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[发明专利]一种薄膜沉积方法和半导体工艺设备-CN202310737419.4在审
发明人：张士勇;吕秋雨;李俊红;孙薇;赵茹;邓浩;孟令玉 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜沉积方法及半导体工艺设备。该薄膜沉积方法包括以下步骤：获取待加工晶圆表面沟槽的高宽比，其中，所述待加工晶圆放置于晶圆托盘上，所述晶圆托盘上方设有喷淋板以喷淋工艺气体到所述待加工晶圆表面；根据所述沟槽的高宽比，确定所述晶圆托盘到所述喷淋板之间的间隙高度；以及在所述间隙高度下，以其对应的沉积速率在所述待加工晶圆表面进行薄膜沉积。通过执行这些步骤，该薄膜沉积方法能够对晶圆表面多种高宽比的沟槽，进行相应的不同间隙高度的薄膜沉积，从而提升生成薄膜的均一性，并且还能够对多种高宽比的沟槽进行不同沉积速率的沉积填充，从而避免沉积填充不充分而导致沟槽中产生气泡或孔洞。
一种薄膜沉积方法半导体工艺设备

[发明专利]一种硅氮聚合物的固化方法-CN202310672013.2在审
发明人： 吕秋雨;张士勇;孙薇;李俊红;赵茹;孟令玉;薛国标 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅氮聚合物的固化方法，用于在二氧化硅薄膜制备工艺中固化流动的硅氮聚合物以将其中的硅氮键转化为硅氧键，该固化方法包括：在待固化的该硅氮聚合物上照射紫外线UV光，控制UV照射时间短于300s；以及照射紫外线UV光的同时，向该硅氮聚合物表面通入臭氧气体。
一种聚合物固化方法

[发明专利]一种硅氮聚合物的生成方法-CN202310580997.1在审
发明人： 吕秋雨;张士勇;孙薇;李俊红;赵茹;孟令玉;薛国标 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅氮聚合物的生成方法，该硅氮聚合物用于进一步固化以制备二氧化硅薄膜，该生成方法包括：在通入氧气的环境下解离氨气以获得氮源气体；以及采用该氮源气体与硅源气体沉积获得该硅氮聚合物，其中，该硅源气体与该氮源气体的流量比例范围为0.3～0.9。
一种聚合物生成方法

[发明专利]一种紫外固化腔体的清洁方法-CN202211563114.8在审
发明人： 吕秋雨;赵茹;薛国标 -专利权人：拓荆科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种紫外固化腔体的清洁方法，所述方法包括：将反应气体三氟化氮和氢氮化物通入远程等离子源中，解离成氟化铵气体；所述氟化铵气体与位于腔体上部的石英窗中的二氧化硅反应得到第一氟硅酸胺固体；所述氟化铵气体进入腔体后，与所述腔体内的二氧化硅反应得到第二氟硅酸胺固体；加热所述腔体并保持所述腔体内的温度保持在一预定温度范围，使所述第二氟硅酸胺固体受热分解后得到气体氟化硅。
一种紫外固化清洁方法

[发明专利]一种薄膜固化方法-CN202211563399.5在审
发明人： 吕秋雨;薛国标 -专利权人：拓荆科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：本发明提供了一种薄膜固化方法，所述方法包括：向腔体内通入氧源，用以对硅氮聚合物薄膜中的硅氮键进行替换；将水蒸气通入远程等离子源；所述远程等离子源将水蒸气解离为羟基自由基和氧自由基；将解离出的羟基自由基和氧自由基通入所述腔体；所述羟基自由基与氧自由基协助所述氧源对硅氮聚合物薄膜进行固化。
一种薄膜固化方法

[发明专利]一种二饱和酰基磷脂酰乙醇胺的制备方法-CN202010200835.7有效
发明人：秦凌雁;吕秋雨;罗宇;占莉;李倩;康立涛;杨世琼 -专利权人：华东师范大学;上海北卡医药技术有限公司
申请日： 2020-03-20 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C07F9/10 文献下载
摘要：本发明公开一种二饱和酰基磷脂酰乙醇胺的制备方法，涉及化合物制备领域，基于现有的二饱和酰基磷脂酰乙醇胺的合成方法收率低、成本高的问题而提出的，包括以下步骤：(1)用一锅法进行磷酰化反应生成化合物Ⅰ；(2)将化合物Ⅰ与酸混合，发生水解反应生成化合物Ⅱ；(3)将化合物Ⅱ与饱和链酸，即肉豆蔻酸、棕榈酸、硬脂酸发生酯化反应生成化合物Ⅲ；(4)将化合物Ⅲ与DBU，即1,8‑二氮杂二环十一碳‑7‑烯混合，发生脱保护反应生成化合物Ⅳ；(5)将化合物Ⅳ与锌粉，醋酸混合，发生脱保护反应生成二饱和酰基磷脂酰乙醇胺。本发明合成路线简短，反应条件温和，适应范围广，收率高。
一种饱和磷脂乙醇胺制备方法

