环风扇的超净间，包括设置于超净间两侧的入风端、设置于超净间后端的出风端和设置于超净间内侧左右边的走风通道；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道，操作通道的两侧设置有起重设备；在所述起重设备和所述走风通道之间设置有左右通透的储物区；贴靠储物区的外侧还设置有内循环风扇单元，超净间后端还设置有用于供操作员出入的门；所述出风端的入风口设置在门的左右两侧；所述入风端处还设置有多个并列排布的外循环风扇单元。本发明设置有内循环风扇，可以增强超净间之内的循环效果。又由于内循环风扇贴靠储物区安装，可以针对储物区的空气进行循环，保证放置于储物区中的物品达到相关的超净标准。
- 一种具有内部循环风扇超净间
- [发明专利]一种可自动拾取芯片的夹具-CN201610574015.8有效
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吕耀安
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无锡宏纳科技有限公司
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2016-07-20
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2018-09-07
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H01L21/687
- 本发明公开了一种可自动拾取芯片的夹具，包括悬挂杆；所述悬挂杆的两端固定有第一定位块和第二定位块；还包括铲具；所述铲具固定在所述悬挂杆之上；所述铲具还包括倾斜状的铲板；所述铲板的两侧分别设置有一个防掉落挡板；所述防掉落挡板的外侧设置有滑动轨道；还包括滑动挡板；所述滑动挡板为凹字形框体，滑动挡板相对的两边末端都置有滑动块；两个滑动块分别嵌置于两个滑动轨道之中，并且可以在所述滑动轨道中滑动；本发明可通过滑动挡板将芯片放置于铲板之上，且可以有效放置芯片在移动时从铲板之上掉落。本发明控制过程简单，只需控制滑动挡板即可，所以也容易制造和维修。
- 一种自动拾取芯片夹具
- [发明专利]一种无爪芯片移动夹具-CN201610576371.3有效
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吕耀安
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无锡宏纳科技有限公司
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2016-07-20
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2018-08-28
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H01L21/677
- 本发明公开了一种无爪芯片移动夹具，包括悬挂杆；所述悬挂杆的一端固定有相互紧靠的第一卡位块和第二卡位块；所述悬挂杆的中部固定有第三卡位块；所述悬挂杆的另一端固定有第四卡位块；还包括铲具；所述铲具通过连接件固定在所述悬挂杆之上、所述第一卡位块和所述第二卡位块之间；所述铲具的铲板为倾斜状；所述铲板的两侧设置有防掉落挡板；还包括拨片；所述拨片悬挂在所述悬挂杆之上、所述第三卡位块和所述第四卡位块之间；所述拨片由电机控制，可在所述第三卡位块和所述第四卡位块之间移动。本发明控制更加简单。且芯片在移动过程中可有效阻止芯片掉落，使得芯片移动更加安全。
- 一种芯片移动夹具
- [实用新型]一种PLC分路器芯片封装结构-CN201621031826.5有效
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吕耀安;翟继鑫
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无锡宏纳科技有限公司
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2016-08-31
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2017-04-26
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G02B6/43
- 本实用新型公开一种PLC分路器芯片封装结构，包括PLC分路器芯片组、输入光纤阵列及输出光纤阵列；所述PLC分路器芯片组由光波导晶圆切成的若干PLC分路器芯片组成；所述输入光纤阵列、输出光纤阵列的数量与PLC分路器芯片组的数量相同，输入光纤阵列、输出光纤阵列与PLC分路器芯片一一对应；所述PLC分路器芯片组安装在波导架上；所述输入光纤阵列的一端连接激光光源，另一端安装在安装精密调整架上；所述输出光纤阵列连接双通道功率计的探测接口。本实用新型在进行封装时只要对准PLC分路器芯片组中任一芯片，整组芯片都将同时对准，显著提高了耦合封装的效率，节省了人力成本。
- 一种plc分路芯片封装结构
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