[发明专利]一种1,2-二棕榈酰-SN-甘油-3-磷酸的制备方法-CN201911164199.0在审
发明人：罗宇;朱皓庭;秦凌雁;李晓林;吕秋雨;占莉;康立涛;李倩;杨世琼 -专利权人：华东师范大学;上海北卡医药技术有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： C07F9/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种1,2‑二棕榈酰‑SN‑甘油‑3‑磷酸的制备方法，包括步骤：(a)二棕榈酸甘油酯即化合物Ⅰ在溶剂和四氮唑作用下，先与双(二异丙基氨基)(2‑氰基乙氧基)膦发生亲核取代反应，再与三氯乙醇反应，经mCPBA氧化得到(2R)‑3‑((((2‑氰基乙氧基)(2,2,2‑三氯乙氧基)磷酰基)氧基)丙烷‑1,2‑二丙酸二丙酯即化合物Ⅱ；(b)化合物Ⅱ与DBU发生水解反应得(2R)‑3‑(((羟基(2,2,2‑三氯乙氧基)磷酰基)氧基)丙烷‑1,2‑二丙基二丙酸酯即化合物Ⅲ；(c)化合物Ⅲ在酸和锌粉的作用下发生水解反应，得到所述1,2‑二棕榈酰‑SN‑甘油‑3‑磷酸即化合物Ⅳ。本发明具有操作简便，总收率较高，污染小能耗低，产物易分离纯化等特点，更利于工业化的生产。
一种棕榈 sn 甘油磷酸制备方法

[发明专利]用于电子投票的移动终端、选票接收设备、系统和方法-CN201210267087.X在审
发明人：朱渊;杨杰;范勇;傅启洪;张振宇;吕秋雨 -专利权人：中兴通讯股份有限公司
申请日： 2012-07-30 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： G07C13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于电子投票的移动终端、选票接收设备、系统和方法，其中，所述移动终端包括用户接口模块以及第一无线通信模块，其中，用户接口模块，用于接收用户输入的投票数据，并该将投票数据发送至所述无线通信模块；第一无线通信模块，用于与选票接收设备建立近场通信(NFC)链路；将所述投票数据通过所述NFC链路发送至选票接收设备。本发明保证了投票数据的安全传输。
用于电子投票移动终端选票接收设备系统方法

[发明专利]一种移动终端用户界面的字体调整方法和装置-CN201110186942.X无效
发明人：罗桥;张芝萍;傅启洪;朱渊;张驰;李颖;赵栋;王大鹏;汤绍坚;吕秋雨 -专利权人：中兴通讯股份有限公司
申请日： 2011-07-05 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： G09G5/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种移动终端用户界面(UI)的字体调整方法，移动终端实时测量UI与用户眼睛之间的距离，查找所述距离对应的字体，根据查找到的字体调整当前UI显示的字体；本发明同时还公开了一种移动终端UI的字体调整装置，通过本发明的方案，能够根据移动终端UI与用户眼睛之间的距离自动调整移动终端UI显示的字体，使用户更加清晰流畅的阅读UI显示内容，减少对眼睛的伤害。
一种移动终端用户界面字体调整方法装置

[发明专利]一种移动终端及其实现光标移动的方法-CN201110165570.2无效
发明人：陈逸林;曾一庭;林俊萱;王浩文;张芝萍;吕秋雨 -专利权人：中兴通讯股份有限公司
申请日： 2011-06-20 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种移动终端及其实现光标移动的方法，所述方法包括：获取移动终端在设定三维坐标系上的加速度ax、ay，az；计算移动终端当前左/右倾斜率K1和前/后倾斜率K2；基于所述倾斜率K1和倾斜率K2，左/右或前/后移动光标。所述移动终端包括：信息获取单元、倾斜度计算单元和光标移动单元。通过本发明所述方法，只需用户在各个方向上倾斜移动终端，即可随意移动光标，倾斜越厉害，光标移动越迅速，这样减少了反复触摸或按键的麻烦，体现了高效性和便捷性，提高了用户体验。
一种移动终端及其实现光标方法

[发明专利]输入方法及装置-CN201110204887.2在审
发明人：郭云皓;王浩文;张芝萍;吕秋雨 -专利权人：中兴通讯股份有限公司
申请日： 2011-07-21 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种输入方法及装置，该方法包括，接收输入信息，其中，该输入信息包括以下至少之一；按键组合、按键状态的变化、通过触摸屏获取到的形状；获取与该输入信息对应的输入内容，通过本发明解决了不能满足用户对输入内容的体验的问题，进而达到了提高用户对输入内容的体验的效果。
输入方法装置

[发明专利]一种调整手机电视图像的方法及移动终端-CN200910130194.6无效
发明人：刘凯;张芝萍;左永利;董露;吕秋雨 -专利权人：中兴通讯股份有限公司
申请日： 2009-03-25 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： H04N5/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种调整手机电视图像的方法及移动终端，涉及手机电视领域。本发明公开的移动终端包括操作解析模块、手机电视应用模块和放大处理模块，操作解析模块，将解析得到的放大操作发送给手机电视应用模块，将放大操作的信息发送给放大处理模块；放大处理模块，接收放大操作的信息以及手机电视应用模块发送的手机电视图像帧，根据放大操作的信息将手机电视图像帧进行放大处理，并将处理后的手机电视图像帧发送到手机电视应用模块；手机应用模块，在收到放大操作时，将解码后的手机电视图像帧发送到放大处理模块，并接收和播放处理后的手机电视图像帧。采用本发明技术方案可以实时调整手机电视的图像大小。
一种调整手机电视图像方法移动终端

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